GB/T 36370-2018 洁净室及相关受控环境 空气过滤器应用指南

　　ICS 13 . 040 . 35 C 70

　　中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准

　　GB/T 36370—2018

　　洁净室及相关受控环境

　　空气过滤器应用指南

　　Cleanroom andassociatedcontrolledenvironments—

　　Guidelinesofapplicationofairfilters

　　2018-06-07 发布 2018-10-01 实施

　　国家市场监督管理总局中国国家标准化管理委员会

　　发

　　布

　　GB/T 36370—2018

　　GB/T 36370—2018

　　前 言

　　本标准按照 GB/T 1 . 1—2009 给出的规则起草。

　　本标准由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)提出并归口 。

　　本标准起草单位：苏州华泰空气过滤器有限公司、南京天加环境科技有限公司、苏州市计量测试研究所、烟台宝源净化有限公司、爱美克空气过滤器(苏州)有限公司、常州祥明智能动力股份有限公司、中国电子工程设计院、苏州净化工程安装有限公司、苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司、德州艾荷过滤设备有限公司、浙江金海环境技术股份有限公司、天津市龙川净化工程有限公司、美埃(中国)环境净化有限公司、贺氏(苏州)特殊材料有限公司、苏州英德尔室内空气技术有限公司、苏州市恩威特环境技术有限公司、中电投工程研究检测评定中心、中国标准化协会、北京希达建设监理有限公司、北京世源希达工程技术公司、中国电子学会洁净技术分会、苏州科佳环境科技有限公司、邯郸远方过滤材料有限公司、中天道成(苏州)洁净技术有限公司、深圳新科特种装饰工程公司。

　　本标准主要起草人：蔡杰、娄宇、王尧、涂光备、任志伟、张利群、王小兵、于 自强、杨子强、何志军、徐小浩、蒋乃军、耿文韬、安志星、吴小泉、张敏、钱菁、叶伟强、石小雷、张士忠、张勇、张立海、翟传明、姜皓遐、吴益峰、陈中权、刘晖、李启东、苏钢民、殷晓冬。

　　GB/T 36370—2018

　　洁净室及相关受控环境

　　空气过滤器应用指南

　　1 范围

　　本标准给出了洁净室及相关受控环境的空气过滤器效率分级和各种过滤器的应用要素。

　　本标准适用于洁净室及相关受控环境中使用的空气过滤器。

　　2 规范性引用文件

　　下列文件对于本文件的应用是必不可少的。 凡是注 日期的引用文件，仅注 日期的版本适用于本文件 。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

　　GB/T 25915 . 3—2010 洁净室及相关受控环境

　　GB/T 25915 . 6—2010 洁净室及相关受控环境ISO 29463-1 : 2011 高效率空气过滤器和滤材

　　第 3 部分：检测方法

　　第 6 部分：词汇(ISO 14644-6:2007, IDT)

　　第 1 部分：分级、性能试验、标识(High-efficiency

　　filters and filter media for removing particles in air—Part 1 : Classification, performance testing and marking)

　　ISO 29463-2 : 2011 高效率空气过滤器和滤材 第 2 部分：气溶胶发生、测量装置、粒子计数统计

　　学方法 (High-efficiency filters and filter media for removing particles in air—Part 2 : Aerosol produc- tion, measuring equipment and particle-counting statistics)

　　3 术语和定义

　　GB/T 25915 . 6—2010 界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

　　3.1

　　空气过滤器 airfilter

　　用于清除气流中悬浮颗粒物和某些气相污染物的过滤器。

　　3.2

　　效率 efficiency

　　试验条件下，过滤器或过滤材料捕集粒子的计数率与上游粒子计数率的比值，或滤除质量浓度与上游质量浓度的比值，以%表示。

　　3.3

　　穿透率 penetration

　　试验条件下，过滤器下游粒子浓度与上游浓度的比值，以%表示。

　　3.4

　　最易穿透粒径 most-penetratingparticlesize;MPPS

　　对给定过滤器穿透率最高(过滤效率最低)的粒子粒径。

　　注 ：即最难过滤粒子的粒径。 理论上讲，大于或小于 MPPS粒子的过滤效率都高于 MPPS处的效率;实际应用中，过滤器的 MPPS是仪器测量的一个粒径范围，而不是某个唯一粒径。

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　　3.5

　　MPPS效率 minimum filterefficiency

　　试验条件下，过滤器效率曲线的最低点，即对应 MPPS处的效率值。

　　3.6

　　亚高效过滤器 sub-HEPA filter

　　Y-HEPA过滤器 Y-HEPA filter

　　EPA过滤器 EPA filter

　　试验风量下 MPPS效率低于 99 . 95%但不低于 85%的过滤器。

　　3.7

　　高效过滤器 high-efficiency-particulate-air

　　HEPA过滤器 HEPA filter

　　ISO 35 H 级 ~ISO 45 H 级，试验风量下 MPPS效率低于 99.999%但不低于 99.95%的过滤器。

　　3.8

　　超高效过滤器 ultrA.low-penetration-air

　　ULPA过滤器 ULPA filter

　　ISO 50 U级和更高级别过滤器，试验风量下 MPPS效率不低于 99 . 999%的过滤器。

　　3.9

　　钠焰法 sodium flame

　　检测过滤效率的一种方法。 在过滤器上游发生特定质量中径与特定粒径分布的氯化钠气溶胶、利用火焰光度计测量过滤器上下游含钠气溶胶火焰特征强度，以确定过滤效率。

　　注：又称“火焰光度计法”。

　　3 . 10

　　浊度计法 photometermethod

　　在过滤器上游发生特定质量中径与特定粒径分布的液态或固态气溶胶、利用光散射原理光度计测量过滤器上下游气溶胶质量浓度，以确定过滤效率的一种方法。

　　注：又称“光度计法”。常用浊度计法有：传统的 DOP法、油雾法等。

　　3 . 1 1

　　净化单元 fanfilterunit;FFU

　　将 HEPA或 ULPA过滤器、静压箱、风机、风速调整装置集成在一起的过滤装置。

　　注：又称“风机过滤单元”。

　　3 . 12

　　预过滤器 prefilter

　　为保护下一级过滤器并延长其使用寿命而设置的过滤器。

　　注：又称“前置过滤器”。

　　3 . 13

　　释气 organicoutgas

　　过滤器制造材料可能释放的气态化合物。

　　3 . 14

　　末端过滤器 terminalfilter

　　送风系统的最后一级空气过滤器。

　　3 . 15

　　吸附容量 capacity

　　在气相空气净化设备中的过滤介质所能容纳的指定吸附质的数量(质量或摩尔数)。

　　注：在解吸过程中称解吸容量。

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　　3 . 16

　　去除效率 removalefficiency

　　空气化学过滤器在规定的试验时间内，去除气相污染物的百分数(%)或其浓度分数。

　　3 . 17

　　压力降 differentialpressure

　　空气化学过滤器前后两端的压力差。

　　3 . 18

　　保持能力 retentivity

　　衡量吸附剂或化学过滤器抗解吸能力的参数，用剩余容量(残留分数)来表达。

　　3 . 19

　　聚四氟乙烯拉延膜滤材 epTFE media

　　由聚四氟乙烯薄膜和其他辅助材料复合形成的滤材。 其中，起过滤作用的材料为聚四氟乙烯拉延形成的纤维状多孔薄膜。

　　注：制作高效过滤器的聚四氟乙烯薄膜厚度约 10 μm~20μm,纤维直径仅有数十纳米，因此有时称“膜过滤”材料或“纳米过滤”材料。

　　3 . 20

　　驻极体滤材 electretemedia

　　能够长期贮存电荷的高分子过滤材料。

　　4 效率分级

　　空气过滤器效率分级参见附录 A。 对于高效率空气过滤器的过滤性能，本标准采用 ISO 29463-1 : 2011 规定的等级，参见 A. 1 。

　　5 普通过滤器

　　5 . 1 概述

　　5 . 1 . 1 普通过滤器分为粗效、中效、高中效、亚高效、高效和超高效。 在净化空调系统中粗效、中效、高中效作为预过滤器，保护其后的各种部件的功能和保护高效过滤器和超高效过滤器。

