标准编号：GB/T 14601-2009 简体名称：电子工业用气体 氨 繁体名称：电子工业用气体 氨 英文名称：Gas for electronic industry—Ammonia标准简介：本标准规定了氨的技术要求,试验方法,检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 本标准适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相淀积,也可用于硅或氧化硅的氮化 ...

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