GB/T 14139-2009 硅外延片

本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装运输、贮存等。
　　本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的n型外延层（N/N＋）和在p型硅抛光片衬底上生长的P型外延层（P/P＋）的同质硅外延片。产品主要用于制作硅半导体器件。其他类型的硅外延片可参照使用。

　　本标准代替GB/T 14139-1993《硅外延片》。
　　本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
　　本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。