GB/T 14028-2018 半导体集成电路 模拟开关测试方法

　　ICS 3 1 . 200 L 56

　　中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准

　　GB/T 14028—2018

　　代替 GB/T 14028—1992

　　半导体集成电路

　　模拟开关测试方法

　　Semiconductorintegratedcircuits—

　　Measuringmethodofanalogueswitch

　　2018-03-15 发布 2018-08-01 实施

　　中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会

　　发

　　布

　　GB/T 14028—2018

　　GB/T 14028—2018

　　前 言

　　本标准按照 GB/T 1 . 1—2009 给出的规则起草。

　　本标准代替 GB/T 14028—1992《半导体集成电路 模拟开关测试方法的基本原理》，与 GB/T 14028— 1992 相比主要技术变化如下：

　　— 增加了导通电阻路差率、导通电阻温度漂移率、通道转换无效输出时间、电荷注入量 4 项测试方法(见 5 . 16、5 . 17、5 . 18、5 . 19) ;

　　— 修改了第 4 章中对测试规定的说明;

　　— 修改了全文图、表的表述形式;

　　— 修改了“通道转换时间”测试方法中转换对象“i+1”为“j”;

　　— 增加了对“截止态漏极漏电流”测试方法中未定义的多路模拟开关测试说明;

　　— 修改了“通道转换时间测试方法”测试方法中存在图文歧义的 10%含义。

　　请注意本文件的某些内容可能涉及专利。 本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

　　本标准由中华人民共和国工业和信息化部提出。

　　本标准由全国半导体器件标准化技术委员会(SAC/TC 78)归口 。

　　本标准起草单位：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所、圣邦微电子(北京)股份有限公司、西北工业大学。

　　本标准主要起草人：张冰、李雷、陈志培、闫辉、朱华、黄德东。

　　GB/T 14028—2018

　　半导体集成电路模拟开关测试方法

　　1 范围

　　本标准规定了双极、MOS、结型场效应半导体集成电路模拟开关(以下称为器件)参数测试方法。本标准适用于半导体集成电路模拟开关，也适用于多路转换器参数的测试。

　　2 规范性引用文件

　　下列文件对于本文件的应用是必不可少的。 凡是注 日期的引用文件，仅注 日期的版本适用于本文件 。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