　　5 . 1 . 2 高效和超高效过滤器的功能和作用是保证生产工艺对环境所要求的洁净度等级，要将其设置在系统的末端。

　　5 . 2 末端高效率过滤器

　　5 . 2 . 1 过滤效率

　　通常，ISO 6 级以及更低级别的非单向流洁净室，末端过滤器的过滤效率不低于 ISO 35 H 级(对最易穿透粒径粒子的过滤效率不低于 99 . 95%) 。若用户与供货商协商同意，也可以使用钠焰法、气溶胶浊度计法或其他方法，其最低效率不低于 99 . 97%或其他约定值。

　　ISO 5 级洁净室的末端过滤器的过滤效率不低于 ISO 40 H 级(对最易穿透粒径粒子的过滤效率不低于 99 . 99%) 。若用户与供货商协商同意，也可以使用对 0 . 3 μm粒子效率不低于 99 . 99%的过滤器。

　　ISO 4 级以及更高级别洁净室，末端过滤器一般采用 ULPA 过滤器，其过滤效率不低于 ISO 50 U

　　级(MPPS处过滤效率不低于 99 . 999%) 。

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　　5 . 2 . 2 出厂检测

　　效率规格不低于 ISO 35 H 级的高效率过滤器，出厂前应经过逐台检测。

　　效率或穿透率的出厂检测方法由顾客与供货商协商确定。 附录 B 给出可能的检测方法。 若无特别约定，应采用 ISO 29463-2 : 2011 规定的粒子计数法。

　　注：顾客与供货商宜约定具体试验方法，是采用扫描法，还是采用总效率法，并约定试验中所用粒子测量装置、试验气溶胶、试验规程和验收限值。

　　5 . 2 . 3 安装后的检测

　　5 . 2 . 3 . 1 检测中要验证设施不存在旁路渗漏，过滤器无缺陷(滤材和密封点的小孔和损伤)，无渗漏(过滤器边框和密封垫的旁路渗漏，过滤器安装架的渗漏)，参见附录 C。 这项检测一般不判定系统的过滤效率。 通常，在过滤器上游发生足够浓度的气溶胶(参见附录 D) 。在过滤器下游及过滤器周边扫描，或在过滤器下游的风道中采样。

　　注：此项检测旨在确认高效过滤系统安装正确。

　　5 . 2 . 3 . 2 安装后过滤器，通常采用 GB/T 25915 . 3—2010 中 B. 6 . 2 和 B. 6 . 3 中的如下两种方法检测：

　　a) 就位过滤系统气溶胶浊度计扫描检漏;

　　b ) 就位过滤系统粒子计数器扫描检漏。

　　用户可采用这两种方法之一，并参照相应的规程和验收限值。

　　5 . 2 . 3 . 3 风道内和空气处理系统内高效率过滤器的检漏，可参照 GB/T 25915 . 3—2010 中 B. 6 . 4 中的方法、规程和验收限值，采用粒子计数器或气溶胶浊度计进行检测。

　　注：过滤器制造厂内的效率检测是在理想试验条件下进行的。 现场条件与试验条件与制造厂条件的差别，可能造成现场检验与实验室检验的结果不一致。 安装后的现场检测之前，建议顾客、供货商和检测方对现场检测方法及验收限值进行约定。

　　5 . 2 . 4 远离洁净室的末端过滤器

　　有些场合，由于场地等因素限制，洁净室末端过滤器设在空调系统内，而不是洁净室的送风口 。这种设计可以节省投资，但存在一些弊端。 除非必须，洁净室一般不采用这种设计。

　　5 . 2 . 5 末端高效过滤器的使用寿命

　　末端高效过滤器的使用寿命的长短主要取决于通风系统过滤段的设计。 系统中预过滤器效率的高低决定着末端过滤器的使用寿命。

　　5 . 2 . 6 其他

　　5 . 2 . 6 . 1 末端过滤器上的有机物和水分易微生物繁衍。 为减少微生物繁衍，末端高效过滤器的材料不应使用亲水材料，不宜使用易于滋生微生物的材料。 有隔板过滤器的隔板材料不应使用亲水、易燃、含营养物的纸质有机材料。

　　5 . 2 . 6 . 2 高效过滤器中的滤材一般是玻璃纤维滤材。 滤材中不应含有易退降的钠钾含量高的玻璃纤维。

　　5 . 2 . 6 . 3 在释气可能影响洁净环境的情况下，过滤器应由低释气的材料制造。

　　5 . 2 . 6 . 4 驻极体材料制造的过滤器，使用中可能因静电消失而效率降低。 洁净室末端过滤器不建议使用驻极体滤材。

　　5 . 2 . 6 . 5 过滤器的现场修补(参见附录 D) 。

　　5 . 2 . 6 . 6 订单要素(参见附录 D) 。

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　　5 . 2 . 6 . 7 聚四氟乙烯拉延膜(ePTFE)过滤器(参见附录 D) 。

　　5 . 3 预过滤器

　　5 . 3 . 1 功能与选用

　　5 . 3 . 1 . 1 为保护下一级过滤器或末端过滤器，应在送风系统设置预过滤器。 预过滤器的效率高低对洁净室的洁净度影响有限，但预过滤器的过滤效率决定着受保护过滤器的使用寿命。 预过滤器应有足够大的有效过滤面积，以保证足够长的使用寿命。

　　5 . 3 . 1 . 2 末端过滤器之前的预过滤器，过滤效率一般不低于 90% 。

　　5 . 3 . 1 . 3 设计中，末端过滤器的预过滤器选用 ISO 35 H 效率规格的 HEPA过滤器，其风道和密封结构应可靠。 过滤器安装后，可以在 HEPA预过滤器下游进行扫描检漏。

　　5 . 3 . 2 更换

　　5 . 3 . 2 . 1 预过滤段应有简单实用阻力监测装置，并能较准确直观给出更换预过滤器信息。 根据供货商或空调设计师的建议更换预过滤器。

　　5 . 3 . 2 . 2 有些场合，用户要求更换预过滤器时，空调系统照常送风，此时，预过滤器的更换是在空调系统运行状态下进行的，其设计和选用时，应考虑方便维护和更换。

　　5 . 4 高效过滤器的选用示例参见附录 E。

　　6 化学过滤器

　　6 . 1 性能的关键参数

　　空气化学过滤器性能的关键参数如下：

　　a) 压力降，△p;

　　b ) 吸附容量，ms;

　　c) 去除效率，E ;

　　d) 保持能力，mr。

　　6 . 2 影响净化效率和使用寿命的主要因素

　　影响过滤器净化效率和使用寿命的主要因素如下：

　　a) 化学过滤器设计、加工的优劣，使用过滤介质(如活性炭、改性活性炭等)的有效性、装填密度等。

　　b ) 确定污染气体品种和浓度后，合理的选用充填介质的配方及配比，会取得较好的净化效果。

　　c) 污染源的随机和不确定性，会严重影响吸附效率。

　　d) 直接穿过过滤器的风量，风量增大则效率降低，寿命缩短。

　　e) 相对湿度在一定程度上影响过滤器的效率，一般在相对湿度 70%以下影响不明显，但当相对湿度超过 70%~80%吸附效率快速下降。

　　f) 气体浓度增加，使用寿命迅速降低。

　　g) 在其他吸附参数不变的情况下，复核污染气体效率达不到单一气体的高度，化学性质相差较大时尤为严重。

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　　6 . 3 监测与更换

　　使用现场的出风口应监测，如遇出风口气流中污染物浓度超出预定值则需立即更换。

　　注 1 ：过滤器厂商所生产的空气化学过滤器出厂有使用寿命指标，但这一指标是在标准规定的试验条件下测定的结果，与实际使用条件有差别，因此如果使用寿命是一年，只能作为参考。

