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YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材
- 英文名称：High-purity cobalt sputtering target used in electronic film
- 下载地址：[下载地址2]
- 提 取 码：a49k
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资料介绍
本标准规定了电子薄膜用高纯钴靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单（或合同）内容。 本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。
