GB/T 35305-2017 太阳能电池用砷化镓单晶抛光片

　　ICS 29 . 045 H 83

　　中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准

　　GB/T 35305—2017

　　太阳能电池用砷化镓单晶抛光片Monocrystallinegallium arsenidepolishedwafersforsolarcell

　　2017-12-29 发布 2018-07-01 实施

　　中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会

　　发

　　布

　　GB/T 35305—20 17

　　前 言

　　本标准按照 GB/T 1 . 1—2009 给出的规则起草。

　　本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)共同提出并归口 。

　　本标准起草单位：云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、云南中科鑫圆晶体材料有限公司、中国科学院半导体所。

　　本标准主要起草人：惠峰、普世坤、吕春富、董汝昆。

　　GB/T 35305—20 17

　　太阳能电池用砷化镓单晶抛光片

　　1 范围

　　本标准规定了太阳能电池用砷化镓单晶抛光片的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和质量证明书。

　　本标准适用于太阳能电池用砷化镓单晶抛光片(以下简称砷化镓抛光片)。

　　2 规范性引用文件

　　下列文件对于本文件的应用是必不可少的。 凡是注 日期的引用文件，仅注 日期的版本适用于本文件 。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

　　GB/T 2828 . 1 计数抽样检验程序 第 1 部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划GB/T 6618 硅片厚度和总厚度变化测试方法

　　GB/T 6619 硅片弯曲度测试方法

　　GB/T 6620 硅片翘曲度非接触式测试方法

　　GB/T 6621 硅片表面平整度测试方法

　　GB/T 6624 硅抛光片表面质量目测检验方法

　　GB/T 13387 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法

　　GB/T 14264 半导体材料术语

　　GB/T 19921 硅抛光片表面颗粒测试方法

　　GB/T 25075 太阳能电池用砷化镓单晶

　　GB/T 25915 . 1 洁净室及相关受控环境 第 1 部分：空气洁净度等级

　　GB/T 29505 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法

　　YS/T 26 硅片边缘轮廓检验方法

　　3 术语和定义

　　GB/T 14264 界定的术语和定义适用于本文件。

　　4 要求

　　4 . 1 分类

　　4 . 1 . 1 砷化镓抛光片按导电类型分为 N 型和 P 型两种。

　　4. 1 .2 砷化镓抛光片按直径大小分为 φ50.8 mm、φ76.2 mm、φ100.0 mm 三种。

　　4 . 2 理化及电学性能

　　砷化镓抛光片的电阻率、载流子浓度、晶向及晶向偏离度、位错密度应符合 GB/T 25075 的规定。

　　4 . 3 几何参数

　　砷化镓抛光片的几何参数应符合表 1 的规定。

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　　表 1 几何参数

　　4 . 4 强度

　　砷化镓抛光片的强度应不小于 22 . 5 N。

　　4 . 5 表面质量

　　砷化镓抛光片的表面质量应符合表 2 的规定。

　　表 2 表面质量

　　GB/T 35305—20 17

　　表 2(续)

　　4 . 6 边缘轮廓

　　经边缘倒角后的砷化镓抛光片圆周上所有点(有切口时，切口内的点除外)应处于使用 YS/T 26 测量模板的清晰区域内，且抛光片边缘轮廓的任何部位不准许有锐利点或凸起物，特殊要求可由供需双方协商确定。

　　4 . 7 其他

　　需方如对砷化镓抛光片有其他要求时，由供需双方另行商定。

　　5 试验方法

　　5 . 1 砷化镓抛光片的直径测量用千分尺进行。

　　5 . 2 砷化镓抛光片的厚度和总厚度变化测量按 GB/T 6618 的规定进行。

　　5 . 3 砷化镓抛光片的主参考面长度测量按 GB/T 13387 的规定进行。

　　5 . 4 砷化镓抛光片的弯曲度测量按 GB/T 6619 的规定进行。

　　5 . 5 砷化镓抛光片的翘曲度测量按 GB/T 6620 的规定进行。

　　5 . 6 砷化镓抛光片的总平整度测量按 GB/T 6621 的规定进行。

　　5 . 7 砷化镓抛光片的强度检验按附录 A 的规定进行。

　　5 . 8 砷化镓抛光片的表面质量中除颗粒沾污、表面粗糙度外的项 目检验按 GB/T 6624 的规定进行，见表 3 。

　　表 3 表面质量检验方法

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　　表 3(续)

　　5 . 9 砷化镓抛光片表面颗粒沾污检验按 GB/T 19921 的规定进行。

　　5 . 10 砷化镓抛光片表面粗糙度检验按 GB/T 29505 的规定进行。

　　5 . 1 1 砷化镓抛光片的边缘轮廓检验按 YS/T 26 的规定进行。

　　6 检验规则

　　6 . 1 检查和验收

　　6 . 1 . 1 产品应由供方技术质量监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准的规定，并填写产品质量证明书。