　　GB/T 17940—2000 半导体器件 集成电路 第 3 部分：模拟集成电路

　　3 术语和定义

　　下列术语和定义适用于本文件。

　　3.1

　　模拟电压工作范围 analogswitchrange

　　在导通电流为额定值时模拟开关传送的电压范围。

　　3.2

　　导通电阻 onresistance

　　模拟开关导通时，开关两端间的电阻。

　　3.3

　　导通电阻路差 onresistancematchbetweenchannels

　　对于含多个模拟开关的器件或模拟多路转换器，各路开关导通电阻间的最大差值。

　　3.4

　　截止态漏极漏电流 drainoffleakage

　　在模拟开关截止时，流经模拟开关漏极的电流。

　　3.5

　　截止态源极漏电流 sourceoffleakage

　　在模拟开关截止时，流经模拟开关源极的电流。

　　3.6

　　导通态漏电流 channelonleakage

　　模拟开关的导通通路与电路其他部分之间的漏电流。

　　3.7

　　开启时间 switchontime

　　在控制信号作用下，模拟开关开启所需要的时间。

　　3.8

　　关断时间 switchofftime

　　在控制信号作用下，测试模拟开关截止所需要的时间。

　　GB/T 14028—2018

　　3.9

　　通道转换时间 channelconversiontime

　　对于多路转换器，在控制信号作用下，导通通道转换所需的时间。

　　3 . 10

　　最高控制频率 maximum controlfrequency

　　模拟开关输出电压幅度下降到规定值时的控制脉冲频率。

　　3 . 1 1

　　截止态隔离度 offisolation

　　模拟开关处于截止状态下的输入信号对输出信号幅度之比。

　　3 . 12

　　截止态馈通频率 feedbackofffrequency

　　截止态隔离度为规定值时，模拟开关输入端所加正弦信号的最高频率。

　　3 . 13

　　导通态串扰衰减 oncrosstalkattenuation

　　多路模拟开关中处于导通状态的模拟开关通路输出电压与处于导通状态的另一模拟开关通路输出电压之比。

　　3 . 14

　　输入串扰衰减 inputcrosstalkattenuation

　　多路模拟开关中截止状态通道的输入电压与另一个导通态的通道输出电压之比。

　　3 . 15

　　控制信号串扰 controlsignalcrosstalk

　　模拟开关的输入电压零，控制端施加规定脉冲信号时，模拟输出电压。

　　3 . 16

　　导通电阻路差率 onresistancemismatchratebetweenchannel

　　对于含多个模拟开关的器件或模拟多路转换器，各路开关导通电阻间的失配误差率。

　　3 . 17

　　导通电阻温度漂移率 onresistancechangeratewithtemperature

　　不同温度条件下，模拟开关导通时，开关两端间的电阻阻值随温度变化率。

　　3 . 18

　　通道转换无效输出时间 channelconversioninvalidtime

　　对于多路转换器，在选通控制信号作用下，复用输出通道切换信号过程中的无效信号传输时间。

　　3 . 19

　　电荷注入量 chargeinjection

　　模拟开关寄生电容因电荷注入效应，引发的开关输出端电平信号跳变量。

　　4 总则

　　4 . 1 测试环境要求

　　除另有规定外，电测试环境条件如下：

　　— 环境温度：15 ℃ ~35 ℃。

　　— 环境气压：86 kPa~106 kPa。

　　如果环境湿度对试验有影响，应在相关文件中规定。

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　　4 . 2 测试注意事项

　　测试期间，应遵循以下事项：

　　a) 环境或参考点温度偏离规定值的范围应符合相关文件的规定。

　　b) 施于被测器件的电源电压应在规定值的 ±1%以内，施于被测器件的其他电参量的准确度应符合相关文件的规定。

　　c) 被测器件与测试系统连接或断开时，不应超过器件的使用极限条件。

　　d) 应避免因静电放电而引起器件损伤。

　　e) 非被测输入端和输出端是否悬空应符合相关文件的规定。

　　f) 在测试模拟开关动态参数时，输出端的负载电容 CL 按照生产厂家器件规范的规定。 如无规定，默认理想负载电容 CL =0。

　　g) 测试期间应避免外界干扰对测试精度的影响，测试设备引起的测试误差应符合器件相关文件的规定。

　　h) 若有要求时，应按器件相关文件规定的顺序接通电源。

　　i) 对于多路模拟开关或多路转换器，其闲置状态(非测试端口)输入端应接地端。

　　j) 若电参数值是由几步测试的结果经计算而确定时，这些测试的时间间隔应尽可能短。

　　4 . 3 电参数符号

　　根据 GB/T 17940—2000 的规定，本标准采用的参数文字符号按表 1 的规定。

　　表 1 电参数文字符号

　　GB/T 14028—2018

　　5 参数测试

　　5 . 1 模拟电压工作范围(VA)

　　5 . 1 . 1 目的

　　在导通电流为额定值时测试模拟开关传送的模拟电压范围。

　　5 . 1 . 2 测试原理图

　　VA 测试原理图如图 1 所示。

　　图 1 模拟电压工作范围测试原理图

　　5 . 1 . 3 测试程序

　　测试程序如下：

　　a) 将被测器件接入测试系统;

　　b) 接通电源;

　　c) 加上规定的控制信号使被测开关通路接通;

　　d) 按相关文件的规定将电源电流 IS 调至规定值，把 S端(源极)模拟输入电压调至零伏;

　　e) 按相关文件的规定，逐步改变模拟输入电压值，同时观察电压表 VS 和 D端(漏极)的模拟输出电压VD 的读数，记录下满足条件 VS-VD ≤ IS · RON (RON 为被测模拟开关的导通电阻)的 VS 的最大读数VSmax 和最小读数VSmin , 则模拟电压工作范围按式( 1 ) 计算：

