GB∕T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测

GB∕T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测
本文件规定了监测计划的基本要求。这个监测计划依据所测量的空气中悬浮粒子浓度或对其有影响的其他参数，监测洁净室或洁净区按粒子浓度划分的空气洁净度方面的性能。
本文件适用于粒径0.1 μm～5 μm粒子浓度的监测。
本文件不适用于振动或工程系统一般维护等监测。超细粒子（小于0.1 μm的粒子）浓度的监测，将在另一个标准中规定。
标准号：GB/T 25915.2-2021
标准名称：洁净室及相关受控环境　第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测
英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments—Part 2:Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
替代以下标准：GB/T 25915.2-2010
引用标准：GB/T 25915.1-2021
采用标准：ISO 14644-2:2015
采标名称：《洁净室及相关受控环境　第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测》
采标程度：IDT 等同采用
起草人：施红平、王大千、刘俊杰、冯昕、龙军、王苑、谢敬伟、车玉伶、夏薇佳、吴志坚、吴巍、王芳、张仲杰、王辉、耿文韬、王蓉、周占磊、童广才、邱济夫、黄韧、魏佳鸣、姚增玉、廖志铭、詹炼、王华、张玉华、明飞平、程北川、于天、朱吉兴、邹再彬
起草单位：中国电子系统工程第二建设有限公司、江苏嘉合建设有限公司、天津泰达洁净材料有限公司、深圳市丽风净化工程有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、中国电子工程设计院有限公司、陕西中电精泰电子工程有限公司、派欧尼尔环境净化工程(北京)有限公司、北检润和(北京)技术服务有限公司、天俱时工程科技集团有限公司、苏州苏净仪器自控设备有限公司、天津大学、中国标准化协会、中国建筑科学研究院有限公司、上海市室内环境净化行业协会、广东省洁净技术行业协会、苏州华泰空气过滤器有限公司、深圳市朗奥洁净科技股份有限公司、上海市食品药品包装材料测试所、广东省实验动物监测所、上海中增科教设备有限公司、深圳市君信达环境科技股份有限公司、上海誉净环保科技有限公司、广州市微生物研究所有限公司、灵汇机电工程(杭州)有限公司、广西华原过滤系统股份有限公司、佛山市顺德区阿波罗环保器材有限公司、广东富瑞希空气净化过滤制品有限公司
归口单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)