GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩

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资料介绍

标准编号：GB/T 16945-2009
简体名称：电子工业用气体氩
繁体名称：电子工业用气体氩
英文名称：Gas for electronic industry—Argon

标准简介：
本标准规定了氩的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。氩用于系统的吹扫、保护和增压,它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。