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YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉
- 英文名称：Ruthenium powder for ruthenium sputttering target
- 下载地址：[下载地址2]
- 提 取 码：y1pt
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资料介绍
本标准规定了磁记录及集成电路领域钌系溅射靶材用钌粉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单）内容。
本标准适用于制备磁记录及集成电路领域钌系溅射靶材用钌粉。
本标准适用于制备磁记录及集成电路领域钌系溅射靶材用钌粉。
