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GB/T 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷

  • 英文名称：Gas for electronic industry-Perfluoropropane
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资料介绍

本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。
本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备，并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品，以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。

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