本标准规定了电子薄膜用高纯钴靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。 本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。... 上一篇:YS/T 1075.8-2015 钒铝、钼铝中间合金化学分析方法 第8部分:钼、铝量的测定 X-荧光光谱法下一篇:YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法