　　注 2：废旧过滤器和失效的活性炭，性质安全、无害，但保管中宜避免火种，注意消防安全。

　　6 . 4 设置保护过滤器

　　应考虑化学过滤器本身是产尘的，在其上方和下方均应设置效率不低于 F7 的普通过滤器。

　　6 . 5 化学过滤器测试

　　化学过滤器测试参见附录 F。

　　7 常用空气过滤器标准

　　常用空气过滤器标准目录参见附录 G。

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　　附 录 A

　　(资料性附录)

　　空气过滤器效率分级及标识

　　A.1 国际标准过滤器分组与分级

　　ISO 29463-1 : 2011 规定亚高效、高效和超高效过滤器采用计数法测量，并按 MPPS 效率对过滤器

　　进行分级，见表 A. 1 。 ISO 符号中的第一个阿拉伯数字代表 n 个 9,第二个数字代表 5 或 0 。 例如， ISO 45 H代表计数法 MPPS效率不小于 99.995%。

　　对于粗中效过滤器，国际标准中未提分级。

　　表 A.1 过滤器分组与分级

　　A.2 中国制冷空调工业协会(CRAA)推荐分级

　　中国制冷空调工业协会(CRAA430-2008)分级见表 A. 2 。

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　　表 A.2 中国制冷空调工业协会过滤器分级

　　高效(H 组)和超高效(U组)过滤器应经过逐台检测。 若顾客与供货商协商同意，H13 过滤器可使用钠焰法检测，其效率不低于 99 . 97%。 U 组过滤器只能使用计数法检测。 亚高效(Y 组)过滤器无需逐台检测。

　　A.3 GB/T 13554—2008 高效过滤器分类

　　GB/T 13554—2008 对高效过滤器的分类见表 A. 3 。

　　表 A.3 GB/T 13554—2008 过滤器分级

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　　A.4 GB/T 14295—2008 -般通风过滤器分级

　　GB/T 14295—2008 将通风过滤器分为粗效、中效、高中效，具体分级见表 A. 4 。

　　表 A.4 GB/T 14295—2008 -般通风过滤器分级

　　A.5 欧洲高效率过滤器分级

　　EN 1822-1 : 2009 对高效率过滤器的分级见表 A. 5 。

　　表 A.5 欧洲 EPA、HEPA、ULPA过滤器的分级

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　　A.6 欧洲一般通风过滤器分级

　　EN 779 : 2012 规定的分级见表 A. 6 。

　　EN 779 : 2012 中规定，F级过滤器的效率分级中要考虑静电消除后的效率值，即，F7 级过滤器滤材消除静电后的效率不得低于 35% , F8 不得低于 55% , F9 不得低于 70% 。

　　表 A.6 空气过滤器分级

　　A.7 美国环境科学技术学会分级

　　美国环境科学技术学会将 IEST 高效过滤器和超高效过滤器按性能分成 A~ K 共 11 个级别，见表 A. 7 。

　　IEST分级的顺序是历史形成的，字母顺序并不代表性能高低。 每修订一次标准，新增性能级别顺

　　着拉丁字母增加。例如，1993 年版 IEST-RP-CC001.3 的分级为 A~F, 2005 年版 IEST-RP-CC001.4 扩充到 A~K, 2009 年版 IEST-RP-CC001.5 沿用 1.4 版规定。

　　B级、A级、E级过滤器的效率相同，A 级和 E级增加了 100%与 20%额定风量比较检漏试验，E 级用于过滤毒物、核污染物等危险性粉尘，应符合美国军用与原子能标准 ASME-AG-1 的相关要求。 H 级与 I级，差别也仅在于是否进行双风量试验。

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　　表 A.7 IEST过滤器性能级别及试验方法

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　　A.8 美国冷暖空调工程师协会(ASHRAE)一般通风过滤器规格

　　美国冷暖空调工程师协会以最低效率报告符为过滤器分级，见表 A. 8 。其中终阻力应不低于 2 倍初阻力或按表 A. 8 取值，两者中取最大值。

　　表 A.8 最低效率报告符参数

　　A.9 日本过滤器分级

　　JIS B 9927 : 1999 对洁净室用高效过滤器的分级见表 A. 9 。

　　GB/T 36370—2018

　　表 A.9 洁净室用高效过滤器的分级(JISB9927 : 1999)

　　涉及微生物防护时，需要增加粒子计数器扫描检漏试验(JIS K 3801 : 2000) 。 对于核级高效过滤器，需要进行计数法总效率试验，对 0.15 μm粒子过滤效率 ≥99.97%。(JIS Z 4812:1995)。

　　A.10 常见效率规格比较

　　图 A. 1 是一个常见比较图，不是专业依据，没有经过严格的试验对比，仅作为参考。

　　图 A.1 过滤器效率常见规格比较

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　　附 录 B

　　(资料性附录)

　　高效率过滤器工厂试验方法

　　B.1 简介

　　实践中，各个国家实行过数种试验方法，包括以测量质量中径 0 . 3 μm 油雾气溶胶样品浊度计法(亦称 DOP法)，测量透平油油烟浊度的油雾法，测量盐雾气溶胶火焰特征光的火焰光度法(亦称“钠焰法”)，测量荧光气溶胶浓度的荧光法等。

　　随着仪器的发展和用户要求的提高，上述各种方法逐渐淡出，代之以使用激光粒子计数器和粒径分析仪器的计数法。 MPPS也不再是 0 . 3 μm,而是介于 0 . 1 μm~0 . 25 μm 之间的某处粒径。

　　国际标准化组织颁布了计数法试验标准 ISO 29463-2 : 2011 系列标准。 计数法已经成为主流方法。本附录给出各种方法的简单介绍。

　　B.2 钠焰法 sodium Flame

　　盐水在压缩空气的搅动下飞溅，经干燥形成微小盐雾并进入试验风道。 在过滤器前后分别采样，含盐雾气样使氢气火焰变色、亮度增加。 以火焰亮度来判断空气的盐雾浓度，并以此确定过滤器对试验盐雾的过滤效率。

　　其他金属原子遇火焰时也会发生各种波长的特征光。 从测量原理上讲，钠焰法亦称“火焰光计法”。 GB/T 6165—2008 中规定钠焰法是高效过滤器标准试验方法之一 。

　　相关标准：GB/T 6165—2008 ; BS 3928 : 1969 。

　　B.3 油雾法 oilMist

　　油性物质加热形成烟雾并进入试验风道。 在过滤器前后分别采样，使用气溶胶浊度计测量油雾浓度，并以此确定过滤器对试验油烟的过滤效率。

　　相关标准：GB/T 6165—2008 。

　　B.4 计数法全效率

　　利用激光粒子计数器，人们不仅可以测出粉尘浓度，也可以测出每个粉尘的粒径，于是就有可能方便地测量过滤器对特定粒径粒子的过滤效率。 通常，计数法要求测量高效率过滤器对最难过滤粒径(最易穿透粒径，MPPS)粒子的效率。

