GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法

标准编号：GB/T 19921-2005
中文名称：硅抛光片表面颗粒测试方法
英文名称：Test method of particles on silicon wafer surfaces

标准介绍：
本标准规定了应用扫描表面检查系统(SSIS)对硅抛光片表面颗粒进行测试、计数和报告的程序。本标准适用于硅抛光片，也可适用于硅外延片或其他镜面抛光片(如化合物抛光片)。本标准也适用于观测硅抛光片表面的划痕、桔皮、凹坑、波纹等缺陷，但这些缺陷的检测、分类依赖于设备的功能，并与检测时的初始设置有关。