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T/ZZB 1718-2023 半导体封装用键合金丝

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  • 类  别:综合团体标准
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资料介绍

ICS 77.150.99
CCS H 68
团体标准
T/ZZB 1718—2023
半导体封装用键合金丝
Gold bonding wire for semiconductor package
2024 - 11 - 14 发布 2024 - 12 - 14 实施
浙江省质量协会 发布

目 次
前言 ..........................................................................II
1 范围 .............................................................................1
2 规范性引用文件 ...................................................................1
3 术语和定义 .......................................................................1
4 产品分类和标记 ...................................................................1
5 基本要求 .........................................................................2
6 技术要求 .........................................................................3
7 试验方法 .........................................................................6
8 检验规则 .........................................................................6
9 标志、包装、运输和贮存 ...........................................................8
10 质量证明书 ......................................................................8
11 质量承诺 ........................................................................9
T/ZZB 1718—2023
II
前 言
本文件依据GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标注化文件的结构和起草规则》的规定起
草。
本文件代替T/ZZB 1718—2020《半导体封装用键合金丝》,与T/ZZB 1718—2020相比,除结构调整
和编辑性改动外,主要技术变化如下:
——新增了术语和定义(见第3章);
——更改了产品型号及部分用途中的弧高规定(见第4.1,2020年版的4.1);
——更改了产品标记表现表述形式(见第4.2,2020年版的4.2);
——更改了化学成分的型号和杂质总和要求(见第6.1,2020年版的5.1);
——更改了产品力学性能伸长率波动范围(见第6.3,2020年版的5.3);
——更改了长度偏差的要求和试验方法(见第6.6.2、7.2,2020年版的5.6.2、6.2);
请注意本文件的某些内容可能涉及专利,本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本文件由浙江省质量协会提出并归口。
本文件主要起草单位:浙江佳博科技股份有限公司。
本文件参与起草单位:温州标准化科学研究院、温州大学、浙江和睿半导体科技有限公司。
本文件主要起草人:薛子夜,祖洁,刘桂,赵义东,谢海涛,陈雪平,郑石磊。
本文件评审专家组长:梁米加。
本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为:
——T/ZZB 1718—2020;
——本次修订承担单位:浙江省质量协会。
T/ZZB 1718—2023
1
半导体封装用键合金丝
1 范围
本文件规定了半导体封装用键合金丝(以下简称金丝)的基本要求、产品分类和标记、技术要求、
试验方法、检测规则、标志、包装、运输和贮存、质量证明书、质量承诺。
本文件适用于半导体分立器件、集成电路、LED 封装用键合金丝。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。
凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 8750 半导体封装用金基键合丝、带