　　对于普通高效率过滤器，MPPS 在 0 . 15 μm~0 . 25 μm 之间。 对于 ePTFE 过滤器，因主要滤材很薄，小粒子的扩散运动不明显，因此 MPPS小于 0 . 1 μm。 此外，若滤材带静电，滤材对微米和亚微米粒子的影响明显，因此 MPPS也会小于 0 . 1 μm。

　　计数法全效率试验装置示意见图 B. 1 。

　　以前的各种方法需要高浓度粉尘，过滤器在检测过程中就已经被污染了。 而计数法测量所需的粉尘浓度只是传统方法的百分之一至万分之一，其污染程度与其他传统方法相比几乎可忽略不计。 若无特别指定，试验一般使用对多数场所无害的油性液体气溶胶，也可以改用用户认为安全的其他气溶胶，

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　　例如，标准聚苯乙烯微球(Latex) 。

　　MPPS是个概念。 实践中，一种方法是测量包含 MPPS 粒径的规定粒径段的效率，另一种方法是测量若干粒径段的效率值，然后作图找出 MPPS点和对应的效率值。

　　相关标准：ISO 29463-5:2011;GB/T 6165—2008 ; CRAA431 . 5 : 2008 ; EN 1822-5 : 2009 ; IEST-RP- CC-007 . 2 : 2009 ; JIS B9927 。

　　说明：

　　1、2 — 预过滤器;

　　3 — 风机;

　　4 — 加热器;

　　5 — 高效过滤器;

　　6 — 气溶胶射入口;

　　7 — 温度测量;

　　8 — 湿度测量;

　　9 — 采样，粒径分析;

　　10 — 上游采样;

　　11 — 静压环，差压测量;

　　12 — 差压表;

　　13 — 被试过滤器;

　　14 — 流量测量;

　　15 — 管内压力测量;

　　16 — 流量测量;

　　17 — 下游采样。

　　图 B.1 MPPS计数法全效率试验装置实例

　　B.5 计数扫描法

　　用离散粒子计数器对过滤器的整个出风面进行扫描检验。 这种方法不仅能检查过滤器每一局部的效率。 各局部效率的平均值就是总效率，因此这种方法可以替代全效率试验。

　　计数扫描法用于测量 MPPS效率 99 . 95%及更高效率的过滤器。

　　主要测量仪器为大流量激光粒子计数器或凝聚核计数器(CNC) 。

　　用计数器扫描一台过滤器需要较长时间。 为节省时间，可将若干组大流量采样头集成或使用多台计数器。

　　与其他方法相比，计数法试验发尘量最小，因此对过滤器的污染也最小。 但由此也带来一个缺点，要获得足够稳定的计数值需要很长测量时间。 过滤器扫描中是否检测效率，如何检测，买卖双方协商确定。

　　若使用固体粒子作为试验粉尘，例如 Latex微球。 固体粉尘往往带静电，实测效率可能高于液体采用气溶胶所测效率。 此时，客户和供货商在考虑额外试验费用的同时，还要就试验方法和验收限制进行约定。

　　相关标准：ISO 29463-4 : 2011 ; CRAA 431 . 4-2008 ; EN 1822-4 : 2009 ; IEST-RP-CC-034 . 3 : 2009 。

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　　B.6 烟缕观测法

　　暗室中，在过滤器上游发烟，用一束强光照射过滤器出风面，当过滤器有漏点时，可以明显地看到漏点处的一缕青烟。 这种方法可以准确地对漏点定位，以便进行可能的修补。 烟缕观测检漏方法不那么讲究，但很实用。

　　对于某些批量小，形状特殊的过滤器，可能现有试验台难以进行严格的效率试验。 若用户认可，可以用烟缕检漏来替代效率试验。

　　发烟检验不能保证过滤器效率合格，是否用烟缕检漏来替代效率试验，条件是滤纸的效率数据必须靠得住，且得到用户的认可(订货文件中允许)。

　　可以采用各种客户认可的油雾，例如，水雾、舞台造雾常用的乙二醇烟雾。

　　烟缕观测法仅针对 ISO 35 H 级过滤器，且只用于过滤器结构限制难以进行扫描法试验的过滤器，例如，W 形高效过滤器。

　　相关标准：ISO 29463-5 : 2011 ; CRAA 431 . 5-2008 ; EN 1822 . 5 : 2009 。

　　B.7 0.3 μm~0.5 μm 扫描

　　烟缕观测法只是定性方法，这种方法的结果因操作人员而不同。 对于 W 形高效过滤器等因结构而无法进行正 常 扫 描 试 验 的 过 滤 器，可 以 采 用 比 烟 缕 观 测 严 格 一 些，但 比 正 常 扫 描 法 粗 糙 得 多 的

　　0.3 μm~0.5 μm 扫描法。

　　试验中，使用比较便宜的光学粒子计数器，测量 0 . 3 μm~0 . 5 μm粒径段的效率。 这种方法只针对ISO 35 H 级过滤器(MPPS 总效率>99. 95%, 局部效率>99. 75%)。0. 3 μm~0. 5 μm 粒径段的效率应 >99 . 996% , 即，至少比 MPPS效率高出一个 9,否则过滤器判漏。

　　相关标准：ISO 29463-5 : 2011 ; EN 1822 . 5 : 2009 。

　　B.8 荧光法 uranine

　　试验尘源为喷雾器产生的荧光素钠粉尘。 试验中，首先在过滤器前后采样，然后用蒸馏水溶解采样滤纸收集的荧光素钠粒子，再测量含荧光素钠水溶液在特定条件下的荧光亮度，这一亮度间接地反映出粉尘的重量。 以过滤器前后样品溶液的荧光亮度差别来判断过滤器效率。

　　根据法国标准，发尘装置产生的粉尘计数中径为 0 . 08 μm,质量中径为 0 . 15 μm。

　　相关标准：NF X44-011 : 1972 。

　　B.9 气溶胶浊度计法(DOP法)

　　试验尘源为 0 . 3 μm单分散 DOP(一种塑料增塑剂)液滴。 测量含 DOP 空气的散射光强度，测量仪器为浊度计(photometer,又称“浊度计”)。 以气样的散射光强度差别来判定过滤器对 DOP 烟雾的过滤效率。

　　把 DOP液体加热成蒸汽，蒸汽在特定条件下冷凝成 0 . 3 μm左右的微小液滴，雾状 DOP进入风道。测量过滤器前后气样的散射光，并由此判断过滤器对 0 . 3 μm 粉尘的过滤效率。

　　若以测量原理归类，DOP法也称“浊度计”法。

　　测量高效过滤器的 DOP法也称“热 DOP 法 ”。与此对应的“冷 DOP 法”是用 Laskin 喷管(用压缩空气在液体中鼓气泡，飞溅产生雾态人工尘)产生的多分散 DOP 粉尘。 对过滤器进行扫描测试时，有

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　　时采用冷 DOP 法发尘。

　　改用性能类似与 DOP类似的其他油性替代物后，如 DEHS, PAO(聚 α 烯)，涉及浊度计试验时，试验方法仍习惯地称“DOP 法 ”。

　　相关标准：MIL-STD-282(1952) 。

　　B.10 浊度计扫描法

　　尘源一般为多分散液滴，如 Laskin 喷管产生的 DOS 油雾。 使用浊度计对过滤器的全平面进行扫描检漏。 这种扫描方法能快速、准确地找到过滤器的漏点。 由于尘源为多分散，而浊度计不能确定粉尘粒径，所以这种扫描法给出的“过滤效率”没有多少实际意义。

