GB/T 26071-2018 太阳能电池用硅单晶片

　　ICS 29 . 045 H 82

　　中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准

　　GB/T 26071—2018

　　代替 GB/T 26071—2010

　　太阳能电池用硅单晶片

　　Monocrystallinesiliconwafersforsolarcells

　　2018-09-17 发布 2019-06-01 实施

　　国家市场监督管理总局中国国家标准化管理委员会

　　发

　　布

　　GB/T 26071—2018

　　前 言

　　本标准按照 GB/T 1 . 1—2009 给出的规则起草。

　　本标准代替 GB/T 26071—2010《太阳能电池用硅单晶切割片》。 与 GB/T 26071—2010 相比，主要技术变化如下：

　　— 将标准名称《太阳能电池用硅单晶切割片》修改为《太阳能电池用硅单晶片》(见封面，2010 年版的封面);

　　— 修改了范围中本标准适用性的描述(见第 1 章，2010 年版的第 1 章);

　　— 修改了电阻率测定引用标准，GB/T 1551 替代了 GB/T 1552(见第 2 章，2010 年版的第 2 章);

　　— 增加引用标准 GB/T 6619、GB/T 14844、GB/T 30859、GB/T 30860、GB/T 30869 和 YS/T 28 (见第 2 章，2010 年版的第 2 章);

　　— 删除了线痕的定义(见 2010 年版 3 . 1) ;

　　— 增加了产品牌号的表示方法(见 4 . 1) ;

　　— 将产品分类中“按外形可分为准方形和圆形两种”修改为“按外形可分为准方形和方形两种”，标准中删除了圆形分类及其要求，增加了方形(见 4 . 2 . 2 , 2010 年版的 4 . 1) ;

　　— 产品尺寸由“准方形硅片按其边长分为 125 mm×125 mm、156 mm×156 mm”修改为“准方形硅片按其边长分为 100.75 mm、125.75 mm、156 Ⅰ、156 Ⅱ、156 Ⅲ、161.75 mm、210.75 mm”(见

　　4 . 2 . 2 , 2010 年版的 4 . 2) ;

　　— 删除了圆 形 硅 片 的 尺 寸，增 加 了 “方 形 硅 片 按 其 尺 寸 可 分 为 100 . 75 mm、125. 75 mm、 156.75 mm、210.75 mm”的要求(见 4.2.2 , 2010 年版的 4.2) ;

　　— 增加了理化性能，即“硅片的晶体完整性、氧含量和碳含量应符合 GB/T 25076 的规定。 如有需要，由供方提供各项检验结果”(见 5 . 1) ;

　　— 增加了硅片厚度“130±15、140±15、150±15、170±20”相对应的要求;删除了硅片厚度“220±

　　20、240±20”相对应的要求;修改了翘曲度指标要求(见 5 . 2 . 1 , 2010 年版的 4 . 3 . 1) ;

　　— 修改了准方形硅片尺寸的要求(见 5 . 2 . 2 , 2010 年版的 4 . 3 . 2) ;

　　— 增加了方形硅片尺寸的要求(见 5 . 2 . 3) ;

　　— 删除了“硅片的导电类型、掺杂剂、少数载流子寿命和晶体完整性应符合 GB/T 25076 的规定” (见 2010 年版的 4 . 3 . 3 . 1) ;

　　— 电学性能参数中的电阻率范围下限由 0 . 5 Ω · cm 改为 P 型 0 . 2 Ω · cm, N 型 0 . 1 Ω · cm(见

　　5 . 3 . 2 , 2010 年版的 4 . 3 . 3 . 2) ;

　　— 修改了晶向偏离度的要求(见 5 . 4 , 2010 年版的 4 . 3 . 4) ;

　　— 修改了硅片线痕深度、崩边、缺口的要求(见 5 . 5 , 2010 年版的 4 . 3 . 5) ;

　　— 修改了导电类型和晶向的检查水平(见表 6 , 2010 年版的表 6) 。

　　本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)共同提出并归口 。

　　本标准起草单位：浙江省硅材料质量检验中心、有研半导体材料有限公司、泰州隆基乐叶光伏科技有限公司、苏州协鑫光伏科技有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、内蒙古中环光伏材料有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院。

