GB/T 26289-2010 高纯硒化学分析方法 硼、铝、铁、锌、砷、银、锡、锑、碲、汞、镁、钛、镍、铜、镓、镉、铟、铅、铋量的测定 电感耦合等离子体质谱法
- 名 称:GB/T 26289-2010 高纯硒化学分析方法 硼、铝、铁、锌、砷、银、锡、锑、碲、汞、镁、钛、镍、铜、镓、镉、铟、铅、铋量的测定 电感耦合等离子体质谱法 - 下载地址1
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资料介绍
ICS 77. 120. 01 H 14
中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准
GB/T 26289—2010
高纯硒化学分析方法
硼、铝、铁、锌、砷、银、锡、锑、碲、汞、
镁、钛、镍、铜、镓、镉、铟、铅、铋量的测定
电感耦合等离子体质谱法
Methodsforchemicalanalysisofhigh purity selenium—
Determination ofboron,aluminum,iron,zinc,arsenic,silver,tin,antimony,
tellurium,mercury,magnesium,titanium,nickel,copper,gallium,cadmium,
indium,lead andbismuth contents—
Inductively coupledplasma massspectrometry
2011-01-14发布 2011-11-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会
发
布
GB/T 26289—2010
前 言
本标准是按照 GB/T 1. 1—2009给出的规则起草的 。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归 口 。
本标准起草单位 :北京有色金属研究总院 。
本标准参加起草单位 :北京矿冶研究院 、峨嵋半导体材料厂 。
本标准主要起草人 :刘英 、高燕 、李继东 、刘红 、冯先进 、文英 、李华昌 、阮桂色 。
Ⅰ
GB/T 26289—2010
高纯硒化学分析方法
硼、铝、铁、锌、砷、银、锡、锑、碲、汞、
镁、钛、镍、铜、镓、镉、铟、铅、铋量的测定
电感耦合等离子体质谱法
1 范围
本标准规定了高纯硒中硼 、铝 、铁 、锌 、砷 、银 、锡 、锑 、碲 、汞 、镁 、钛 、镍 、铜 、镓 、镉 、铟 、铅 、铋杂质元素的测定方法 。
本标准适用于高纯硒中硼 、铝 、铁 、锌 、砷 、银 、锡 、锑 、碲 、汞 、镁 、钛 、镍 、铜 、镓 、镉 、铟 、铅 、铋含量的测定 。测定范围见表 1。
表 1
元 素
测定范围/%
元 素
测定范围/%
B
0. 0001~ 0. 0010
Mg
0. 00001~ 0. 00020
Al
0. 00005~ 0. 0010
Ti
0. 00001~ 0. 00020
Fe
0. 00005~ 0. 0010
Ni
0. 00001~ 0. 00020
Zn
0. 00005~ 0. 0010
Cu
0. 00001~ 0. 00020
As
0. 00005~ 0. 0010
Ga
0. 00001~ 0. 00020
Ag
0. 00005~ 0. 0010
Cd
0. 00001~ 0. 00020
Sn
0. 00005~ 0. 0010
In
0. 00001~ 0. 00020
Sb
0. 00005~ 0. 0010
Pb
0. 00001~ 0. 00020
Te
0. 00005~ 0. 0010
Bi
0. 00001~ 0. 00020
Hg
0. 00005~ 0. 0010
—
—
2 方法提要
