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GB/T 29732-2013 表面化学分析中等分辨率俄歇电子谱仪元素分析用能量标校准

英文名称：Surface chemical analysis - Medium resolution auger electron spectrometers - Calibration of energy scales for elemental analysis
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本标准规定了俄歇电子谱仪动能标不确定度为3eV时的校准方法，用于识别表面常规元素。另外，还规定一种用于确定校准周期的方法。
本标准适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于等于0.5%，微分模式调制幅度的峰峰值为2eV。
本标准适用于配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法，具有4keV或更高束能电子枪的谱仪。

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