　　浊度计扫描检漏对生产过程的质量控制很有效，所用的测试设备又相对简单，因此一些过滤器制造商使用这种方法。

　　相关标准：IEST-RP-CC-034 . 3 : 2009 。

　　B.1 1 双风量试验

　　将滤材中的微孔设想为无数毛细管。 高风速(正常滤速)时毛细管内的气流呈紊流状态，部分大孔对过滤效率的影响可能不那么明显。 低风速时呈层流状态，大孔的影响明显。

　　使用标准试验风道，先测量 100%额定风量下的效率，然后测量 20%额定风量下的效率。 若降低风量后过滤器的效率降低，则肯定有漏点。 变风量检漏仅判断过滤器是否存在漏点，但不能对漏点定位。

　　双风量检漏是一种古老试验方法。 现在扫描法不仅能方便地查找且能定位漏点。

　　相关标准：GB/T 14295—2008 ; IEST-RP-CC-001 . 5 : 2009 。

　　B.12 试验方法的选择

　　过滤器制造过程中使用什么试验方法，顾客与供货商协议。

　　选择试验方法时，顾客与供货商应考虑的是：

　　— 试验方法是否满足最终用户对产品性能可靠性的要求;

　　— 试验气溶胶对过滤器的可能污染不会影响最终用户的使用环境;

　　— 试验对产品的附加成本;

　　— 具体行业对试验方法的规定;

　　— 过滤器制造商具有的试验手段。

　　一般说来，为了减少争议，过滤器订货单上应注明协议确定的试验方法、试验气溶胶，以及判定过滤器是否合格的限值。 除非顾客与供货商另有约定，每只 ISO 35 H 及更高效率规格的过滤器产品上都应标明按协议确定方法的实测值。

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　　附 录 C

　　(资料性附录)

　　过滤器现场检漏说明

　　有些行业和顾客要求，安装后的高效率过滤器必须检漏，即扫描检查。 有些行业和顾客要求，使用中的过滤器也要进行定期检漏。

　　实践中，检漏方法主要是扫描，探头沿过滤器出风面移动，以探查过滤器和边框及支撑排架之间的渗漏。

　　可用于现场检漏的探测仪器包括：光学粒子计数器、气溶胶浊度计、凝聚核计数器。

　　为了探明渗漏，过滤器上游需人工注入高浓度气溶胶。 常用气溶胶包括：DEHS、PAO、液体石蜡，若用户认为液体气溶胶污染过滤器，也可以使用聚苯乙烯微球(PLS) 。

　　扫描过程中，探测仪器读数突变，即表明可疑渗漏。 发现疑似渗漏时，将探头固定在可疑点，以便确定是否渗漏。

　　多数渗漏容易探查。 当渗漏接近临界值时，就需要判断其是否超标。 在临界值附近，探头形状、探头行走速度、采样间隔时间等影响到准确判断的概率。 有时，本应判漏的漏点被判通过，有时，本应判通过的位置被判超标渗漏。

　　使用粒子计数器和气溶胶浊度计进行现场检漏时，IEST-RP-CC034 . 3 : 2009 对临界附近的判漏统计学问题有详细规定。

　　安装后过滤器的检测合同和用户 自行检测的工作中，宜规定判漏限。

　　过滤器并非 100%地阻挡颗粒物，有些颗粒物穿过，属于正常渗透，例如，效率 99 . 99%的过滤器，意味着总体上不超过 0 . 01%的颗粒物渗漏属于正常。

　　过滤器的效率是个平均数，检漏检测的局部效率可能低于平均效率。 现场检漏一般不如工厂检漏严格，所用气溶胶和粒子检测设备不同于工厂检测。 鉴于此，用户、检测方和供货方应在检测前就检测方法和验收限制进行约定。

　　使用浊度计法检漏时，也可能出现制造厂试验合格，而现场检漏不合格的情况。 原因可能如下：

　　a) 制造厂检测时使用的气溶胶的平均粒径可能远离 MPPS, 而现场检漏所用气溶胶更接近MPPS,或制造厂试验中使用了明显带静电的气溶胶(例如钠焰法中的气溶胶)。 遇到这种情况，从某种意义上讲，现场检漏比制造厂试验可能更严格，导致制造厂试验合格的过滤器不能通过现场检漏。

　　b ) 现场检漏检查的是局部情况，而制造厂可能检查的是总体情况。

　　实践中，在得知用户需要现场检漏的情况下，为了减少争议，制造商可能提供比合同要求的效率高一个规格的过滤器。 或者，制造商与顾客在采购协议中明确写明现场检漏验收条件。

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　　附 录 D

　　(资料性附录)其他说明

　　D.1 驻极体过滤材料

　　某些高分子过滤材料可以比较永久性地带电荷，其电荷贮存在高分子晶体界面之间，所谓“体电荷 ”。滤材带电荷后，阻力并不增加，但过滤效率明显提高。

　　驻极体过滤材料的使用有利于节能，但可能带来以下风险：

　　a) 使用中，即使滤材上的电荷不消失，驻极体滤材过滤器的性能并不一定像理论和实验室试验那样随积尘量的增加而增加;

　　b ) 某些挥发性溶剂可能使滤材的电荷消失，致使过滤效率明显降低;

　　c) 驻极体滤材令穿过的颗粒物极化，颗粒物带电荷后，更容易被敏感表面吸附。

　　影响驻极体滤材性能的溶剂包括：丙酮、甲醛、异丙醇、溶剂汽油等。

　　为了降低风险，洁净室及相关受控环境中的末端过滤器不能使用驻极体材料。

　　工业实践中，人们常用异丙醇熏蒸或浸泡滤材或过滤器，用消除静电后的效率来对过滤器的效率进行分级。

　　尽管有些驻极体过滤器在带静电的情况下可以达到对 0 . 3 μm 粒子的过滤效率 99 . 97%或更高，但消除静电后的效率远远低于 HEPA过滤器的要求。 因此，现在的实践中，末级过滤器一般不使用驻极体滤材。

　　D.2 聚四氟乙烯拉延膜(epTFE)过滤器

　　近年来，ePTFE滤材在洁净室及相关受控环境中得到应用。

　　ePTFE 的纤维细至数十纳米，比传统玻纤滤材细了仅一个数量级。 于是，在同样效率情况下，过滤器的阻力比玻纤明显降低。 ePTFE很薄，过滤机理中，粒子的扩散效果比较弱。 因此，过滤器的最易穿透粒径 MPPS 比普通玻纤过滤器小。

　　除了效率和阻力外，ePTFE过滤器的其他性能取决于支撑 ePTFE 的辅助材料，例如，机械强度、有机释气、燃烧性。

　　ePTFE滤材的 MPPS 小于激光粒子计数器的测量范围，若顾客与供货商协商同意，可以采用ISO 29463-5:2011中附录 B介绍的方法来确定 MPPS过滤效率：

　　方法 1,使用静电分析仪检测滤材 MPPS处的过滤效率，然后按滤材试验结果标注 ePTFE 过滤器的效率。

　　方法 2,使用静电分析仪检测滤材 MPPS 处的过滤效率，然后检测 0 . 14 μm(对应的 0 . 1 μm~ 0 . 2 μm粒径通道上下限的几何平均值)处的效率，计算得出这两个效率之比。 在过滤器制造厂，使用激光粒子计数器对过滤器进行常规检测，用 0 . 1 μm~0 . 2 μm 粒径段的实测值与上述比值相乘，用那个乘积效率来标注过滤器效率并进行分级。