GB/T 10573 有色金属丝拉伸试验方法
GB/T 11066.5 金化学分析方法 银、铜、铁、铅、锑和铋量的测定 原子发射光谱法
GB/T 15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
金基键合丝 Gold-based bonding wire
由金基铸棒拉拔(或孔轧)和退火而成,截面形状为圆形,直径小于0.1mm,且在半导体封装电路中作
连接线的丝线。
注:金质量分数不小于99%的称为金丝或纯金丝,金质量分数小于99%的称为金合金丝。
3.2
伸长率波动范围 Range of elongation
金基键合产品实际测量伸长率时的允许偏差,即为至少三个伸长率实测值的极差。
4 产品分类和标记
4.1 产品分类
金丝的种类、型号、状态、用途、直径应符合表1 的规定。
T/ZZB 1718—2023
2
表1
种类 型号 状态 用途 直径(mm)
金丝(掺
杂金丝)
PG4NGS-Y2
半硬态
一般适用于弧高在250μm 以
上范围的高弧键合
0.013,0.014,0.015,0.016,0.017,0.018,
0.019,0.020,0.021,0.022,0.023,0.024,
0.025,0.026,0.027,0.028,0.029,0.030,
0.032,0.033,0.035,0.038,0.040,0.043,
0.044,0.045,0.050,0.060,0.070
PG4NGW-Y2
一般适用于弧高在150-250μm
范围的中高弧键合
PG4NTS-Y2
一般适用于弧高在50-150μm
范围的中低弧键合
PG3N-Y2
一般适用于弧高在30-100μm
范围的低弧键合
PG2N-Y2
注:弧高测试方法参见GB/T 8750附录A
4.2 产品标记示例
4.2.1 每轴掺杂金丝标记:
PG □N GW□-Y2,φ□×□m
长度,单位为m。
直径,单位为mm。
Y2 表示半硬态(丝材半硬态时可省略Y2)。
GS 表示高速产品、GW 表示高温产品、TS 表示特殊产品
无功能产品可不标,后用数字进行具体产品区分。
4N 表示金的质量分数为99.99%,3N 为99.9%,2N 为99%。
表示纯金产品PG(Purity Gold)。
示例:直径为0.025mm 长度1000m、99.99%纯金、GW2 型号金丝可标记为 PG4NGW2-Y2,φ0.025×1000m
4.2.2 直径为微米或英制单位标记时要注明单位,毫米可不标记单位。
5 基本要求
5.1 设计研发
5.1.1 设计输入应包含化学成分、力学性能和尺寸偏差等关键指标要求;应对设计输出进行验证。
5.1.2 应具备产品稳定性和可靠性的优化设计能力。
T/ZZB 1718—2023
3
5.2 原材料
5.2.1 应采用纯度≥Au99.99 %的原料金。
5.2.2 可采用生产过程中一次返回料,比例应≤50 %。
5.3 工艺和装备
5.3.1 应具备真空连铸炉、十万级电子天平、高精度微米拉丝机、动态退火炉、精密绕线机等设备。
5.3.2 应具备恒温恒湿、千级无尘净化车间(其中绕线工序应具备百级净化)。
5.4 检验检测
5.4.1 应配置元素光谱分析仪、材料拉力试验机、金相显微镜等检测设备。
5.4.2 应具备开展化学成分、力学性能、尺寸偏差、重量、外观质量、放线流畅度等项目的检测能
力。
6 技术要求
6.1 化学成分
金丝化学成分符合表2 的规定。
表2
型号 Au(%) 杂质(Ag、Cu、Fe、Pb、Sb、Bi)总和(%)
PG4NGS-Y2
PG4NGW-Y2 ≥99.99 ≤0.01
PG4NTS-Y2
PG3N-Y2 ≥99.90 ≤0.10
PG2N-Y2 ≥99.00 ≤1.00
注:PG2N-Y2和 PG3N-Y2的金的质量分数直接测出,其他金丝的金的质量分数由差减法得到,金的质量分数为
100%减去表中所列六种杂质元素总和。
6.2 直径及允许偏差
金丝的直径及其允许偏差、重量允许范围应符合表3 的规定。金丝重量的计算按式(1)进行。
………………………………(1)
式中:
ω ——1m 金丝重量,单位为克每米(g/m);
π ——圆周率,取值3.14159;
D ——金丝试样的公称直径,单位为毫米(mm);
ρ ——试样的密度,取值19.32×106,单位为克每立方米(g/m3);
L ——试样的长度,单位为米(m)。
ρL
4
ω πD
2
= ×
T/ZZB 1718—2023
4
表3
公称直径
(mm)
允许偏差
直径允许偏差(mm) 重量允许范围(g/m)
0.013 ±0.001 0.00219~0.00297
0.014 ±0.001 0.00256~0.00341
0.015 ±0.001 0.00297~0.00389
0.016 ±0.001 0.00341~0.00439
0.017 ±0.001 0.00389~0.00492
0.018 ±0.001 0.00439~0.00548
0.019 ±0.001 0.00492~0.00607
0.020 ±0.001 0.00548~0.00669
0.021 ±0.001 0.00607~0.00734
0.022 ±0.001 0.00669~0.00803
0.023 ±0.001 0.00734~0.00874