　　VA =VSmax -VSmin ……………………………( 1 )

　　f) 如被测器件为多路开关或模拟多路转换器，则每一通路都按 c) ~e)步骤进行测试，所有通路中 VA 的最小值取为被测器件的 VA 。

　　5 . 1 . 4 测试条件

　　相关文件应规定下列条件：

　　a) 环境或参考点温度;

　　b) 电源电压;

　　c) 控制信号电平;

　　d) 电流源的电流值;

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　　e) 模拟输入电压。

　　5 . 2 导通电阻(Ron)

　　5 . 2 . 1 目的

　　测试模拟开关导通时，开关两端间的电阻。

　　5 . 2 . 2 测试原理图

　　Ron 原理图如图 2 所示。

　　图 2 导通电阻测试原理图

　　5 . 2 . 3 测试程序

　　测试程序如下：

　　a) 将被测器件接入测试系统;

　　b) 接通电源;

　　c) 加上规定的控制信号，使被测开关通路接通;

　　d) 按相关文件的规定，将电源电流 IS 调至规定值;

　　e) 按相关文件的规定，将 S端(源极)模拟输入电压调至规定值VS ;

　　f) 在被测器件 D端(漏极)测出模拟输出电压VD,由式(2)求出模拟开关的导通电阻：

　　R …………………………( 2 )

　　g) 如被测器件含多个模拟开关或者被测器件为模拟多路转换器，按 c) ~f) 的规定，分别测试每个开关通路，取所有通路中 Ron 的最大值为被测器件的导通电阻值。

　　5 . 2 . 4 测试条件

　　相关文件应规定下列条件：

　　a) 环境或参考点温度;

　　b) 电源电压;

　　c) 控制信号电平;

　　d) 电流源的电流值;

　　e) 模拟输入电压。

　　GB/T 14028—2018

　　5 . 3 导通电阻路差( ΔRon)

　　5 . 3 . 1 目的

　　对于含多个模拟开关的器件或模拟多路转换器，测试各路开关导通电阻间的最大差值。

　　5 . 3 . 2 测试程序

　　测试程序如下：

　　a) 按 5 . 2 的规定测得被测器件每一开关通路的导通电阻，构成该器件的导通电阻集{Ron } ;

　　b) 取该导通电阻集的最大值 Ronmax和最小值 Ronmin , 由式( 3 ) 求出导通电阻路差 ΔRon :

　　ΔRon = Ronmax - Ronmin …………………………( 3 )

　　5 . 3 . 3 测试条件

　　相关文件应规定下列条件：

　　a) 环境或参考点温度;

　　b) 电源电压;

　　c) 控制信号电平;

　　d) 电流源的电流值。

　　5 . 4 截止态漏极漏电流[ID(off)]

　　5 . 4 . 1 目的

　　在模拟开关截止时，测试流经模拟开关漏极的电流。

　　5 . 4 . 2 测试原理图

　　ID(off) 测试原理图如图 3 所示。

　　图 3 截止态漏极漏电流测试原理图

　　5 . 4 . 3 测试程序

　　测试程序如下：

　　a) 将被测器件接入测试系统;

　　b) 接通电源;

　　c) 加上规定的控制信号，使被测器件的开关通路全部处于截止状态;

　　d) 按相关文件规定将 S端(源极)模拟输入电压和 D端(漏极)模拟输入电压调至规定值;

　　GB/T 14028—2018

　　e) 测出流经 D端(漏极)的电流，即为 ID(off) ;

　　f) 若被测器件含多个模拟开关，需重复按 c) ~f) 的规定，分别测试其每个开关通路进行测试，取所有通路中 ID(off) 的最大值为被测器件的 ID(off) 。

　　5 . 4 . 4 测试条件

　　相关文件应规定下列条件：

　　a) 环境或参考点温度;

　　b) 电源电压;

　　c) 控制信号电平;

　　d) S端(源极)模拟输入电压;

　　e) D端(漏极)模拟输入电压。

　　5 . 5 截止态源极漏电流[Is(off)]

