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GB/T 14139-2019 硅外延片
- 英文名称：Silicon epitaxial wafers
- 下载地址：[下载地址1]
- 提 取 码：87lk
- 浏览次数：3
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资料介绍
本标准规定了硅外延片的牌号和分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同)内容。
本标准适用于在直径不大于150 mm的N型和P型硅抛光片衬底上生长的硅外延片。
本标准适用于在直径不大于150 mm的N型和P型硅抛光片衬底上生长的硅外延片。
