GB/T 32647-2016 平板显示器基板玻璃规范

　　ICS 31-030 L 90

　　中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准

　　GB/T 32647—2016

　　平板显示器基板玻璃规范

　　Specification for flatpaneldisplayglasssubstrates

　　2016-04-25发布 2016-11-01实施

　　中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会

　　发

　　布

　　GB/T 32647—2016

　　前 言

　　本标准按照 GB/T 1. 1—2009给出的规则起草 。

　　请注意本文件的某些内容可能涉及专利 。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任 。

　　本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203) 与全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC447)共同归 口 。

　　本标准主要起草单位 :东旭集团有限公司 、中国电子技术标准化研究院 、芜湖东旭光电科技有限公司 、石家庄旭新光电科技有限公司 、郑州旭飞光电科技有限公司 。

　　本标准主要起草人 :李兆廷 、王香 、李青 、王丽红 、裴会川 。

　　平板显示器基板玻璃规范

　　1 范围

　　本标准规定了平板显示器用基板玻璃的术语和定义 、技术要求 、试验方法 、检验规则以及标志 、包装 、运输和储存 。

　　本标准适用于平板显示器用基板玻璃 。

　　2 规范性引用文件

　　下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注 日期的引用文件 ,仅注 日期的版本适用于本文件 。凡是不注日期的引用文件 ,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 。

　　3 术语和定义

　　GB/T 32639—2016界定的术语和定义适用于本文件 。

　　4 技术要求

　　4. 1 外形尺寸

　　4. 1. 1 长宽尺寸

　　长宽尺寸偏差按照 GB/T 32645—2016中表 1 的规定 。

　　4. 1.2 厚度偏差

　　LCD基板玻璃 : ±10% ,PDP基板玻璃 : ±0. 025 mm。

　　4. 1.3 厚度变化量

　　厚度为 0. 7 mm、0. 63 mm、0. 5 mm、0. 4 mm、0. 3 mm 的 LCD基板玻璃厚度变化量应符合表 1 的规定 。PDP基板玻璃厚度变化量 :2 311 mm 范围内小于或等于 0. 03 mm。

　　GB/T 32647—2016

　　表 1 LCD基板玻璃厚度变化量

　　4. 1.4 翘曲度、挠度、波纹度、表面粗糙度

　　翘曲度 、挠度 、波纹度 、表面粗糙度应符合表 2 的规定 。

　　表 2 翘曲度、挠度、波纹度、粗糙度

　　4. 1.5 边缘形状及切角

　　边缘形状及切角按照 GB/T 32645—2016中第 4章的规定 。

　　4.2 外观缺陷

　　4.2. 1 内部缺陷

　　基板玻璃的内部缺陷应符合表 3 的规定 。

　　表 3 基板玻璃内部缺陷

　　4.2.2 边缘缺陷

　　基板玻璃的边缘缺陷应符合表 4 的规定 。

　　表 4 基板玻璃边缘缺陷

　　4.2.3 表面缺陷

　　基板玻璃的表面缺陷应符合表 5 的规定 。

　　表 5 基板玻璃表面缺陷

　　4.3 理化性能

　　基板玻璃的理化性能指标应符合表 6 的规定 。

　　表 6 理化性能指标

　　5 试验方法

　　5. 1 外形尺寸

　　按照 GB/T 32645—2016中 5. 2 的规定进行检验 。

　　5.2 厚度、厚度偏差、厚度变化量

　　沿着玻璃非流向方向 ,在同一条直线上 ,用精度为 0. 001 mm 的测厚仪以非接触式或接触式每隔固定间距进行测量 。厚度变化量为测量值的极差 。厚度偏差为所有测量数据与标准厚度的偏差 。

　　5.3 翘曲度

　　将待测样品放置在平台上 , 目视观察样品的翘曲状态 ,用自动测试仪进行测试 ,测量平台与样品之间的最大距离 ,如图 1所示 。

　　图 1 翘曲度测试

　　5.4 挠度

　　将待测样品分别按照要求放置到挠度支架上 ,将样品沿流向/非流向方向分别支撑起来 。手工测量样品中央部因 自重下垂的距离 。使用最小刻度为 1 mm 的钢板尺进行测量 ,如图 2所示 。