　　5 . 5 . 1 目的

　　在模拟开关截止时，测试流经模拟开关源极的电流。

　　5 . 5 . 2 测试原理图

　　IS(off) 测试原理图如图 4 或图 5 所示。

　　图 4 单路模拟开关截止态源极漏电流测试原理图

　　图 5 多路模拟开关截止态源极漏电流测试原理图

　　GB/T 14028—2018

　　5 . 5 . 3 测试程序

　　测试程序如下：

　　a) 将被测器件接入测试系统;

　　b) 接通电源;

　　c) 加上规定的控制信号使被测开关通路处于截止状态;

　　d) 按相关文件规定，将 S端(源极)模拟输入电压和 D端(漏极)模拟输入电压调至规定值;

　　e) 测出流经 S端(源极)的电流，即为 IS(off) ;

　　f) 若被测器件含多个模拟开关，需重复 c) ~e) 的步骤，分别对其每个开关通路进行测试，取所有通路中 IS(off) 的最大值为被测器件的 IS(off) ;

　　g) 若被测器件为多路转换器，需将非被测 S端(源极)与 D端(漏极)短路，其接法如图 5 所示，然后重复 c) ~e) 的步骤，分别对其每个开关通路进行测试，取所有通路中 IS(off) 最大值为被测器件的 IS(off) 。

　　5 . 5 . 4 测试条件

　　相关文件应规定下列条件：

　　a) 环境或参考点温度;

　　b) 电源电压;

　　c) 控制信号电平;

　　d) S端(源极)模拟输入电压;

　　e) D端(漏极)模拟输入电压。

　　5 . 6 导通态漏电流[IDS(on)]

　　5 . 6 . 1 目的

　　测试模拟开关的导通通路与电路其他部分之间的漏电流。

　　5 . 6 . 2 测试原理

　　IDS(on) 测试原理图如图 6 或图 7 所示。

　　图 6 模拟开关导通态漏电流测试原理图

　　GB/T 14028—2018

　　图 7 多路转换器导通态漏电流测试原理图

　　5 . 6 . 3 测试程序

　　测试程序如下：

　　a) 将被测器件接入测试系统;

　　b) 接通电源;

　　c) 加上规定的控制信号，使被测开关导通;

　　d) 按相关文件规定，将 S端(源极)模拟输入电压调至规定值;

　　e) 测出从 S端(源极)流出的电流值，即为若被测器件 IDS(on) ;

　　f) 若被测器件为多路开关，需对每一路重复 c) ~e) 的步骤，取其中最大的作为本器件的 IDS(on) ;

　　g) 若被测器件为多路转换器，在导通通路与截止通路之间需加上规定的电压，则测试原理图如图 7 所示，然后重复 c) ~e) 的步骤，分别对每个开关通路进行测试，取所有通路中 IDS(on) 的最大值为被测器件的 IDS(on) 。

　　5 . 6 . 4 测试条件

　　相关文件应规定下列条件：

　　a) 环境或参考点温度;

　　b) 电源电压;

　　c) 控制信号电平;

　　d) 模拟输入电压。

　　5 . 7 开启时间(ton)

　　5 . 7 . 1 目的

　　在控制信号作用下，测试模拟开关开启所需要的时间。

　　5 . 7 . 2 测试原理图

　　ton测试原理图如图 8 所示、ton测试波形图如图 9 所示。

　　GB/T 14028—2018

　　图 8 开启时间测试原理图

　　图 9 开启时间测试波形图

　　5 . 7 . 3 测试程序

　　测试程序如下：

　　a) 将被测器件接入测试系统;

　　b) 接通电源;

　　c) 按相关文件的规定，将 S端(源极)模拟输入电压调至规定值;

　　d) 加上规定的开启控制信号;

　　e) 观察双踪示波器，取控制信号作用沿50%幅值点至模拟开关 D端(漏极)输出信号变化到 90%幅值之间的时间间隔，即为 ton ;

　　f) 若被测器件为多路模拟开关，需设定相应逻辑，逐一对每一路进行测试，取测试结果值最大者为被测器件的 ton 。

　　5 . 7 . 4 测试条件

　　相关文件应规定下列条件：

　　a) 环境或参考点温度;

　　b) 电源电压;

　　c) 控制信号电平和上升下降时间;

　　d) 模拟输入电压;

