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SJ/T 11865-2022 功率器件用Φ150 mm n型碳化硅衬底
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资料介绍
本文件规定了功率器件用Φ150mm n型碳化硅(SiC)衬底的术语、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。
本文件适用于经抛光后制备的Φ150 mm n型 SiC衬底，晶型为4H。
本文件适用于经抛光后制备的Φ150 mm n型 SiC衬底，晶型为4H。