　　本标准主要起草人：楼春兰、毛卫中、邹剑秋、汪新华、孙燕、杨素心、刘培东、宫龙飞、邓浩、李建弘、徐博、许国华、张军。

　　本标准所代替标准的历次版本发布情况为：

　　—GB/T 26071—2010 。

　　GB/T 26071—2018

　　太阳能电池用硅单晶片

　　1 范围

　　本标准规定了太阳能电池用硅单晶片(简称硅片)的牌号及分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容等。

　　本标准适用于由直拉法制备的硅单晶加工成的准方形或方形硅片，产品用于制作太阳能电池的衬底片。

　　2 规范性引用文件

　　下列文件对于本文件的应用是必不可少的。 凡是注 日期的引用文件，仅注 日期的版本适用于本文件 。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

　　GB/T 1550 非本征半导体材料导电类型测试方法

　　GB/T 1551 硅单晶电阻率测定方法

　　GB/T 1555 半导体单晶晶向测定方法

　　GB/T 2828 . 1—2012 计数抽样检验程序 第 1 部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划

　　GB/T 6616 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法

　　GB/T 6618 硅片厚度和总厚度变化测试方法

　　GB/T 6619 硅片弯曲度测试方法

　　GB/T 6620 硅片翘曲度非接触式测试方法

　　GB/T 11073 硅片径向电阻率变化的测量方法

　　GB/T 14140 硅片直径测量方法

　　GB/T 14264 半导体材料术语

　　GB/T 14844 半导体材料牌号表示方法

　　GB/T 25076 太阳能电池用硅单晶

　　GB/T 26068 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法

　　GB/T 30859 太阳能电池用硅片翘曲度和波纹度测试方法

　　GB/T 30860 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法

　　GB/T 30869 太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法

　　YS/T 28 硅片包装

　　3 术语和定义

　　GB/T 14264 界定的术语和定义适用于本文件。

　　4 分类

　　4 . 1 牌号

　　硅片牌号的表示按 GB/T 14844 的规定进行。

　　GB/T 26071—2018

　　4 . 2 分类

　　4 . 2 . 1 硅片按导电类型分为 P 型、N 型两种。

　　4 . 2 . 2 硅片按外形可分为准方形和方形两种。 准方形硅片按其边长分为 100. 75 mm、125.75 mm、156Ⅰ、 156 Ⅱ、156 Ⅲ、161. 75 mm、210. 75 mm;方 形 硅 片 按 其 边 长 可 分 为 100. 75 mm、125. 75 mm、 156.75 mm、210.75 mm;其他尺寸可由供需双方协商确定。

　　5 要求

　　5 . 1 理化性能

　　硅片的晶体完整性、氧含量和碳含量应符合 GB/T 25076 的规定。 如有需要，由供方提供各项检验结果。

　　5 . 2 外形尺寸

　　5 . 2 . 1 几何参数

　　硅片的几何参数应符合表 1 的规定，如需方有其他要求时，由供需双方协商确定。

　　表 1 几何参数 单位为微米

　　5 . 2 . 2 准方形硅片外形尺寸

　　准方形硅片的外形如图 1 所示，尺寸应符合表 2 的规定。 需方有其他要求时，由供需双方协商确定。

　　GB/T 26071—2018

　　说明：

　　A — 边长;

　　C — 弦长;

　　D — 直径;

　　F — 弧线在边长 A 上的投影。

　　图 1 准方形硅片外形示意图

　　表 2 准方形硅片尺寸 单位为毫米

　　5 . 2 . 3 方形硅片外形尺寸

　　方形硅片的外形如图 2 所示，尺寸应符合表 3 的规定。 需方有其他要求时，由供需双方协商确定。

　　GB/T 26071—2018

　　说明：

　　A — 边长; C — 倒角后边长; E — 倒角后的对角线长度;