试料以硝酸溶解 ,采用电感耦合等离子体质谱法直接测定硼 、铝 、铁 、锌 、砷 、银 、锡 、锑 、碲和汞含量 ;以阳离子交换将镁 、钛 、镍 、铜 、镓 、镉 、铟 、铅 、铋与大量硒基体分离并得到富集 ,采用电感耦合等离子体质谱法测定镁 、钛 、镍 、铜 、镓 、镉 、铟 、铅和铋含量 。
3 试剂与材料
除非另有 说 明 , 在 分 析 中 仅 使 用 确 认 为 优 级 纯 的 试 剂 ; 所 用 水 为 去 离 子 水 , 电 阻 率 不 小 于18. 2 MΩ · cm。
3. 1 盐酸(ρ1. 19g/mL) 。
3. 2 硝酸(ρ1. 42g/mL) 。
1
GB/T 26289—2010
3. 3 盐酸(1+1) 。
3. 4 氢氟酸(ρ1. 128g/mL) 。
3. 5 氨水(ρ0. 90g/mL) 。
3. 6 硝酸(1+1) 。
3. 7 硝酸(1+2) 。
3. 8 硝酸(4+11) 。
3. 9 硝酸 (1+1500) 。
3. 10 银标准贮存溶液 :称取 1. 0000g银[wAg≥99. 99%] ,置于 300mL烧杯中 ,加 20mL硝酸(3. 6) ,低温加热溶解 ,加热除去氮的氧化物 ,取下冷却 ,移入 1000mL容量瓶中 ,加入 50mL硝酸(3. 2) ,用水稀释至刻度 ,混匀 。此溶液 1 mL含 1 mg银 。
3. 11 砷 标 准 贮 存 溶 液 : 称 取 1. 0000 g 砷[wAs ≥99. 99%] , 置 于 300 mL 烧 杯 中 , 加 入 50 mL 硝 酸(3. 6) ,低温加热溶解 ,加热除去氮的氧化物 ,冷却 ,移入 1000mL容量瓶中 ,加入 40mL硝酸(3. 2) ,用水稀释至刻度 ,混匀 。此溶液 1 mL含 1 mg砷 。
3. 12 硼标准贮存溶液 :称取 5. 7174g硼酸[wH3BO3 ≥99. 99%] ,置于 300mL烧杯中 ,加少量水 ,低温加热溶解 ,取下冷却 ,移入 1000mL容量瓶中 ,用水稀释至刻度 ,混匀 。此溶液 1 mL含 1 mg硼 。
3. 13 汞标准贮存溶液 :称取 1. 0000 g汞[wHg≥99. 99%] ,置于盛有 30mL硝酸(3. 6) 300mL烧杯中 ,移至通风橱内慢慢 加 热 溶 解 , 溶 解 完 全 后 加 水 稀 释 , 移 入 1 000 mL 容 量 瓶 中 , 加 入 50 mL 硝 酸(3. 2) ,用水稀释至刻度 ,混匀 。此溶液 1 mL含 1 mg汞 。
3. 14 铁标准贮存溶液 :称取 1. 0000 g铁[wFe≥99. 99%] ,置于 300mL烧杯中 ,用 30mL硝酸(3. 6)溶解完全后 ,加热除去氮的氧化物 ,取下冷却 ,移入 1000mL容量瓶中 ,加入 50mL硝酸(3. 2) ,用水稀释至刻度 ,混匀 。此溶液 1 mL含 1 mg铁 。
3. 15 碲标准贮存溶液 :称取 1. 0000 g碲[wTe≥99. 99%] ,置于 300mL烧杯中 ,加 50mL硝酸(3. 6) ,低温溶解 ,加热除去氮的氧化物 ,取下冷却 ,移入 1000mL容量瓶中 ,加入 40mL硝酸(3. 2) ,用水稀释至刻度 ,混匀 。此溶液 1 mL含 1 mg碲 。
3. 16 锌标准贮 存 溶 液 : 称 取 1. 0000 g 锌[wZn ≥99. 99%] , 置 于 300 mL 烧 杯 中 , 加 入 20 mL 硝 酸(3. 6) ,低温溶解 ,加热除去氮的氧化物 ,冷却 ,移入 1000mL容量瓶中 ,加入 50mL硝酸(3. 2) ,用水稀释至刻度 ,混匀 。此溶液 1 mL含 1 mg锌 。
3. 17 铜标准贮存溶液 :称取 1. 0000 g铜[wCu≥99. 99%] ,置于 300mL烧杯中 ,加 20mL硝酸(3. 6) ,低温溶解 ,加热除去氮的氧化物 ,取下冷却 ,移入 1000mL容量瓶中 ,加入 50mL硝酸(3. 2) ,用水稀释至刻度 ,混匀 。此溶液 1 mL含 1 mg铜 。