0.024 ±0.001 0.00803~0.00948
0.025 ±0.001 0.00874~0.01026
0.026 ±0.001 0.00948~0.01106
0.027 ±0.001 0.01026~0.01190
0.028 ±0.001 0.01106~0.01276
0.029 ±0.001 0.01190~0.01366
0.030 ±0.001 0.01276~0.01458
0.032 ±0.001 0.01458~0.01652
0.033 ±0.001 0.01554~0.01754
0.035 ±0.001 0.01754~0.01967
0.038 ±0.001 0.02077~0.02308
0.040 ±0.001 0.02308~0.02551
0.043 ±0.001 0.02677~0.02938
0.044 ±0.001 0.02806~0.03073
0.045 ±0.001 0.02938~0.03211
0.050 ±0.002 0.03496~0.04103
0.060 ±0.003 0.04930~0.06023
0.070 ±0.003 0.06812~0.08086
注:根据此表可换算其它长度的质量
6.3 力学性能
T/ZZB 1718—2023
5
金丝最小拉断力和伸长率应符合表4 的规定。
表4
6.4 表面质量
公称直径
(mm)
最小拉断力(10-2N) 伸长率 (%) 伸长率波动范围
PG4NGS-Y2 PG4NGW-Y2 PG4NTS-Y2 PG3N-Y2 PG2N-Y2 最小 最大 %
0.013 2.5 2.5 3.5 3.5 3.5 2.5 4.5 ≤2
0.014 3.0 3.0 3.5 4.0 3.5 2.5 4.5 ≤2
0.015 3.5 3.5 4.0 4.5 4.0 2.5 4.5 ≤2
0.016 3.5 3.5 4.0 5.0 4.5 2.5 4.5 ≤2
0.017 3.5 4.0 4.5 5.5 5.0 2.5 4.5 ≤2
0.018 3.5 4.5 5.0 6.0 5.5 2.5 4.5 ≤2
0.019 4.0 5.0 5.5 6.5 7.0 2.5 5.5 ≤3
0.020 4.5 5.5 6.0 7.0 6.5 2.5 5.5 ≤3
0.021 5.5 6.0 6.5 7.5 7.0 2.5 5.5 ≤3
0.022 6.0 6.5 7.0 8.5 7.5 2.5 5.5 ≤3
0.023 6.5 7.0 7.5 9.5 8.0 2.5 5.5 ≤3
0.024 7.0 8.0 8.5 10.5 9.5 2.5 6.5 ≤3
0.025 7.5 8.5 10.5 11.5 11.0 2.5 6.5 ≤3
0.026 8.0 9.0 10.5 12.5 11.5 2.5 6.5 ≤3
0.027 8.5 9.5 10.5 13.5 12.5 2.5 6.5 ≤3
0.028 9.5 10.5 11.5 14.5 13.5 2.5 7.5 ≤3
0.029 10.0 11.5 12.5 15.5 14.5 2.5 7.5 ≤3
0.030 10.5 12.0 13.5 16.5 15.5 3.5 7.5 ≤3
0.032 11.5 13.0 14.5 17.5 16.5 3.5 7.5 ≤3
0.033 12.5 13.5 15.5 18.5 17.5 3.5 7.5 ≤3
0.035 14.5 15.5 17.5 20.5 19.5 3.5 8.5 ≤3
0.038 15.5 18.5 19.5 23.5 21.5 3.5 9.5 ≤4
0.040 18.5 20.5 23.5 26.5 24.5 3.5 9.5 ≤4
0.043 21.5 22.5 28.5 32.5 30.5 3.5 9.5 ≤4
0.044 23.5 24.5 30.5 35.5 33.5 3.5 9.5 ≤4
0.045 24.5 25.5 31.5 38.5 35.5 3.5 9.5 ≤4
0.050 25.5 32.5 35.5 41.5 38.5 3.5 11.5 ≤4
0.060 45.5 45.5 52.5 60.5 56.5 7.5 13.5 ≤4
0.070 55.5 55.5 68.5 80.5 75.5 7.5 13.5 ≤4
T/ZZB 1718—2023
6
6.4.1 金丝表面应清洁,无指印、附着物等沾污,指印和附着物典型缺陷图示参考GB/T 8750 附件
B.2、B.3。
6.4.2 金丝表面应无超过金丝直径允许偏差的典型缺陷图示参考GB/T 8750 附录B。
6.5 工艺性能
6.5.1 金丝从轴上自由放下时应无明显卷曲,允许金丝有不降低其使用功能的轻微卷曲。
6.5.2 金丝应无轴向扭曲。
6.6 绕丝要求
6.6.1 金丝应绕在规定线轴上,单层或多层绕线,线轴应符合GB/T 8750 附录C 的规定。
6.6.2 单轴长度应符合需方要求,长度偏差范围为±1 %。
6.6.3 绕丝的始端和末端应明显标出,丝的两端用不同颜色胶粘贴紧,绿色为使用始端,红色为末
端。
6.7 放丝性能
金丝应顺畅地从线轴上自由放下,若有停点,平均每百米不超过1 次。
7 试验方法
7.1 金丝化学成分的检测按GB/T 11066.5 的规定进行。
7.2 金丝的直径及其偏差测量按GB/T 15077 规定的方法进行,金丝长度及其偏差测量方法按GB/T
