GB/T 32218-2015 真空技术 真空系统漏率测试方法

　　ICS 23. 160 J 78

　　中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准

　　GB/T 32218—2015

　　真空技术 真空系统漏率测试方法

　　Vacuum technology—Testmethodsforleak ratesofvacuum system

　　2015-12-10发布 2017-01-01实施

　　中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会

　　发

　　布

　　GB/T 32218—2015

　　前 言

　　本标准按照 GB/T 1. 1—2009给出的规则起草 。

　　本标准由中国机械工业联合会提出 。

　　本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归 口 。

　　本标准负责起草单位 : 中国空间技术研究院兰州空间技术物理研究所 。

　　本标准参加起草单位 :北京卫星环境工程研究所 、湖南维格磁流体股份有限公司 、安徽皖仪科技股份有限公司 、宁波爱发科真空技术有限公司 、成都南光机器有限公司 、台州环球真空设备制造有限公司 、上海惠丰石油化工有限公司 、沈阳真空技术研究所 。

　　本标准主要起草人 :李得天 、肖祥正 、陈光奇 、王荣宗 、陈联 、孙立臣 、闫荣鑫 、言继春 、黄文平 、刘磊 、王国东 、何小波 、范林东 、赵计春 、赵伟胜 、惠泽民 、王玲玲 。

　　真空技术 真空系统漏率测试方法

　　1 范围

　　本标准规定了利用氦质谱法和升压法对真空系统的漏率进行测试的测试原理 、仪器与设备 、测试条件 、测试程序 、漏率测试中断处理 、测试记录与测试报告 。

　　本标准适用于真空系统(以下简称被检件)的漏率测试 。

　　2 规范性引用文件

　　下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注 日期的引用文件 ,仅注 日期的版本适用于本文件 。凡是不注日期的引用文件 ,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 。

　　GB/T 3163 真空技术 术语

　　GB/T 3864—2008 工业氮

　　GB/T 4844—2011 纯氦 、高纯氦和超纯氦

　　GB/T 18193 真空技术 质谱检漏仪校准

　　3 术语和定义

　　GB/T 3163界定的以及下列术语和定义适用于本文件 。

　　3. 1

　　有效最小可检漏率 effectiveminimum detectableleak rate

　　被检件与检漏系统连接后 ,检漏仪和检漏系统在具体的工作条件下 , 检漏仪所能检出的最小漏孔漏率 。

　　注 : 单位为帕立方米每秒(Pa · m3 /s) 。

　　3.2

　　累积检漏 accumulation leak test

　　将被检件抽空后 ,关闭累积阀与抽气系统隔离 。 当被检件外部施加一定浓度的氦气后 ,如果被检件上有漏孔 ,在规定的累积时间内由被检件上的漏孔漏出的氦气就会累积在被检件内 ,使被检件内的氦分压随累积时间而增加 。在累积时间终了时打开累积阀 ,用氦质谱检漏仪检测被检件内氦气的分压力 ,从而计算出被检件总漏率的一种检漏方法 。

　　注 : 它是一种用来检测微小漏孔的氦质谱泄漏检测方法 。

　　3.3

　　氦气的浓度 helium concentration

　　在混合气体中 , 氦气分压力与混合气体总压力的比值 。

　　4 测试原理

　　4. 1 氦质谱法真空系统漏率测试原理

　　喷枪或氦罩中的示漏氦气通过漏孔进入被检件内 ,并被引入检漏仪 , 引起检漏仪输出指示的变化 ,

　　GB/T 32218—2015

　　将该变化值与安装在被检件上的标准漏孔在检漏仪上引起的输出指示变化值进行比较 ,确定真空系统被检件的漏率 。

　　4.2 静态升压法真空系统漏率测试原理

　　当被检件容积不变且已知时 ,在静态条件下 ,测量在一定时间内被检件容积中压力升高值 ,然后通过计算得到被检件的漏率 。

　　5 仪器与设备

　　5. 1 检漏仪和检漏系统

　　检漏仪的最小可检漏率 ,应满足被检件漏率测试要求 。

　　检漏系统的有效最小可检漏率应不大于被检件允许漏率的 1/10。

　　5.2 标准漏孔

　　标准漏孔要求如下 :

　　a) 应选用真空标准漏孔 ,其标定值应与被检件允许漏率接近 ;

　　b) 在校准或检定有效期内使用 ;

　　c) 根据漏率测试方法不同 ,选用不同类型的真空标准漏孔 。

　　5.3 真空计

　　真空计要求如下 :

　　a) 真空计的量程应能满足被检件的压力测量范围 ;

　　b) 真空计应在检定或校准有效期内使用 。

　　5.4 氦罩

　　氦罩应选用对氦渗透系数小的材料制作 。

　　5.5 累积阀

　　累积阀要求如下 :

　　a) 能快速开启和关闭 ;

　　b) 关闭后的内漏率不应大于 1× 10- 10 Pa · m3/s。

　　5.6 测试阀

　　对静态升压法中使用的测试阀的要求如下 :

　　a) 能快速关闭 ;

　　b) 能耐高温烘烤 , 降低阀门的出气速率 ;

　　c) 关闭后的内漏率不应大于 1× 10- 10 Pa · m3/s。

　　6 测试条件

　　6. 1 测试场地的环境要求

　　测试场地的环境要求如下 :

　　a) 环境温度 :30 ℃ ~ 16 ℃ ;

　　b) 相对湿度<80% ;