3. 18 镉标准贮存溶液 :称取 1. 0000 g镉[wCd≥99. 99%] ,置于 300mL烧杯中 ,加 20mL硝酸(3. 6) ,低温溶解 ,加热除去氮的氧化物 ,取下冷却 ,移入 1000mL容量瓶中 ,加入 50mL硝酸(3. 2) ,用水稀释至刻度 ,混匀 。此溶液 1 mL含 1 mg镉 。
3. 19 镓标准贮存溶液 :称取 1. 0000 g镓[wGa≥99. 99%] ,置于 300mL烧杯中 ,加 20mL硝酸(3. 6) ,低温溶解 ,加热除去氮的氧化物 ,取下冷却 ,移入 1000mL容量瓶中 ,加入 50mL硝酸(3. 2) ,用水稀释至刻度 ,混匀 。此溶液 1 mL含 1 mg镓 。
3. 20 铟标准贮 存 溶 液 : 称 取 1. 000 0 g 铟[wIn ≥99. 99%] , 置 于 300 mL 烧 杯 中 , 加 入 20 mL 硝 酸(3. 6) ,低温溶解 ,冷却 ,移入 1000mL容量瓶中 ,加入 50mL硝酸(3. 2) ,用水稀释至刻度 ,混匀 ,此溶液1 mL含 1 mg铟 。
3. 21 镁标准贮存溶液 :称取 1. 0000 g镁[wMg≥99. 99%] ,置于 300mL烧杯中 ,加入 20mL水 ,慢慢加入 20mL硝酸(3. 6) , 低 温 溶 解 , 加 热 除 去 氮 的 氧 化 物 , 取 下 冷 却 , 移 入 1 000 mL 容 量 瓶 中 , 加 入50mL 硝酸(3. 2) ,用水稀释至刻度 ,混匀 。此溶液 1 mL含 1 mg镁 。
3. 22 镍标准贮存溶液 :称取 1. 0000 g镍[wNi≥99. 99%] ,置于 300mL烧杯中 ,加 40mL硝酸(3. 6) ,
2
GB/T 26289—2010
低温溶解 ,加热除去氮的氧化物 ,取下冷却 ,移入 1000mL容量瓶中 ,加入 40mL硝酸(3. 2) ,用水稀释至刻度 ,混匀 。此溶液 1 mL含 1 mg镍 。
3. 23 铅标准贮 存 溶 液 : 称 取 1. 0000 g 铅[wPb ≥99. 99%] , 置 于 300 mL 烧 杯 中 , 加 入 30 mL 硝 酸(3. 6) ,低温溶解 ,加热除去氮的氧化物 ,取下冷却 ,移入 1000mL容量瓶中 ,加入 50mL硝酸(3. 2) ,用水稀释至刻度 ,混匀 ,此溶液 1 mL含 1 mg铅 。
3. 24 铋标准贮存溶液 :称取 1. 0000 g铋[wBi≥99. 99%] ,置于 300mL烧杯中 ,加 20mL硝酸(3. 6) ,低温溶解 ,加热除去氮的氧化物 ,取下冷却 ,移入 1000mL容量瓶中 ,加入 50mL硝酸(3. 2) ,用水稀释至刻度 ,混匀 。此溶液 1 mL含 1 mg铋 。
3. 25 锡标准贮存溶液 :称取 1. 0000 g锡[wSn≥99. 99%] ,置于 300mL烧杯中 ,加 50mL盐酸(3. 1) ,加热溶解 ,移入 1000mL容量瓶中 ,加入 150mL盐酸(3. 1) 用水稀释至刻度 ,混匀 。此溶液 1 mL含1 mg锡 。
3. 26 铝标准贮存溶液 :称取 1. 0000 g铝[wAl≥99. 99%] ,置于 300mL烧杯中 ,加 20mL盐酸(3. 3) ,滴加 1mL~ 2mL硝酸(3. 2) ,低温溶解 ,移入 1000mL容量瓶中 ,加入 80mL盐酸(3. 1)用水稀释至刻度 ,混匀 。此溶液 1 mL含 1 mg铝 。
3. 27 钛标准贮存溶液 :称取 1. 0000 g钛[wTi≥99. 99%] ,置于 300mL聚四氟乙烯烧杯中 ,加 20mL盐酸(3. 1) ,滴加 1 mL~ 2 mL硝酸(3. 2) ,加 4 mL氢氟酸(3. 3) ,低温溶解 ,移入 1000mL塑料容量瓶中 ,加入 80mL盐酸(3. 1)用水稀释至刻度 ,混匀 。此溶液 1 mL含 1 mg钛 。