　　经验表明，ePTFE 的 MPPS穿透率比 0 . 14 μm处的穿透率高 4 倍 ~8 倍 。 或者说，ePTFE 过滤器的 MPPS效率比 0 . 14 μm处实测效率低半个 9 或一个 9 。若供货商只提供了 0 . 14 μm 或 0 . 3 μm 处的效率，为了减少使用中的风险，用户可将制造商提供的数据中删去一个 9 。例如，供货商只提供了使用粒子计数器的实测效率 99 . 999%,用户或可将其视为 MPPS效率 99 . 99%的过滤器。

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　　相关标准：ISO 29463-5 : 2011 , EN 1822 . 5 : 2009 。

　　D.3 过滤器的现场修补

　　现场安装前和安装后，若发现滤材缺陷或破损，可以按客户与供货商协议商定的方法修补。

　　修补应由受过专门训练的人员进行，修补后的过滤器应经过扫描检漏确认修补成功。

　　一般情况下，不建议在安装现场修补过滤器。

　　建议用户与安装方的协议中规定以下内容：过滤器是否修补，允许修补的项 目和范围，修补的操作人员，修补后的检测方法。

　　D.4 订货单

　　过滤器订货单宜包括下述内容：

　　a) 数量。

　　b ) 货物名称(如：HEPA过滤器)。

　　c) 适用标准。

　　d) 过滤器效率级别，(例如，ISO 级别)。

　　e) 尺寸。

　　f) 额定风量。

　　g) 额定风量下的阻力。

　　h) 制造材料，包括边框、滤材、隔板。

　　i ) 对密封垫的要求(如：无密封垫、规定了上游或下游的单面密封、双面密封)。

　　j) 滤纸的折叠方向或隔板方向。

　　k) 特殊要求(如：滤材不得修补)。

　　此外，若用户特别关注试验方法，或制造商不具备符合 ISO 29463-2 : 2011 规定的试验手段，订货单中可能还需要包括：

　　l ) 试验方法(并非计数法的其他选用标准)。

　　m ) 试验气溶胶物质。

　　典型订单表述如下：

　　“HEPA过滤器，25 只，ISO 35 H(MPPS处过滤效率 ≥99.95%), 试验方法 ISO 29463-4:2011(扫描法)，1 220 mm×610 mm×70 mm,额定风量 700 m3 /min,玻璃纤维滤材，折纸方向平行于边框的短

　　边，铝合金边框，无接头发泡聚氨酯密封垫，单面密封(注意指明进风面还是出风面)，滤材修补面不超过

　　13 cm2 。”

　　特殊需求，例如，特殊的过滤器更换要求，建议顾客在订单中附一张过滤器图纸，并配有特殊要求说明，如替代的试验方法、构造细节、过滤器性能(如：耐高温)。

　　顾客应在采购订单中单列一项声明：

　　“HEPA过滤器应按 ISO 29463-4 : 2011 规定的方法进行扫描检漏试验。 供货商应向顾客提供证书，证明采用了规定的试验方法，过滤器产品符合采购订单的要求。 每只过滤器上都应有标签，标明每只过滤器的具体试验结果和 ISO 分级。”

　　如若可能，应在采购订单上注明过滤器的最终用途。 这类信息有助于制造商生产满足用户需要的过滤器。

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　　D.5 高效率过滤器试验气溶胶

　　原则上讲，任何液体，光学性能(散射系数)类似计数器或光度计标定所用气溶胶，蒸气分压力足够低(不会很 快 蒸 发)，都 可 以 作 为 试 验 气 溶 胶。 根 据 实 践，ISO 推 荐 的 气 溶 胶 包 括：葵 二 酸 二 辛 酯

　　(DEHS)、聚 α 烯 (PAO) 和液体石蜡(Paraffin oil)。

　　曾广泛使用的邻苯二甲酸二辛酯(DOP),因其中含可能致癌的苯环，已经淘汰不再使用。 因此许多实验室和制造商在过滤器试验中改用性能类似但不含苯环的油性替代物，如 DEHS, PAO(聚 α 烯)。但在原使用 DOP 的场合，改用 PAO后，仍习惯地称“DOP 法 ”。

　　试验时沉积在过滤器上的挥发性的液体气溶胶可能危害微电子、航空航天等领域的洁净室环境。因此，那些领域可能要求试验中使用聚苯乙烯微球(PLS)等固体气溶胶。

　　含金属元素的粒子可能对微电子行业造成危害，因此，微电子行业的客户一般不使用钠焰法检测过滤器。

　　传统油雾法将透平油加热碳化形成烟雾。 这种方法发尘量太大，实验期间已经对过滤器造成可见污染和残留异味。 应当说明，传统油雾法的问题出在浊度计的灵敏度和气溶胶发生方式上，并非透平油本身有什么问题。

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　　附 录 E

　　(资料性附录)

　　高效率过滤器示例

　　本附录旨在协助用户，根据用途正确地选购 HEPA 和 ULPA过滤器，正确地选择 HEPA 和 ULPA过滤器的现场验收试验方法。 各种应用示例见表 E. 1~表 E. 4 。

　　注 1 ：以下表格中列举的文件并不全面。 对于所列设备和应用，其他并未提到的工业标准和推荐规范可能直接关系到运行和验收标准。 用户负责确定各种文件的适用性。

　　注 2：本附录信息源自美国 IEST标准。 我国的实践与美国可能不相同，因此本附录内容不宜照搬。 为方便用户，效率规格改用 ISO 分级。

　　表 E.1 制药、生物技术、医疗器械、卫生领域中的应用

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　　表 E.1(续)

　　表 E.2 微电子行业的应用

　　表 E.3 空间技术的应用

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　　表 E.4 油漆车间的应用

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　　附 录 F

　　(资料性附录)

　　化学空气过滤器的性能测试

　　F.1 概述

　　化学过滤器是属于气相空气净化装置(GPACD, gas phase air cleaner device)范畴。

　　本附录参照 ISO 10121-2:2013(E)通风系统中气相空气净化介质和装置性能评价的试验方法 第2 部分：气相空气净化装置，该试验方法通过国内化学过滤器生产厂商的实践验证;同时吸纳了实践验证过程中的经验。

　　F.2 符号与术语

　　F.2 . 1 符号

　　符号见表 F. 1 。

　　表 F.1 符号

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　　F.2 . 2 术语

　　F.2 . 2 . 1

　　气相空气净化装置(GPACD)gasphaseaircleanerdevice

　　一个固定尺寸的组装设备(通常是箱形或组装成箱形，箱体尺寸在 300 mm× 300 mm× 300 mm~ 610 mm×610 mm×610 mm 之间)，能去除特定的气体和蒸汽等气相污染物(注：在本标准中即化学过滤器)，化学过滤器属于气相空气净化装置的一种。

　　F.2 . 2 . 2

　　吸附质 adsorbate

　　任何气体和蒸汽相的分子化合物，并被保留在吸附剂介质材料中。

　　F.2 . 2 . 3

　　吸附剂 adsorbent

　　通过物理或化学的过程能在其表面收集吸附质的物质。

　　F.2 . 2 . 4

　　面风速 facevelocity

　　用空气流量除以化学过滤器的横截面面积。

　　F.2 . 2 . 5

　　初始效率 initialefficiency

　　EI

　　密封未暴露过的空气化学过滤器或气相空气净化装置的测试效率。 这一数据应在试验开始后立即记录，可以获得稳定的数据。

　　F.2 . 2 . 6

　　滞留时间 residencetime

　　tR

　　在吸附介质体积的范围内(颗粒物层厚、无纺布层厚)，与污染物增值相关的时间，在本标准中这 一数值可以忽略，由于实际上吸附介质的层厚与大风量相比是很小的。 tR=V(吸附层的体积)/Q(气流的体积流速)。