　　6 . 1 . 2 需方可对收到的产品按本标准的规定进行检验，若检验结果与本标准的规定不符时，应在收到产品之日起三个月内向供方提出，由供需双方协商解决。

　　6 . 2 组批

　　砷化镓抛光片应成批提交验收，每批应由同一砷化镓单晶加工而成的、具有相同几何参数的产品组成。

　　6 . 3 检验项目

　　每批砷化镓抛光片应对几何参数、强度、表面质量和边缘轮廓进行检验。

　　6 . 4 取样

　　6 . 4 . 1 检验项 目 中强度的检验取样按 GB/T 2828 . 1 特殊检查水平 S-2,正常检查一次抽样方案进行，其他项目的检验取样按 GB/T 2828 . 1 一般检查水平 Ⅱ ,正常检查一次抽样方案进行。

　　6 . 4 . 2 取样方案也可由供需双方协商确定。

　　6 . 5 检验结果的判定

　　6 . 5 . 1 检验项目的合格质量水平接收质量限(AQL)见表 4 。

　　表 4 接收质量限

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　　表 4(续)

　　6 . 5 . 2 抽检不合格的产品，供方可对非破坏性检验项 目 中的不合格项进行逐片检验，除去不合格品后，合格品可以重新组批。

　　7 标志、包装、运输、贮存和质量证明书

　　7 . 1 标志

　　7 . 1 . 1 包装盒外应贴上标签，其上注明：

　　a) 供方名称;

　　b) 商标 ;

　　c) 产品名称;

　　d) 导电类型;

　　e) 直径 ;

　　f) 产品编号;

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　　g) 净重 ;

　　h) 本标准编号;

　　i) 生产日期。

　　7 . 1 . 2 包装箱外侧应有“小心轻放”“防潮”“易碎”“防腐”等标识，并标明：

　　a) 产品名称;

　　b) 产品件数及重量;

　　c) 供方名称。

　　7 . 2 包装

　　产品应在符合 GB/T 25915 . 1 中不大于“ISO 5”的环境下，使用专用塑料包装盒逐片包装，外用洁净的塑料袋和防潮、防静电的铝箔袋真空包装。 将经过包装的砷化镓抛光片装入包装箱内，并装满填充物，防止松动。

　　7 . 3 运输

　　产品在运输过程中应轻装轻卸，勿压勿挤，并采取防震防潮措施。

　　7 . 4 贮存

　　产品应贮存在清洁、干燥的环境中。

　　7 . 5 质量证明书

　　每批产品应有质量证明书，其上注明：

　　a) 供方名称;

　　b) 产品名称及直径;

　　c) 产品批号;

　　d) 产品净重及片数;

　　e) 各项参数检验结果和检验部门的印记;

　　f) 本标准编号;

　　g) 出厂日期。

　　8 订货单(或合同)内容

　　本标准所列产品的订货单(或合同)内应包括下列内容：

　　a) 产品名称;

　　b) 导电类型;

　　c) 产品数量;

　　d) 几何参数;

　　e) 技术要求;

　　f) 本标准编号;

　　g) 其他需要协商的内容。

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　　附 录 A

　　(规范性附录)

　　砷化镓抛光片强度的测试方法

　　A.1 范围

　　本方法规定了砷化镓抛光片强度的测试方法。

　　A.2 方法提要

　　首先调整压力探针与圆环形托架之间的距离，以便将砷化镓抛光片放在一个圆环形托架的平台上，如图 A. 1 所示。 压力探针以一定的速度向圆环形托架做相对运动。 当压力探针与砷化镓抛光片接触时，将以一定的力施压在砷化镓抛光片上，直至砷化镓抛光片破裂为止，系统自动记录砷化镓抛光片所能承受的最大压力，将这一压力值记为试样的机械强度。

　　图 A.1 强度测试原理示意图

　　A.3 仪器

　　A.3 . 1 压力探针。

　　A.3 . 2 电动立式测试台。

　　A.3 . 3 圆环形托架。

　　A.4 测试环境

　　A.4. 1 测试温度：20 ℃ ±0.5 ℃。

　　A.4.2 相对湿度 ≤65%。

　　A.5 试样

　　按 6 . 4 的方法抽取待测试样后，再将测试样的表面清洁、干燥后进行测试。

　　A.6 测试步骤

　　A.6 . 1 将电动立式测试台的速度设为 0 . 2 mm/min~3 mm/min,压力探针将以该设定的速度垂直向测试台的圆环形托架运动。

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　　A.6 . 2 调整圆环形托架与压力探针之间的距离，使压力探针回到最高点，以便将砷化镓抛光片放在圆环形的平台上，平台的面积正好能放入试样，圆环的外环至内环的距离为 2 mm。

　　A.6 . 3 将砷化镓抛光片放在圆环形托架的平台上。

　　A.6 . 4 按强度仪开始按钮，压力探针将以设定的速度向圆环形托架运动，直至砷化镓抛光片破裂，系统将自动记录压力的峰值。