3. 28 锑标准贮存溶液 :称取 1. 0000g锑[wSb≥99. 99%] ,置于 300mL烧杯中 ,加入盐酸(3. 1)和硝酸(3. 6)各 20mL,加热溶解 ,移入 1000mL容量瓶中 ,加入 150mL盐酸(3. 1)用水稀释至刻度 ,混匀 。此溶液 1 mL含 1 mg锑 。
3. 29 标准溶液 A:分别移取标准贮存溶液(3. 10~ 3. 24) 各 1 mL至 100mL容量瓶 ,加入 5 mL硝酸(3. 2) ,稀释至刻度 ,混匀 ,此溶液含银 、砷 、硼 、汞 、铁 、碲 、锌 、镁 、铋 、铜 、镉 、镓 、铟 、镍 、铅各 10μg/mL。
3. 30 标准溶液 B:分别移取标准贮存溶液(3. 25~ 3. 28)各 1 mL至 100mL塑料容量瓶中 ,加入 5 mL硝酸(3. 2) ,稀释至刻度 ,混匀 ,溶液含锑 、锡 、铝 、钛各 10μg/mL。
3. 31 标准溶液 C:移取 10mL标准溶液 A 至 100mL塑料容量瓶 ,加入 5mL硝酸(3. 2) ,稀释至刻度 ,混匀 ,此溶液含银 、砷 、硼 、汞 、铁 、碲 、锌 、镁 、铋 、铜 、镉 、镓 、铟 、镍 、铅各 1. 0 μg/mL。
3. 32 标准溶液 D:移取 10mL标准溶液 B 至 100mL塑料容量瓶 ,加入 5mL硝酸(3. 2) ,稀释至刻度 ,混匀 ,此溶液含锑 、锡 、铝 、钛各 1. 0 μg/mL。
3. 33 铑内标溶液 :称取 0. 3856g氯铑酸铵 ,置于 300mL烧杯中 ,加入 10mL盐酸(3. 3) ,移入 100mL容量瓶中 ,加入 10mL盐酸(3. 1)用水稀释至刻度 ,摇匀 ,此溶液 1 mL含 1 mg铑 ,使用前稀释 ,每一步的稀释溶液中保持 2%的硝酸介质 ,稀释后溶液 1 mL含 1. 0μg铑 ,体积分数为 2%HNO3 介质 。
3. 34 强酸性阳离子交换树脂
将 70~ 200 目筛的交联度为 7%的 001型强酸性阳离子交换树脂先用水冲洗至出水清澈无混浊 、无杂质 ,然后用盐酸(3. 3)浸泡 2 h,再用大量水淋洗 ,至出水接近中性 ,如此重复 3 次 ,每次酸用量为树脂体积的 2倍 。最后用水洗至中性 ,待用 。
3. 35 氩气[wAr≥99. 995%] 。
4 仪器
4. 1 离子交换柱
管长约 50mm ,管内径 1. 5 mm。将洗净后的玻璃纤维塞至管底 , 以防止树脂流出 ,管内充满水 ,将处理好的树脂(3. 34)注入管内 ,装入树脂高度约 25 mm~ 40 mm(树脂体积约 0. 5 mL) ,上面再覆盖些玻璃纤维 。泵入水 ,保持树脂湿润 。
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GB/T 26289—2010
交换柱再生 : 以 0. 5 mL/min的流速泵入 15mL硝酸(3. 7) ;最后 ,用 10mL去离子水以 1 mL/min的流速冲洗柱中树脂 ,待用 。
4. 2 电感耦合等离子体质谱仪 :质量分辨率优于(0. 8±0. 1) amu。
5 分析步骤
5. 1 试料
5. 1. 1 硼 、铝 、铁 、锌 、砷 、银 、锡 、锑 、碲和汞的测定 ,称取 0. 1 g试样 ,精确至 0. 0001 g。
5. 1. 2 镁 、钛 、镍 、铜 、镓 、镉 、铟 、铅和铋的测定 ,称取 1. 5 g试样 ,精确至 0. 0001 g。
5. 2 测定数量
独立地进行两次测定 ,取其平均值 。
5. 3 空白试验
随同试料做空白试验 。
5. 4 分析试液的制备
5. 4. 1 硼、铝、铁、锌、砷、银、锡、锑、碲和汞的测定
将试料(5. 1. 1)置于 300mL聚四氟乙烯烧杯中 ,盖上烧杯盖 ,分次加入总量为 3 mL 的硝酸(3. 2) ,低温加热至试料溶解完全 ,取下 ,冷却后移入 100mL塑料容量瓶中 ,加入内标溶液(3. 33)1. 0 mL,用去离子水稀释至刻度 ,摇匀待测 。