　　F.2 . 2 . 7

　　上升时间 risetime

　　tRn

　　特定的试验中(n)试验确定的气体和气体流量，空管道情况下，从上游开始注入污染物(t0)然后在下游取样口测得浓度达到试验指定浓度的 95%(tVO) 的时间差，上升时间 tRn =tVO -t0 。

　　F.2 . 2 . 8

　　衰减时间 decaytime

　　tDn

　　试验系统未放置化学过滤器，上游的污染物注入停止后，气相污染物监测仪器在下游取样点，所显示的试验用气体污染物浓度从大于 95%(tVC) 降低至小于 5%(tEND) 的时间差(tDn=tEND-tVC) 。试验条件：一次具体的试验(n)，一定的试验气体和试验气体流量。

　　F.3 化学过滤器性能试验台架的规范部段

　　本附录对试验台架的整体没有限定，可根据实际情况作具体安排，可以设计成各种形式，但图 F. 1所指定的规范部段等技术要求应严格按标准执行。

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　　注：在系统指定的前两个位置，应记录的参数是浓度 C，压力 P、温度 T 和相对湿度;在系统指定的第三个位置记录风量。 注意 ΔP 数值受试验管道和连接板的影响，应采用最小流体阻力的管道，可能的偏差应在报告中讨论。

　　图 F.1 试验台架的规范部段，标明管道、测定参数和取样点的技术要求

　　F.4 指定测试数据，取样精确度和规范参数

　　规定的各个参数应严格执行，否则其测试数据严重扭曲，不能作为化学过滤器评价或选用的依据。表 F. 2 给出了具体要求，上游浓度的测试，应进行稳定性验证。

　　表 F.2 测试要求的规范参数、测定频率和精确度

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　　F.5 在用户和供应商之间可供选择的试验参数

　　除了按规范的设定执行外，额定风量，试验气体的种类和浓度以及测试持续的时间，这些参数将取决于设备的规格和实际用途，所以进行试验时可在顾客和供应商之间进行商定(包括特定的规格和指定用途的设备)。

　　F.6 试验程序

　　F.6 . 1 概述

　　一个完整的测试包括连续 F. 6 . 2~F. 6 . 5 四个部分，完成 4 个关键参数的测定。

　　F.6 . 2 空气化学过滤器压力降测定

　　F.6 . 2 . 1 测定条件与内容

　　进行空气化学过滤器性能测试之前，首先通入洁净空气，在规范的风量下使整个装置的温度和相对湿度达到稳定。 在此稳定的风量下，测定压力降并记录。 此外，还需要测定阻力随风量的变化关系，测

　　定 50%、75%、100%和 125%额定风量的阻力。

　　F.6 . 2 . 2 试验步骤

　　试验步骤如下：

　　a) 按要求调节试验系统的温度、相对湿度，校准分析仪器设备。

　　b ) 在装入空气化学过滤器之前，通入洁净空气并记录上游浓度。

　　c) 把空气化学过滤器放入试验台架。 记录每一个风量下的阻力。

　　d) 恢复流量到设定的 100% 。

　　e) 测定 T 和 RH 每分钟记录一次。

　　F.6 . 2 . 3 报告和图表

　　作阻力与风量的关系曲线图，见图 F. 3 。

　　F.6 . 3 初始去除效率

　　F.6 . 3 . 1 气体、浓度及过滤器的相关要素

　　在初始去除效率的试验中，测定初始效率应采用低浓度气体，采用表 F. 3 和表 F. 4 给出的气体浓度 。如果在重复测定去除效率时，效率明显出现下降趋势，应更换一个新的空气化学过滤器样品并采用较低浓度的 cU 重复进行该项试验。 允许的最大效率衰减见表 F. 3 和表 F. 4 。

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　　表 F.3 测定初始效率时使用的试验气体和浓度

　　表 F.4 吸附容量测定时测试气体和浓度

　　F.6 . 3 . 2 试验步骤

　　试验步骤如下：

　　a) 检测 TU、TD、RH U、RHD 、ΔP 和Q，具体见表 F. 2 。

　　b ) 通入试验气体待上游浓度达到 cU 时试验开始，时间记为 t0 。

　　注：从通入试验气体开始至 cU这段时间为 tRE 。

　　c) 切换到下游，测量下游浓度 cD 至浓度稳定。

　　d) 切换到上游，测量上游浓度 cU 直到浓度足够稳定。 注意放弃 tRE之前的数据。

　　e) 重复 c) ~d)项，两到更多个循环，最后切换到下游测试，总共产生 3 组 cU 和 4 组 cD 数据，记录结束时间 tEND 。

　　f) 关闭试验气体。

　　F.6 . 3 . 3 计算 EI

　　在试验报告中注明选择试验气体的种类，气体浓度，采用的风量等参数。 删除在 c) ~e) 中产生的异常数值，分别得出 cU 和 cD 的算术平均值，并计算初始去除效率 EI 。按式(F. 1)计算：

　　E …………………………( F.1 )

　　例：该试验气体是设定在 500 μg/L 的甲苯和 1 250 m3 / h 的风量。 试验开始时间是 t0 ,试验中的cU 和 cD 平均值各是 495 μg/L及 25 μg/L。因此，EI =94.9%。

　　式中：

　　QA —风量测定的算术平均值，单位为立方米每小时(m3 /h) ;

　　cU 、cD —单位为毫升每立方米(mL/m3 ) ;

　　tEND、t0 —单位为小时(h) ;

　　K —气体从 mg/L转化到 mg/m3 时的单位换算常数，与温度、绝对压力、气体有关的常数，它相当于在试验的温度和绝对压力条件下，试验气体的密度。 因为该试验进行持续时间较短以及试验气体浓度很低，可以使用平均浓度，故不用积分。 由于 EI 的测定将消耗一定的容量，因而这一数据可用于 F. 6 . 4 . 3 中的计算。

　　F.6 . 3 . 4 报告和图表

　　初始去除效率的报告如下：

　　a) 在试验报告上记录 EI 的数据。

　　b ) 在试验报告上作上、下游浓度与时间的关系曲线图。 见图 F. 4 。

　　F.6 . 4 吸附容量的测定

　　F.6 . 4 . 1 相关要素

　　吸附容量的测量应在约定的试验终点指定的试验条件下进行。 测定试验应是在一个较高浓度下进行，典型的浓度是在 10 mg/L左右，具体见表 F. 2 。在试验中主要检测下游浓度和周期性的检测上游浓度以确保其稳定性。 典型的最终去除效率选择是 90%、50%和 30%。

　　F.6 . 4 . 2 试验步骤

　　试验步骤如下：

　　a) 设定试验气体浓度 cU 并发气。 如：10 mg/L。

　　b ) 检测 TU 、TD , RH U、RHD ,ΔP 和Q，测定为每 5 min 一次或更短的间隔。

　　c) 上、下游的浓度测量同 F. 6 . 3 . 1,注意测定 cD 时间周期将很长，例如 3 . 5 h, 5 h 或 11 h, 最后达到试验的预期终点并稳定至少 10 min。

　　d) 记录吸附容量试验的时间 tEND以及最终去除效率 EEND 。

　　e) 在此项试验之后，如果要进行保持能力试验必须直接继续进行。

　　f) 不终止试验，继续按 F. 6 . 4 . 1 解吸的程序进行。

　　g) 关闭气源，终止试验。

　　F.6 . 4 . 3 计算

　　F.6 . 4 . 3 . 1 原始数据表中包含日期，测试时间，cU、cD、TU、TD、RH U、RHD ,ΔP 和 Q。

　　F.6 . 4 . 3 . 2 效率的计算：

　　原始数据表中的去除效率 EC 是根据式(F. 1)计算，作出效率与时间的曲线图，见图 F. 6 。

　　F.6 . 4 . 3 . 3 吸附容量的计算：

　　该吸附容量(mS)是空气化学过滤器吸附试验气体的质量，mS 的总量可通过计算得出，由于实际是一个递增的过程，并在 F. 6 . 4 . 1 的程序中只使用了一台分析仪，对于那些没有测到的浓度只能使用内插值 。它同样可以假设一个浓度(cU 或 cD) 以及在连续测定中的风量，例如每 3 min,在式(F. 3)、式 (F. 4)中的时间是以小时(h)表示，在给出的示例中详见图 F. 7 。