　　GB/T 14028—2018

　　e) 负载电阻和负载电容。

　　5 . 8 关断时间(toff)

　　5 . 8 . 1 目的

　　在控制信号作用下，测试模拟开关截止所需要的时间。

　　5 . 8 . 2 测试原理图

　　toff测试原理图如图 10 所示、toff测试波形图如图 11 所示。

　　图 10 关断时间测试原理图

　　图 1 1 关断时间测试波形图

　　5 . 8 . 3 测试程序

　　测试程序如下：

　　a) 将被测器件接入测试系统;

　　b) 接通电源;

　　c) 按相关文件的规定，将 S端(源极)的模拟输入电压调至规定值;

　　d) 加上规定的关断控制信号;

　　e) 观察双踪示波器，取关断作用沿的 50%幅值点至模拟开关 D端(漏极)输出信号变化到 10%幅值点之间的时间间隔，即为 toff ;

　　GB/T 14028—2018

　　f) 若被测器件为多路模拟开关，需设定相应逻辑，逐一对每一路进行测试，取测试结果值最大者为被测器件的 toff 。

　　5 . 8 . 4 测试条件

　　相关文件应规定下列条件：

　　a) 环境或参考点温度;

　　b) 电源电压;

　　c) 控制信号电平和上升下降时间;

　　d) 模拟输入电压;

　　e) 负载电阻和负载电容。

　　5 . 9 通道转换时间(tT)

　　5 . 9 . 1 目的

　　对于多路转换器，在控制信号作用下，测试导通通道转换所需的时间。

　　5 . 9 . 2 测试原理图

　　tT 测试原理图如图 12 所示、tT 测试波形图如图 13 所示。

　　图 12 通道转换时间测试原理图

　　图 13 通道转换时间测试波形图

　　GB/T 14028—2018

　　5 . 9 . 3 测试程序

　　测试程序如下：

　　a) 将被测器件接入测试系统;

　　b) 接通电源;

　　c) 将 S端(源极)模拟输入电压vs(i)和vs(j)调至规定值;

　　d) 对被测器件施加使导通通路从第 i路转换至j路的地址变化控制信号;

　　e) 观察示波器，取通路转换控制信号作用沿的 50%幅值点至模拟开关 D 端(漏极)输出幅值的10%的幅值点间的时间间隔，即为 tT ;

　　f) 若为二路以上的多路转换器，需改变地址对所有的通路均按照 c) ~e)步骤进行测试，结果最大值为被测器件的 tT 。

　　5 . 9 . 4 测试条件

　　相关文件应规定下列条件：

　　a) 环境或参考点温度;

　　b) 电源电压;

　　c) 控制信号的电平和上升/下降时间;

　　d) S端(源极)模拟输入电压;

　　e) 负载电阻和负载电容。

　　5 . 10 最高控制频率(fcM)

　　5 . 10 . 1 目的

　　测试模拟开关输出电压幅度下降到规定值时的控制脉冲频率。

　　5 . 10 . 2 测试原理图

　　fCM测试原理图如图 14 所示。

　　图 14 最高控制频率测试原理图

　　5 . 10 . 3 测试程序

　　测试程序如下：

　　a) 将被测器件接入测试系统;

