GB/T 21287-2007 电子工业用气体三氟化氮

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资料介绍

标准编号：GB/T 21287-2007
简体名称：电子工业用气体三氟化氮
繁体名称：电子工业用气体三氟化氮
英文名称：Gases for electronic industry—Nitrogen trifluoride

标准简介：
本标准规定了瓶装电子工业用气体---三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。