　　G —对角线长度; H—倒角长度; α —倒角角度。

　　图 2 方形硅片外形示意图

　　表 3 方形硅片尺寸 单位为毫米

　　5 . 2 . 4 垂直度

　　硅片相邻两边长(A)之间的垂直度为 90°±0.3 °。

　　5 . 3 电学性能

　　硅片的电学性能应符合表 4 的规定。 如对电学性能有其他要求，由供需双方协商确定。

　　表 4 电学性能

　　5 . 4 晶向及晶向偏离度

　　硅片的晶向为〈100〉，晶向偏离度应不大于 2 °。硅片四个边缘晶向为〈100〉±2°。

　　GB/T 26071—2018

　　5 . 5 表面质量

　　硅片的表面质量应符合表 5 的规定。

　　表 5 表面质量

　　6 试验方法

　　6 . 1 厚度和总厚度变化的测量按 GB/T 6618 或 GB/T 30869 的规定进行。 仲裁方法按 GB/T 6618 的规定进行。

　　6 . 2 弯曲度的测量按 GB/T 6619 的规定进行。

　　6 . 3 翘曲度的测量按 GB/T 6620 或 GB/T 30859 的规定进行。 仲裁方法按 GB/T 6620 的规定进行。

　　6 . 4 直径的测量按 GB/T 14140 的规定进行。

　　6 . 5 除厚度、总厚度变化、弯曲度、翘曲度、直径外的外形尺寸的测量用游标卡尺或相应精度的量具进行。

　　6 . 6 导电类型的测试按 GB/T 1550 的规定进行。

　　6 . 7 电 阻 率 的 测 试 按 GB/T 6616 的 规 定 进 行，也 可 按 GB/T 1551 的 规 定 进 行。 仲 裁 方 法 按GB/T 6616的规定进行。

　　6 . 8 径向电阻率变化的测试按 GB/T 11073 的规定进行，测试点的选择方案和径向电阻率变化计算公式的选择由供需双方协商确定。

　　6 . 9 载流子复合寿命的测试按 GB/T 26068 的规定进行，或按照供需双方协商确定的方法进行。

　　6 . 10 晶向及晶向偏离度的测试按 GB/T 1555 规定进行。

　　6 . 1 1 除线痕外的表面质量在 430 lx~650 lx光强度的荧光灯或乳白灯下 目视检查。 线痕深度的测量按 GB/T 30860 的规定进行。

　　7 检验规则

　　7 . 1 检查和验收

　　7 . 1 . 1 产品应由供方技术(质量)监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准和订货单(或合同)的规定，并填写产品质量证明书。

　　7 . 1 . 2 需方可对收到的产品按本标准的规定进行检验，若检验结果与本标准或订货单(合同)的规定不符时，应在收到产品之日起 3 个月内向供方提出，由供需双方协商解决。

　　7 . 2 组批

　　产品应成批提交验收。 每批应由相同外形尺寸、相同导电类型、相同电阻率范围的硅片组成。

　　GB/T 26071—2018

　　7 . 3 检验项目

　　7 . 3 . 1 每批产品应对外形尺寸、导电类型、电阻率、径向电阻率变化、晶向、晶向偏离度、表面质量进行检验。

　　7 . 3 . 2 载流子复合寿命是否检验由供需双方协商确定。

　　7 . 4 取样

　　7 . 4 . 1 除载流子复合寿命外的项目检验取样按 GB/T 2828 . 1—2012 一般检验水平 Ⅱ ,正常检验一次抽

　　样方案进行，或由供需双方协商确定的抽样方案进行。

　　7 . 4 . 2 载流子复合寿命的检验结果由供方提供，或载流子复合寿命的检验取样由供需双方协商。

　　7 . 5 检验结果的判定

　　7 . 5 . 1 硅片检验的接收质量限见表 6 。

　　表 6 接收质量限

　　7 . 5 . 2 载流子复合寿命检验结果的判定由供需双方协商。

　　GB/T 26071—2018

　　8 标志、包装、运输、贮存和质量证明书

　　8 . 1 标志

　　产品包装箱外应标有“小心轻放”“防腐”“防潮”字样或标志，并注明：

　　a) 供方名称;

　　b) 产品名称;

　　c) 产品数量。

　　8 . 2 包装

　　产品包装按 YS/T 28 的规定进行，或由供需双方协商确定。

　　8 . 3 运输

　　产品在运输过程中应轻装轻卸，严禁抛掷，且应采取防震、防潮措施。

　　8 . 4 贮存

　　产品应贮存在清洁、干燥环境中。

　　8 . 5 质量证明书

　　每批产品应附上质量证明书，其上注明：

　　a) 供方名称;

　　b) 产品名称或牌号;

　　c) 产品批号;

　　d) 产品片数;

　　e) 各项检验结果及检验部门印记;

　　f) 本标准编号;

　　g) 出厂日期。

　　9 订货单(或合同)内容

　　订购本标准所列产品的订货单(或合同)应包含下列内容：

　　a) 产品名称;

　　b) 产品要求;

　　c) 数量 ;

　　d) 本标准编号;

　　e) 供需双方协商确定的其他要求。