　　GB/T 14028—2018

　　b) 接通电源;

　　c) 将 S端(源极)模拟输入电压调到规定值;

　　d) 逐渐增加控制端方波信号频率，同时观察输出波形，当模拟开关 D端(漏极)输出幅度降到规定值时的控制方波频率，即为 fCM ;

　　e) 若被测器件为多路模拟开 关，需 对 每 一 路 都 进 行 测 试，取 测 试 结 果 的 最 小 值 为 被 测 器 件的 fCM 。

　　5 . 10 . 4 测试条件

　　相关文件应规定下列条件：

　　a) 环境或参考点温度;

　　b) 电源电压;

　　c) 控制信号电平和占空比;

　　d) 模拟输入电压;

　　e) 负载电阻。

　　5 . 1 1 截止态隔离度(KOIRR)

　　5 . 1 1 . 1 目的

　　测试模拟开关处于截止状态下的输入信号对输出信号幅度之比。

　　5 . 1 1 . 2 测试原理图

　　KOIRR 测试原理图如图 15 所示。

　　图 15 截止态隔离度测试原理图

　　5 . 1 1 . 3 测试程序

　　测试程序如下：

　　a) 将被测器件接入测试系统。

　　b) 接通电源。

　　c) 加上适当的控制信号使被测开关处于关断状态。

　　d) 按相关文件规定的幅度和频率对被测开关的 S端(源极)施加正弦信号 犞S,同时测出 D 端(漏极)输出信号犞D 。

　　e) 按式(4)求出 KOIRR :

　　GB/T 14028—2018

　　K …………………………( 4 )

　　式中：

　　KOIRR —截止态隔离度，单位为分贝( dB)。

　　g) 若被测器件为多路模拟开 关，应 对 每 一 路 都 进 行 测 试，取 测 试 结 果 的 最 小 值 为 被 测 器 件的 KOIRR 。

　　5 . 1 1 . 4 测试条件

　　相关文件应规定下列条件：

　　a) 环境或参考点温度;

　　b) 电源电压;

　　c) 控制信号电平;

　　d) 输入正弦信号的幅度和频率;

　　e) 负载电阻。

　　5 . 12 截止态馈通频率(fF)

　　5 . 12 . 1 目的

　　截止态隔离度为规定值时，测试模拟开关输入端所加正弦信号的最高频率。

　　5 . 12 . 2 测试原理图

　　fF 的测试原理图如图 16 所示。

　　图 16 截止态馈通频率测试原理图

　　5 . 12 . 3 测试程序

　　测试程序如下：

　　a) 将被测器件接入测试系统;

　　b) 接通电源;

　　c) 加上规定的控制信号，使被测开关处于关断状态;

　　d) 按规定调整好输入正弦信号幅度，然后改变频率，读取 S端(源极)的输入信号幅度VS 与 D端

　　(漏极)的输出信号幅VD ,20lg VS 等于规定值时的频率即为 fF ;

　　e) 若被测器件为多路模拟开关，需对每一路都进行测试，取各路中最小者为被测器件的 fF 。

　　GB/T 14028—2018

　　5 . 12 . 4 测试条件

　　相关文件应规定下列条件：

　　a) 环境或参考点温度;

　　b) 电源电压;

　　c) 控制信号电平;

　　d) 输入正弦信号的幅度和频率;

　　e) 负载电阻。

　　5 . 13 导通态串扰衰减[αx(on)]

　　5 . 13 . 1 目的

　　测试多路模拟开关中处于导通状态的模拟开关通路输出电压与处于导通状态的另一模拟开关通路输出电压之比。

　　5 . 13 . 2 测试原理图

　　αx(on) 的测试原理图如图 17 所示。

　　图 17 导通态串扰衰减测试原理图

　　5 . 13 . 3 测试程序

　　测试程序如下：

　　a) 将被测器件接入测试系统;

　　b) 接通电源;

　　c) 加上适当的控制信号，使被测开关处于导通状态;

　　d) 对开关 A,在 S端(源极)按规定的幅度和频率施加正弦信号VS ;

　　e) 分别测出开关 A 和开关 B 的 D端(漏极)正弦信号VD(A) 和 VD(B) ;

　　f) 按式(5)求出 αx(on) :

　　………………………( 5 )