　　图 2 挠度测试

　　5.5 波纹度

　　按照附录 A规定进行检验 。

　　5.6 表面粗糙度

　　按照附录 B规定进行检验 。

　　5.7 边缘形状及切角

　　按照 GB/T 32645—2016中 5. 4 和 5. 5 的规定进行检验 。

　　5. 8 内部缺陷、划伤及裂纹

　　在暗室内 ,用边缘侧光 、10 klx 的光 、反面 1. 5 klx 的光 ,观测点距玻璃 300 mm 处目视观察 。如图 3所示 。

　　图 3 目测示意图

　　5.9 边缘缺陷

　　采用 10倍读数放大镜目视测量其尺寸 。

　　6 检验规则

　　6. 1 检验分类

　　平板显示器基板玻璃的检验分为出厂检验和型式检验 ,产品经出厂检验合格后可作为合格品交付 。

　　6.2 检验项目

　　6.2. 1 出厂检验项目为表 7 中规定的所有检验项 目 。

　　6.2.2 型式检验项目为技术要求中规定的全部项 目 。

　　表 7 出厂检验项目

　　6.3 组批

　　同一原材料 、同一配方 、同一工艺条件下 ,在规定时间内生产的基板玻璃为一批 。

　　6.4 型式检验条件

　　有下列情况之一时 ,应进行型式检验 :

　　a) 新产品或者产品转厂生产的试制定型鉴定 ;

　　b) 正式生产后 ,如结构 、材料 、工艺有较大改变 ,考核对产品性能影响时 ;

　　c) 正常生产过程中 ,定期或积累一定产量后 ,周期性地进行一次检验 ,考核产品质量稳定性时 ;

　　d) 产品长期停产后 ,恢复生产时 ;

　　e) 出厂检验结果与上次型式检验结果有较大差异时 。

　　6.5 抽样方案和判定规则

　　按照 GB/T 2828. 1—2012抽样检验程序中特殊检验水平确定样本量 ,接收质量限(AQL)按照与客户协定的要求执行 。

　　7 标志、合格证和产品说明书

　　7. 1 标志、合格证

　　包装箱上应标明运输方向 、开箱方向 、起重点 、防潮 、易碎等标识 ,合格证上标明产品生产 日期 、品种 、规格 、数量 。

　　7.2 产品说明书

　　产品说明书上应包括以下条款 :

　　a) 外形尺寸 ;

　　b) 厚度 ;

　　c) 定位角尺寸 ;

　　d) 直角度 ;

　　e) 波纹度 ;

　　f) 翘曲度 ;

　　g) 外观缺陷 。

　　8 包装、运输和储存

　　8. 1 包装

　　按照 GB/T 32646—2016规定执行 。

　　8.2 运输

　　8.2. 1 包装箱的装载和卸载

　　应采用规定方式将基板玻璃包装箱装载和卸载 。 由于装卸方向具有一定的高度 ,垂直装卸需要有适当高度的装货机或卸货机 。

　　8.2.2 包装箱的搬运和起吊方法

　　8.2.2. 1 PP箱

　　单个 PP箱可由人工搬运 ,多个 PP箱组合应由叉车起吊或机械搬运 。

　　8.2.2.2 A 型架

　　A 型架由叉车起吊或机械搬运 。A 型架装卸时 ,要慢要稳 ,叉车行驶速度不超过 5 km/h。

　　8.2.3 装运车

　　LCD基板玻璃采用带气垫的减震厢式货车运输 。货车应配备振动加速度测定仪 ,对运输过程颠簸状况进行全程记录 , 以便根据情况对运输线路进行调整 。PDP基板玻璃可采用普通厢式货车运输 。装运车在普通公路匀速行驶 ,车速应低于 60 km/h;路况较差路段速度不能超过 10 km/h;高速公路应匀速保持在 60 km/h~ 80km/h;禁止突然转弯 、急刹车 、突然加速 。

　　8.3 储存

　　8.3. 1 包装后的基板玻璃产品应储存在温度 25 ℃ ±5 ℃ ,相对湿度 45% ~ 65%的库房内 。

　　8.3.2 LCD基板玻璃产品保质期为 6个月 ,PDP基板玻璃的产品保质期为 12个月 。

　　附 录 A

　　(规范性附录)

　　平板显示器基板玻璃波纹度的测量方法

　　A. 1 范围

　　本方法规定了使用触针式表面粗糙度测量仪测量平板显示器基板玻璃表面波纹度的测量方法 。

　　本方法适用于测量平板显示器用基板玻璃的表面波纹度 。

　　A.2 术语和定义

　　A.2. 1

　　2CR滤波器 2CR filter

　　时间常数相等的 2组 R-C 回路串联连接的滤波器 。在截止波长下的标准传输率是 75% 。 A.2.2

　　高斯滤波器 Gaussian phasecorrectfilter

　　将高斯分布作为权函数 ,将截面曲线中演算积分后的曲线规定为相位补偿滤波纹度曲线 ,在截止波长下的传输率是 50% 。

　　A.2.3

　　预行程(和后行程) pre-travel(and post-travel)

