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GB/T 35158-2017 俄歇电子能谱仪检定方法

  • 英文名称：Verification method for Auger electron spectrometers
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  • 提 取 码：abhg
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资料介绍

本标准规定了俄歇电子能谱仪(Auger electron spectrometer)的检定方法。
本标准适用于激发源为电子束，且带有溅射清洁用离子枪的俄歇电子能谱仪。

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