　　5 . 13 . 4 测试条件

　　相关文件应规定下列条件：

　　GB/T 14028—2018

　　a) 环境或参考点温度;

　　b) 电源电压;

　　c) 控制信号电平;

　　d) 模拟输入交流信号的幅度和频率;

　　e) 负载电阻。

　　5 . 14 输入串扰衰减[αX(IN)]

　　5 . 14 . 1 目的

　　测试多路模拟开关中截止状态通道的输入电压与另一个导通态的通道输出电压之比。

　　5 . 14 . 2 测试原理图

　　αx(IN) 的测试原理图如图 18 所示。

　　图 18 输入串扰衰减测试原理图

　　5 . 14 . 3 测试程序

　　测试程序如下：

　　a) 将被测器件接入测试系统;

　　b) 接通电源;

　　c) 加上规定的控制信号，使被测开关 A处于规定的截止状态、开关 B处于规定的导通状态;

　　d) 按规定的幅度和频率在开关 A 的 S端(源极)施加正弦输入信号VS(A) ;

　　e) 测出开关 B 的 D端(漏极)的输出信号VD(B) ;

　　f) 按式(6)求出 αx(IN) :

　　αx(IN) =20lg VD(B) …………………………( 6 )

　　5 . 14 . 4 测试条件

　　相关文件应规定下列条件：

　　a) 环境或参考点温度;

　　b) 电源电压;

　　c) 控制信号电平;

　　d) 正弦输入信号的频率和幅度;

　　GB/T 14028—2018

　　e) 负载电阻。

　　5 . 15 控制信号串扰(犞CA)

　　5 . 15 . 1 目的

　　模拟开关的输入电压零，控制端施加规定脉冲信号时，测试模拟输出电压。

　　5 . 15 . 2 测试原理图

　　VCA的测试原理图如图 19 所示。

　　图 19 控制信号串扰测试原理图

　　5 . 15 . 3 测试程序

　　测试程序如下：

　　a) 被测器件接入测试系统;

　　b ) 接通电源;

　　c) 加上规定的控制信号在 D端(漏极)检测输出峰值电压，即为VCA ;

　　d) 若被测器件为多路开关，需对每一路都进行测试，然后取最大的VCA为被测器件的VCA。

　　5 . 15 . 4 测试条件

　　相关文件应规定下列条件：

　　a) 环境或参考点温度;

　　b ) 电源电压;

　　c) 控制信号频率;

　　d) 输入电阻;

　　e) 负载电阻。

　　5 . 16 导通电阻路差率(RON_Match)

　　5 . 16 . 1 目的

　　对于含多个模拟开关的器件或模拟多路转换器，测试各路开关导通电阻间的失配误差率。

　　5 . 16 . 2 测试程序

　　测试程序如下：

　　GB/T 14028—2018

　　a) 按 5 . 2 的规定，测得被测器件每个开关通路的导通电阻，构成该器件的导通电阻集{RON} ,并计算该集合的平均值 RONAve ;

　　b ) 取该导通电阻集的最大值 RONMax 和最小值 RONMin , 由式( 7 ) 求出导通电阻路差率 RON_Match :

　　R

　　5 . 16 . 3 测试条件

　　相关文件应规定下列条件：

　　a) 环境或参考点温度;

　　b ) 电源电压;

　　c) 控制信号电平;

　　d) 电流源的电流值;

　　e) 模拟输入电压。

　　5 . 17 导通电阻温度漂移率(RON_Drift)

　　5 . 17 . 1 目的

　　测试不同温度条件下，模拟开关导通时，开关两端间的电阻阻值随温度变化率。

　　5 . 17 . 2 测试程序

　　测试程序如下：

　　a) 按照相关文件中规定的工作温度范围，按等间隔选取从最低工作温度至最高工作温度间若干温度点(10 组以上)，对被测器件进行加温控制;

　　b ) 按 5 . 2 的规定，测得每一特定温度条件下被测器件的导通电阻，构成该器件随温度变化的导通电阻集{RON},并计算该集合的平均值 RONAve ;

　　c) 在导通电阻集线性段区间中，选取最大值 RONMax 和最小值 RONMin 以及所对应的温度值 T1 和T2 ,由式(8)求出导通电阻温度漂移率 RON_Drift :

