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GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法
- 英文名称：Test method for particles on polished silicon wafer surfaces
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- 提 取 码：xag4
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资料介绍
本标准规定了应用扫描表面检查系统对抛光片、外延片等镜面晶片表面的局部光散射体进行测试，对局部光散射体与延伸光散射体、散射光与反射光进行区分、识别和测试的方法。
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