　　Lp

　　为避免由于截止滤光器的瞬态反应而引起的剖面图失真 ,从示踪长度上减除的部分 。

　　注 : 建议在示踪长度开始阶段和没有后行程的情况下 ,用 2CR滤波器的预行程应为截止长波长 λL 的 2 倍 ;建议在使用相位校正滤波器时 ,预行程和后行程都应该与截止长波长 λL 相同 。

　　A.2.4

　　测定长度 evaluation length

　　Le

　　一种扣除预行程和后行程后的迹线长度 。测量样品的长度应包含波纹度的剖面曲线长度 。 A.2.5

　　截止长波长 long wavelength cut-off

　　λL

　　排除自然因素 , 当示 踪 轮 廓 曲 线 通 过 消 除 波 纹 因 素 影 响 的 高 通 波 长 滤 波 器 后 , 振 幅 衰 减 率 成 为75%时的波长 。

　　A.2.6

　　相位校正滤波器 phasecorrectfilter

　　一种在全剖面曲线图和滤过剖面曲线图之间不引起相位移动的剖面滤波器 。在截止波长下的标准传输率是 50% 。

　　A.3 仪器设备

　　仪器设备应满足以下要求 :

　　a) 触针式表面粗糙度测量仪 :尖部半径为 2 μm~ 20 μm ,尖部材质为金刚石材质 ;

　　b) 剖面滤波器 :2CR滤波器或相位校正滤波器 。

　　注 : 所采用的滤波方法应当确定 , 因为用相位校正滤波器测定的 Wfpd较之用 2CR滤波器测得之值小 。

　　A.4 测量条件

　　使用下列测量条件 :

　　a) 计算规格 :ISO-’97规格 ;

　　b) 测量类型 :滤波中心线膨胀测量 ;

　　c) 滤波类型 :高斯滤波 ;

　　d) 倾斜修正 :最小二乘直线修正或最小二乘曲线修正 ;

　　e) 测 量 长 度 : 30. 00 mm ~ 100. 00 mm (30 mm 用 于 条 纹 观 测 切 块 测 试 , 整 幅 测 试 可 设 定 为100 mm) ;

　　f) 截止波长 :0. 8 mm~ 8 mm;

　　g) 测量范围 : ±128. 0 μm 或 ±64. 0 μm;

　　h) 测量速度 :0. 30 mm/s或 0. 60 mm/s;

　　i) λS 滤波器 :有 ;

　　j) 截止比 : 300;

　　k) 移动 · 返回速度 :3. 00 mm/s(可任意设定) ;

　　l) 返回设定 :通常测量 ;

　　m) 预留驱动长度 :滤波波长/3× 2。

　　A.5 试样

　　一块洁净的平板显示器基板玻璃 ,在荧光灯或白炽灯照射下用肉眼观察 ,不变形无污物 。

　　A.6 测量步骤

　　测量按以下步骤进行 :

　　a) 取一片待测样品放到触针式表面粗糙度测量仪仪器平台面上 ,不能弯曲 ,放置 5 min或者更长时间以保证样品与房间温度一致 ;

　　b) 将探针放置于样品上 ,放置时要求测试探头运动方向与产品流向方向一致或垂直 。确定测量位置 ,并标识出起始测量位置 ;

　　c) 依次打开控制箱电源 、电脑主机电源及测试软件 ;

　　d) 进行各项参数设定并确认 ;

　　e) 按下坐标调节杆调节测量探针与样品表面的起始点完全接触后 ,进行测量 。测试探头沿着样品表面运动 ,测量实际轮廓平行面 ;

　　f) 测量结束后 ,显示测量结果 ;

　　g) 选择输出参数 Wfpd ;

　　h) 记录结果 ;

　　i) 节杆 ,使测量探针离开样品表面 2 cm 以上 ;

　　j) 将样品翻转后 ,重复以上步骤 ,测量另一面的波纹度 。

　　A.7 测试报告

　　报告应包括如下内容 :

　　a) 测试日期 ;

　　b) 测试人员 ;

　　c) 测量结果 ,结果精确至 0. 01 μm ,小数点后第 3位数四舍五入 ;

　　d) 仪器名称及型号 ;

　　e) 样品表面 ;

　　f) 测量位置(距离样品上方的长度和距离样品左边的长度) ;

　　g) 测量速度 ;

　　h) 截止波长 ;

　　i) 测量长度 LS。

　　附 录 B

　　(规范性附录)