5. 4. 2 镁、钛、镍、铜、镓、镉、铟、铅和铋的测定
将试料(5. 1. 2)置于 300mL聚四氟乙烯烧杯中 ,盖上烧杯盖 ,分次加入总量为 5 mL 的硝酸(3. 2) ,低温加热,试料溶解完全后 ,继续低温加热至烧杯内有少量白色固体析出 ,加入少量水溶解 ,取下 ,冷却后移入 100mL塑料容量瓶中 ,用去离子水稀释(稀释体积大约 50mL 为宜) ,并用氨水(3. 4) 调节 pH值至 1. 0~ 3. 0,然后以 2 mL · min-1 的速度泵入准备好的离子交换柱中 。进样完毕后 , 用 5 mL硝酸(3. 9)淋洗 ,再用 5 mL 的硝酸(3. 8)以 0. 5 mL · min-1 的速度洗脱 。 收集洗脱液 ,加入内标溶液(3. 33) 0. 25mL,定容至 25mL,摇匀 ,待测 。
5. 5 工作曲线的绘制
5. 5. 1 硼、铝、铁、锌、砷、银、锡、锑、碲和汞工作曲线的绘制
5. 5. 1. 1 分别移取标准溶液 C(3. 31)0mL、0. 20mL、0. 50mL、1. 00mL 于 4 个 100mL塑料容量瓶中 ,加入内标溶液(3. 33)1. 00mL, 以水稀释至刻度 ,混匀 。此系列标准溶液 1 mL含硼 、铁 、锌 、砷 、银 、碲 、汞分别为 0 ng、2 ng、5 ng和 10ng。
5. 5. 1. 2 分别移取标准溶液 D(3. 32)0mL、0. 20mL、0. 50mL、1. 00mL 于 4 个 100mL塑料容量瓶中 ,加入内标溶液(3. 33)1. 00mL, 以水稀释至刻度 , 混匀 。此系列标准溶液 1 mL含铝 、锡 、锑分别为
0 ng、2 ng、5 ng和 10ng。
5. 5. 2 镁、钛、镍、铜、镓、镉、铟、铅、铋工作曲线的绘制
分别移取标准溶液 C(3. 31) 、标准溶液 D(3. 32)0mL、1. 00mL、5. 00mL、10. 00mL、15. 00mL于
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GB/T 26289—2010
5个 100mL塑料容量瓶中 ,加入内标 溶 液(3. 33) 1. 00mL, 以 水 稀 释 至 刻 度 , 混 匀 。此 系 列 标 准 溶 液1 mL 含镁 、钛 、镍 、铜 、镓 、镉 、铟 、铅 、铋分别为 0 ng、10ng、50ng、100ng和 150ng。
5. 6 测定
5. 6. 1 测定同位素
各元素的测定同位素质量数见表 2。
表 2
元 素
同位素质量数
元 素
同位素质量数
B
11
Mg
24
Al
27
Ti
47、48
Fe
56
Ni
60
Zn
66
Cu
63
As
75
Ga
69
Ag
107
Cd
111
Sn
118、119
In
115
Sb
121
Pb
208
Te
128
Bi
209
Hg
202
Rh
103
注 : Fe和 118Sn采
用去干扰技术测定 。
5. 6. 2 将空白溶液(5. 3) 、分析试液(5. 4)与标准系列溶液(5. 5)同时进行氩等离子体质谱测定 。
6 分析结果的计算
按式(1)计算各待测元素的质量分数 wx,数值以 %表示 :
wx
式中 :
x— 被测元素硼 、铝 、铁 、锌 、砷 、银 、锡 、锑 、碲 、汞 、镁 、钛 、镍 、铜 、镓 、镉 、铟 、铅 、铋 ;
ρ1— 自工作曲线上查得空白试料溶液的各杂质元素的质量浓度 ,单位为纳克每毫升(ng/mL) ; ρ2— 自工作曲线上查得试料中各杂质元素的质量浓度 ,单位为纳克每毫升(ng/mL) ;
V— 试料溶液的体积 ,单位为毫升(mL) ;
m— 试料的质量 ;单位为克(g) 。
7 精密度
7. 1 重复性
