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GB/T 33523.604-2022 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第604部分:非接触(相干扫描干涉)式仪器的标称特性

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资料介绍

本文件规定了用于表面高度三维映射的相干扫描干涉(CSI)测量系统的计量特性。
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