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YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉  下载

360book.com  2018-04-30 19:03:30  下载

本标准规定了磁记录及集成电路领域钌系溅射靶材用钌粉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。本标准适用于制备磁记录及集成电路领域钌系溅射靶材用钌粉。...