GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨

下载帮助：

发表评论

新闻评论（共有 0 条评论）

资料介绍

标准编号：GB/T 14601-2009
简体名称：电子工业用气体氨
繁体名称：电子工业用气体氨
英文名称：Gas for electronic industry—Ammonia

标准简介：
本标准规定了氨的技术要求,试验方法,检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。
本标准适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相淀积,也可用于硅或氧化硅的氮化