　　R

　　d) 如被测器件含多个模拟开关，或者被测器件为模拟多路转换器，则需按 b) ~c) 的步骤，分别对每个开关通路进行测试，取所有通路中 RON_Drift 的最大值为被测器件的导通电阻温度漂移率 RON_Drift 。

　　5 . 17 . 3 测试条件

　　相关文件应规定下列条件：

　　a) 被测器件温度可控;

　　b ) 电源电压;

　　c) 控制信号电平;

　　d) 电流源的电流值;

　　e) 模拟输入电压。

　　5 . 18 通道转换无效输出时间(topen)

　　5 . 18 . 1 目的

　　测试复用输出通道切换信号过程中的无效信号传输时间。

　　GB/T 14028—2018

　　5 . 18 . 2 测试原理图

　　topen测试原理图如图 20所示、topen测试波形图如图 21 所示。

　　图 20 通道转换无效输出时间测试原理图

　　图 2 1 通道转换无效输出时间测试波形图

　　5 . 18 . 3 测试程序

　　测试程序如下：

　　a) 将被测器件接入测试系统;

　　b) 接通电源;

　　c) 按相关文件的规定，将待测器件 S1 与 SMax 端( 源极)模拟输入电压调至最高工作电平，将 S2至 SMax-1 端(源极)模拟输入电压连接至地端;

　　d) 对被测器件施加使导通通路从第 1 路转换至 Max通路的地址变化控制信号;

　　e) 观察双踪示波器，取通路转换控制信号完成信号转换后，模拟开关 D端(漏极)输出信号变化10%幅值至恢复输出信号 90%幅值之间的时间间隔，即为 topen 。

　　5 . 18 . 4 测试条件

　　相关文件应规定下列条件：

　　GB/T 14028—2018

　　a) 环境或参考点温度;

　　b) 电源电压;

　　c) 控制信号电平和上升/下降时间;

　　d) 模拟输入电压;

　　e) 负载电阻和负载电容。

　　5 . 19 电荷注入量(QINJ)

　　5 . 19 . 1 目的

　　测试模拟开关寄生电容因电荷注入效应，引发的开关输出端电平信号跳变量。

　　5 . 19 . 2 测试原理图

　　QINJ测试原理图如图 22 所示、QINJ测试波形图如图 23 所示。

　　图 22 电荷注入量测试原理图

　　图 23 电荷注入量测试波形图

　　5 . 19 . 3 测试程序

　　测试程序如下：

　　a) 将被测器件接入测试系统;

　　b) 接通电源;

　　c) 按相关文件的规定，将待测器件 S端(源极)模拟输入电压调至规定值;

　　d) 加上规定的开启控制信号;

　　e) 观察双踪示波器，记录控制信号使能期间模拟开关 D端(漏极)输出信号电平 VOUT1(采样时刻

　　GB/T 14028—2018

　　规定为控制信号使能脉冲中间点)、控制信号关断期间模拟开关 D 端(漏极)输出信号电平犞OUT2(控制信号关断脉冲中间点)，在确定模拟开关 D 端(漏极)负载电容值 犆L 条件下，由式(9)求出电荷注入量 犙INJ :

　　犙INJ = 犆L × 犞OUT1 -犞OUT2 …………………………( 9 )

　　f) 如被测器件含多个模拟开关，或者被测器件为模拟多路转换器，则需按 c) ~e) 的步骤，分别对

　　每个开关通路进行测试，取所有通路中 犙INJ的最大值为被测器件的电荷注入量 犙INJ 。

　　5 . 19 . 4 测试条件

　　相关文件应规定下列条件：

　　a) 环境或参考点温度;

　　b) 电源电压;

　　c) 控制信号电平和上升/下降时间;

　　d) 模拟输入电压;

　　e) 输入电阻和负载电容。