GB/T 23414-2009 微束分析 扫描电子显微术 术语

标 准 编 号：GB/T 23414-2009
简体中文标题：微束分析 扫描电子显微术 术语
繁体中文标题：微束分析 扫描电子显微术 术语
English name ：Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Vocabulary

标准简介：
本标准定义了扫描电子显微术(SEM)实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语,也包括已经在ISO23833中定义的术语。
本标准适用于所有有关SEM 实践的标准化文件。另外,本标准的某些术语定义,也适用于相关领域的文件〔例如:电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等〕。