8750 附录F 的规定进行。
7.3 金丝的力学性能测试按GB/T 10573 规定的方法进行,试样标距为100 mm,拉伸速度为10 mm/min。
7.4 金丝的表面质量检验方法按GB/T 8750 附录G 的规定进行。
7.5 金丝的卷曲和扭曲试验按GB/T 8750 附录H 的规定进行。
7.6 绕丝检查采用X20 目视显微镜检测。
7.7 放丝性能检测试验按GB/T 8750 附录I 的规定进行。
8 检验规则
8.1 出厂检验
8.1.1 金丝应成批提交验收,每批由同一炉号、型号、状态及同一直径的产品组成,取样规则及数量
应符合表5 的规定。
表5
检验项目 取样规则、数量
要求的
章节号
试验方法
的章节号
出厂检验 型式检验
化学成分 每炉次取一个试样 6.1 7.1 √ √
直径及其偏差
每批按轴数的百分之一,至少取一轴,每轴取5
个试样,每个试样取200 mm 长 或1000 mm 长
6.2 7.2 √ √
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7
表5(续)
检验项目 取样规则、数量
要求的
章节号
试验方法
的章节号
出厂检验 型式检验
化学成分 每炉次取一个试样 6.1 7.1 √ √
直径及其偏差
每批按轴数的百分之一,至少取一轴,每轴取5
个试样,每个试样取200 mm 长 或1000 mm 长
6.2 7.2 √ √
长度及其偏差
毎批按轴数的百分之一,至少取一轴.取5 段
200 mm 或1 段1000 mm
6.2 7.2 √ √
力学性能
每批按轴数的百分之一.至少取一轴,每轴取5
个试样,相邻试样间隔300 mm 以上
6.3 7.3 √ √
表面质量 每批按轴数的百分之一,至少取一轴 6.4 7.4 √ √
卷曲扭曲 每批按轴数的百分之一,至少取一轴 6.4 7.5 √ √
绕丝要求 逐轴 6.6 7.6 √ √
放丝性能 每批按轴数的百分之一,至少取一轴 6.7 7.7 √ √
注:表中“√”表示“检测项目”
8.1.2 出厂检验要求及试验方法见表5。
8.1.3 出厂检验合格的产品附质量证明书方可出厂。
8.2 型式检验
8.2.1 有以下任一情况时,应按照文件规定进行型式检验:
——新产品试制鉴定时;
——正式生产后,如结构、材料、工艺有较大变化,可能影响产品性能时;
——连续两年未进行型式检验时;
——需方需求时;
——国家质量监督机构提出进行型式检验要求时。
8.2.2 金丝应成批提交验收,每批由同一炉号、型号、状态及同一直径的产品组成,取样规则及数量
应符合表5 的规定。
8.2.3 型式检验要求及试验方法见表5。
8.3 检验结果判定
8.3.1 化学成分检验不合格判该批产品不合格。
8.3.2 产品力学性能、直径及其偏差、长度及其偏差、表面质量、卷曲扭曲及放丝性能中的任意一项
不合格,判该批产品不合格。
8.3.3 绕丝不符合要求时判该轴产品不合格。
8.3.4 表面质量不合格,判该轴产品不合格。
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8
9 标志、包装、运输和贮存
9.1 标志
9.1.1 在检验合格产品的包装箱上应作如下标志:
a) 供方名称;
b) 其他需方所要求的项目。
9.1.2 产品标签应有如下内容:
a) 供方名称;
b) 产品名称;
c) 纯度;
d) 型号;
e) 直径;
f) 拉断力、伸长率;
g) 数量;
h) 批号;
i) 生产日期、过期日期;
j) 其他。
9.1.3 外包装箱上要求标明“易碎物品”、“防潮”和“向上”标志。
9.2 包装
9.2.1 包装用的塑料盒要求:
a) 线轴放入塑料盒内不应松动。
b) 塑料包装盒应有一定的强度,并有防尘的作用。
9.2.2 外包装要求:
将塑料盒整齐排在纸箱内,盒与箱之间应加垫海绵或气泡膜塞紧,金丝不得从盒内松脱。
9.3 运输
9.3.1 不应同化学活性物质,潮湿性材料等对产品包装及产品本身有危害的材料混装在一起。
9.3.2 搬运和装卸时应注意轻拿轻放,以防产品碰伤、摔伤。
9.4 贮存
贮存温度:16 ℃~3O ℃,湿度:20 %~60 %。
10 质量证明书
每批产品应附有质量证明书.应包括以下内容:
a) 供方名称;
b) 需方名称;
c) 合同号;
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9
d) 产品名称;
e) 产品型号;
f) 产品批号;
g) 化学成分;
h) 力学性能(拉断力、伸长率);
i) 单轴长度及总长度;
j) 检验员印章及检验部门印章;
k) 出厂日期;
l) 其他需方要求的项目。
11 质量承诺
11.1.1 产品交付1 年内,经检验属于产品质量问题,免费更换。
11.1.2 客户有诉求时,应在24 小时内做出响应,根据客户的需求及时为客户提供服务和解决方案。
11.1.3 每批产品单轴应有条形码,若发生质量问题时,可以追溯到相应的原材料、工序、设备、操
作人员等信息。
11.1.4 当产品出现批量性质量问题时,应积极配合客户进行调查,如属于设计和制造的缺陷,应进
行退货和赔偿。
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