在重复性条件下获得的两个独立测试结果的测定值 ,在以下给出的范围内 ,这两个测试结果的绝对值不超过重复性限(r) ,超过重复性限(r)的情况不超过 5% 。重复性限(r)按表 3 数据采用线性内插法求得 :
5
GB/T 26289—2010
表 3
元 素
质量分数/%
重复性限(r)/%
元素
质量分数/%
重复性限(r)/%
银
0. 0001
0. 00006
镁
0. 00001
0. 000003
0. 0005
0. 00007
0. 00005
0. 000006
0. 0010
0. 00013
0. 00010
0. 000015
铝
0. 0001
0. 00005
钛
0. 00001
0. 000005
0. 0005
0. 00006
0. 00005
0. 000008
0. 0010
0. 00012
0. 00010
0. 000015
砷
0. 0001
0. 00004
镍
0. 00001
0. 000004
0. 0005
0. 00006
0. 00005
0. 000006
0. 0010
0. 0001
0. 00010
0. 000015
硼
0. 0001
0. 00005
铜
0. 00001
0. 000005
0. 0005
0. 00008
0. 00005
0. 000008
0. 0010
0. 00017
0. 00010
0. 000015
汞
0. 0001
0. 00004
镓
0. 00001
0. 000003
0. 0005
0. 00006
0. 00005
0. 000004
0. 0010
0. 00014
0. 00010
0. 000014
铁
0. 0001
0. 00004
镉
0. 00001
0. 000005
0. 0005
0. 00006
0. 00005
0. 000008
0. 0010
0. 00015
0. 00010
0. 00002
锑
0. 0001
0. 00004
铟
0. 00001
0. 000003
0. 0005
0. 00004
0. 00005
0. 000004
0. 0010
0. 00011
0. 00010
0. 000013
锡
0. 0001
0. 00005
铅
0. 00001
0. 000003
0. 0005
0. 00005
0. 00005
0. 000004
0. 0010
0. 00012
0. 00010
0. 000013
碲
0. 0001
0. 00003
铋
0. 00001
0. 000003
0. 0005
0. 00006
0. 00005
0. 000004
0. 0010
0. 00013
0. 00010
0. 000011
锌
0. 0001
0. 00004
—
—
—
0. 0005
0. 00006
—
—
0. 0010
0. 00015
—
—
7. 2 再现性限
在再现性条件下获得的两次独立测试结果的测定值 ,在以下给出的平均值范围内 ,这两个测试结果的绝对差值不超过再现性限(R) ,超过再现性限(R)的情况不超过 5% ,再现性限(R)按表 4 数据采用线性内插法求得 :
6
GB/T 26289—2010
表 4
元素
质量分数/%
再现性限(R)/%
元素
质量分数/%
再现性限(R)/%
银
0. 0001
0. 00006
镁
0. 00001
0. 000005
0. 0005
0. 0001
0. 00005
0. 00001
0. 0010
0. 00013
0. 00010
0. 00002
铝
0. 0001
0. 00008
钛
0. 00001
0. 000005
0. 0005
0. 0001
0. 00005
0. 00001
0. 0010
0. 0002
0. 00010
0. 000015
砷
0. 0001
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