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GB/T 29504-2013 300mm 硅单晶
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资料介绍
标准编号：GB/T 29504-2013
中文名称：300mm 硅单晶
英文名称：300 mm monocrystalline silicon
标准介绍：
本标准规定了直径300mm、p型、<100>晶向、电阻率0.5Ω·cm~20Ω·cm 硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。
本标准适用于由直拉法制备的硅单晶,主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13μm 及以下技术需求的300mm 硅单晶抛光片。