　　平板显示器基板玻璃表面粗糙度的测量方法

　　B. 1 范围

　　本方法规定了使用触针式表面粗糙度测量仪测量平板显示器基板玻璃表面粗糙度的测量方法 。

　　本方法适用于平板显示器用基板玻璃表面粗糙度的测量 。

　　B.2 术语和定义

　　B.2. 1

　　触针式表面粗糙度测量仪 stylussurfaceroughnessmeasuringinstrument

　　探针在被测面的一部分上沿轮廓滑行 ,放大地记录下表面的不平整性并指明放大曲线的振幅是表面粗糙度数值范围的仪器 。

　　B.2.2

　　截止长波长 long wavelength cut-off

　　λL

　　排除自然因素 , 当示 踪 轮 廓 曲 线 通 过 消 除 波 纹 因 素 影 响 的 高 通 波 长 滤 波 器 后 , 振 幅 衰 减 率 成 为75%时的波长 。

　　B.2.3

　　真实剖面曲线图 realprofile

　　目标物体表面与垂直于该表面的一个平面的交叉线(参见图 B. 1) 。

　　图 B. 1 剖面曲线

　　B.2.4

　　截止短波长 shortwavelength cut-off

　　λS

　　示踪剖面曲线通过滤除粗糙度因素影响的低通波长滤波器后 ,其波幅衰减率成为标准值 75%时的波长 。

　　B.3 仪器设备

　　触针式表面粗糙度测量仪应满足以下要求 :

　　a) 尖部半径 :2 μm~ 5 μm;

　　b) 尖部材质 :金刚石材质 。

　　B.4 测量条件

　　使用下列测量条件 :

　　a) 计算规格 :ISO-’97规格 ;

　　b) 测量类型 :粗糙度测量 ;

　　c) 滤波类型 :高斯滤波 ;

　　d) 倾斜修正 :最小二乘直线修正 ;

　　e) 测量长度 :50 mm~ 100 mm;

　　f) 截止波长 :0. 08 mm;

　　g) 测量范围 : ±128. 0 μm 或 ±64. 0 μm;

　　h) 测量速度 :0. 30 mm/s或 0. 60 mm/s;

　　i) λs 滤波器 :有 ;

　　j) 截止比 :300;

　　k) 移动 · 返回速度 :3. 00 mm/s(可任意设定) ;

　　l) 返回设定 :通常测量 ;

　　m) 预留驱动长度 :滤波波长/3× 2 。

　　B.5 试样

　　一块洁净的平板显示器基板玻璃 ,在荧光灯或白炽灯照射下用肉眼观察 ,不变形无污物 。

　　B.6 测量步骤

　　B.6. 1 取一片待测样品放到触针式表面粗糙度测量仪仪器平台面上 ,样品不能弯曲 ,放置 5 min或者更长时间以保证样品与房间温度一致 。

　　B.6.2 将探针放置于样品上 ,放置时要求测试探头运动方向与产品流向方向一致或垂直 。确定测量位置 ,并标识出起始测量位置 。

　　B.6.3 依次打开控制箱电源 、电脑主机电源及测试软件 。

　　B.6.4 进行各项参数设定并确认 。

　　B.6.5 按下坐标调节杆调节测量探针与样品表面的起始点完全接触后 ,进行测量 ,测试探头沿着样品表面运动测量实际轮廓平行面 ,得到真实的轮廓外形和相应的滤波曲线 。

　　B.6.6 测量结束后 ,显示测量结果 。

　　B.6.7 选择需要输出的参数 Ra 或 Rz 或 Rmax后 ,使设定生效 。

　　B.6. 8 记录结果 。

　　B.6.9 操作坐标调节杆 ,使测量探针离开样品表面 2 cm 以上 。

　　B.7 测试报告

　　报告应包括如下内容 :

　　a) 测试日期 ;

　　b) 测试人员 ;

　　c) 测量结果 ,结果精确至 0. 001 μm ,小数点后第 4位数四舍五入 ;

　　d) 仪器名称及型号 ;

　　e) 样品表面 ;

　　f) 测量方向 ;

　　g) 测量速度 ;

　　h) 截止波长 ;

　　i) 测量长度 LS。