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　　mS =mSEI +mSD(0 < t< 1) +mSU(1 < t< 2) +mSD(2 < t< 5) +mSU(5 < t< 6) +

　　mSD(6 < t< 11) …………………………( F.3 )

　　当测定 cU 时 cD 是线性内插值，并分别用 cKU和 cKD来表示。

　　1 2

　　5 6 11

　　…………………………( F.4 )

　　为了实现一个正确的线性内插值，将在实测数据中集中两、三个点间进行平均。 如果使用两个分析仪，则仅需要一次积分。

　　F.6 . 4 . 4 报告和图表

　　吸附容量的报告如下：

　　a) 在测试报告的第一部分给出最终去除效率在 95%、90%、70%、50%和 30%时对应的mS 值 。

　　b ) 作 E 与 t 的关系曲线图，在测试报告第二部分给出(见图 F. 6) 。

　　c) 作 E 与 mS的关系曲线图，在测试报告第二部分给出(见图 F. 5) 。

　　此外，为验证试验的正确性，在试验报告中尚需完成下列各图：

　　d) 作 cU和 cD 与时间的关系曲线图(见图 F. 9)

　　e) 作 TU 和 TD 与时间的关系曲线图，温度在 21 ℃ ~25 ℃范围内(见图 F. 10) 。

　　f) 作 RH U 和 RHD 与时间的关系曲线图，相对湿度在 45%~55%的范围内(见图 F. 11) 。各种图例参见 F. 8 。

　　F.6 . 5 保持能力的测定

　　F.6 . 5 . 1 测定相关条件要素

　　空气化学过滤器保持能力的测定应在完全穿透以后，试验推荐的污染物采用甲苯，该试验是在吸附容量试验以后直接进行，关掉试验气体，只保持同样的风量。 然后记录下游不断降低的浓度，直到该浓度达到吸附容量试验浓度的 5%,这一过程的试验时间不超过 6 h。

　　F.6 . 5 . 2 试验步骤

　　试验步骤如下：

　　a) 关闭试验气体，当上游试验气体浓度为零时，继续测定 cD,至指定的终点。

　　b ) 记录解吸试验时间 tEND和终点浓度 cD 。

　　c) 试验完全关闭。

　　F.6 . 5 . 3 计算

　　根据总吸附容量 mS,通过计算可得到保持能力mR 。

　　计算式见(F. 5) :

　　tEND

　　mR =mdt …………………………

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　　F.6 . 5 . 4 报告和图表

　　保持能力的报告如下：

　　a) 在试验报告的第一部分上记录mR 值 。

　　b ) 在试验报告第二部分上作 cD与时间的关系曲线图，见图 F. 8 。

　　F.7 试验装置的验证

　　F.7 . 1 试验装置要求

　　详见 F. 2(图 F. 1 及注解)和 F. 1(表 F. 1) 。

　　F.7 . 2 上升时间和衰减时间的测定

　　如果只有一个分析仪，当系统中的浓度改变时，滞后时间必须要测定。 滞后时间的确定在进行时不需要安放空气化学过滤器，但要在每一种气体、每一个浓度和额定风量下均需测定。

　　F.7 . 3 试验步骤

　　试验步骤如下：

　　a) 设定风量、试验气体种类及浓度 cU 。

　　b ) 在放入空气化学过滤器之前，打开试验气体并满足 cU 的稳定性。

　　c) 关闭试验气源，让浓度达到零。

　　d) 打开试验气源，并记录时间 tVO(vo 即 valve open) 。

　　e) 让试验气体的浓度在下游取样点处达到 cU 立即记录该时间 t0 。

　　f) 当浓度 cU 已达到充分稳定时，关闭试验气源，立即记录 tVC(vc 即 valve closed) 。

　　g) 让 cD 浓度达到零或至少小于 cU 的 5%,此时记录时间 tEND 。

　　h) 当风量、试验气体种类及浓度 cU 发生变化时，重复 a) ~g) 的操作。

　　F.7 . 4 计算

　　按式(F. 6)、式(F. 7)计算的数值用于初始效率的测定：

　　tRE=(t0-tVO) …………………………( F.6 )

　　tDE=(tEND-tVC) …………………………( F.7 )

　　式中：

　　tRE —初始效率浓度的上升时间;

　　t0 —开始的时间;

　　tDE —初始效率浓度的衰减时间;

　　tVC —试验气体注入阀门关闭时的时间纪录。

　　按式(F. 8)、式(F. 9)计算的数值用于吸附容量的测定：

　　tRC=(t0-tVO) …………………………( F.8 )

　　tDC=(tEND-tVC) …………………………( F.9 )

　　式中：

　　tRC —试验用气体浓度上升时间;

　　tVO —试验气体注入阀门打开时的时间纪录;

　　tDC —试验用气体浓度的衰减时间;

　　GB/T 36370—2018

　　tEND —试验停止的时间，该时间是根据已达到要求的浓度或按顾客与供应商协商后指定其他停止试验的条件决定。

　　以上数据用于选定的特定试验气体及其浓度和风量。 在设置没有改变的情况下，这些数据可重复使用于以后的测试中。

　　tRC提供的时间是从发生试验气体开始到上游浓度达到 cU 的时间。

　　tRC也提供了滞后时间，当达到 tRC时，对于高的去除效率 cU 、cD 之间的转换，删除记录软件中滞后时间段的数据。

　　tDC提供的时间是从关闭试验气体开始到下游浓度达到零或至少小于 cU 的 5%的时间。

　　tDC也提供了滞后时间，当达到 tDC时，删除记录软件中滞后时间段的数据。

　　tDC对于某些在低浓度之下的气体，例如，浓度 100 μg/L 的氨气能保持数个小时。

　　F.7 . 5 报告和图表

　　试验气体的浓度、流量、初始效率、(设备)容量与时间的关系曲线分别见图 F. 2、图 F. 12、图 F. 13、图F. 14 。

　　说明：

　　t — 时间;

　　c —气体浓度;

　　tVO —试验气体阀门打开时的记录时间;

　　t0 —开始时间，在未装空气化学过滤器情况下，当 cU(上游污染物浓度)达到选定试验气体浓度的时间;

　　tVC —试验气体阀门关闭时的纪录时间;

　　tEND —试验停止时的时间;

　　tRC,tRE —上升时间，吸附容量试验气体浓度(RC)或初始效率浓度(RE) ;

　　tDC,tDE —下降时间，吸附容量试验气体浓度(DC)或初始效率浓度(DE) 。

　　图 F.2 气体浓度与时间关系曲线

　　F.8 空气化学过滤器测试报告

　　测试报告示例见表 F. 5 。

　　GB/T 36370—2018

　　表 F.5 试验报告中基本信息的描述和性能概要列表

　　F.9 性能图示例

　　空气化学过滤器性能试验需在测试台架上完成压力降、初始去除效率、吸附容量、保持能力的测定和试验装置的验证同时完成规范化的性能曲线图，包括：

　　GB/T 36370—2018

　　压力降测定 — 压力降与空气流量关系图，图 F. 3 。