　　c) 无强磁场干扰 、无剧烈振动 、无腐蚀性气体 ;

　　d) 环境通风良好 。

　　6.2 氦气

　　测试使用的氦气应满足 GB/T 4844—2011中合格品的要求 。

　　6.3 氮气

　　测试使用的氮气应满足 GB/T 3864—2008规定的技术指标要求 。

　　7 测试程序

　　7. 1 测试前准备

　　7. 1. 1 真空机组 、阀门 、管路应按真空设计要求进行安装 ,并保持被测真空系统清洁 ,无多余物 。

　　7. 1.2 真空机组 、阀门应工作正常 。

　　7. 1.3 质谱检漏仪工作正常 ,并按要求连接真空系统漏率测试装置 。

　　7. 1.4 真空标准漏孔与真空计应远离抽气 口 ,靠近被测部位安装 。

　　7.2 氦质谱法真空系统漏率测试

　　7.2. 1 检漏仪最小可检漏率测试

　　7.2. 1. 1 测试装置

　　测试装置由检漏仪 、标准漏孔阀和真空标准漏孔组成 ,见图 1。

　　说明 :

　　1— 检漏仪 ;

　　2— 标准漏孔阀 ;

　　3— 真空标准漏孔 。

　　图 1 检漏仪最小可检漏率测试装置示意图

　　7.2. 1.2 测试步骤

　　测试步骤如下 :

　　a) 启动检漏仪 ,待检漏仪正常工作后 ,关标准漏孔阀 ,记录检漏仪的本底值 I01 ;

　　b) 测最小可检信号值 In1 ,按 GB/T 18193中的方法进行 ;

　　c) 开标准漏孔阀 ,记录检漏仪输出指示的稳定值 Is1 ;

　　d) 检漏仪最小可检漏率按式(1)计算 :

　　Qmin Qs1 …………………………( 1 )

　　式中 :

　　Qmin— 检漏仪最小可检漏率 ,单位为帕立方米每秒(Pa · m3/s) ;

　　In1 — 最小 可 检 信 号 值 , 单 位 同 检 漏 仪 输 出 指 示 单 位 , 如 毫 伏 (mV) 、格 或 帕 立 方 米 每 秒(Pa · m3/s) ;

　　Is1 — 开标准漏孔阀后 ,检漏仪输出指示值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　I01 — 本底值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　Qs1 — 标准漏孔漏率标定值 ,单位同帕立方米每秒(Pa · m3/s) 。

　　7.2.2 氦罩法真空系统漏率测试

　　7.2.2. 1 测试装置

　　测试装置由检漏仪 、检漏阀 、氦气源 、氦罩 、真空标准漏孔 、标准漏孔阀 、被检件(包含真空容器 、真空规 、高真空泵 、前级阀和连接管道)等组成 ,见图 2。检漏仪通过检漏阀连接在被检真空系统的高真空泵和前级阀之间 ,标准漏孔通过标准漏孔阀安装在被检真空系统上 。

　　说明 :

　　1 — 检漏仪 ;

　　2 — 检漏阀 ;

　　3 — 氦气源 ;

　　4 — 氦罩 ;

　　5 — 真空规 ;

　　6 — 被检件 ;

　　7 — 真空标准漏孔 ;

　　8 — 标准漏孔阀 ;

　　9 — 累积阀 ;

　　10— 高真空泵 ;

　　11— 前级阀 ;

　　12— 前级泵 。

　　图 2 氦罩法和累积法真空系统漏率测试装置示意图

　　7.2.2.2 反应时间测试

　　反应时间测试步骤如下 :

　　a) 对测试装置抽真空 ;

　　b) 启动检漏仪 ,使检漏仪处于检漏工作状态 ;

　　c) 开检漏阀 ,在保证检漏仪正常工作的前提下 ,尽量关小前级阀 。待检漏仪输出指示稳定后 ,记录检漏仪输出指示的本底值 I02 ;

　　d) 开标准漏孔阀 , 当检漏仪输出指示稳定后 ,记录检漏仪输出指示值 Im1 ;

　　e) 标准漏孔引起检漏仪输出指示变化 63%的值按式(2)计算 :

　　IR1 = 0. 63× (Im1 - I02) …………………………( 2 )

　　式中 :

　　IR1 — 标准漏孔引起检漏仪输出指示变化 63%的值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　Im1— 开标准漏孔阀后检漏仪输出指示值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　I02 — 本底值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　f) 关标准漏孔阀 ,使检漏仪输出指示恢复至本底值 I02 ;

　　g) 开 标 准 漏 孔 阀 , 同 时 记 录 时 间 , 检 漏 仪 输 出 指 示 上 升 至 (IR1 +I02 ) 值 时 所 需 时 间 为 反 应 时间 τ1 ;

　　h) 关标准漏孔阀 。

　　7.2.2.3 有效最小可检漏率测试

　　有效最小可检漏率测试步骤如下 :

　　a) 保证测试装置工作状态不变 ,记录检漏仪输出指示的本底值 I03 ;

　　b) 测最小可检信号值 In2 ,按 GB/T 18193中的方法进行 ;

　　c) 开标准漏孔阀 , 当时间大于 5τ1 后 ,记录检漏仪的输出指示值 Is2 ;

　　d) 有效最小可检漏率按式(3)计算 :

　　QeQs2 …………………………( 3 )

　　式中 :

　　Qe1 — 有效最小可检漏率 ,单位为帕立方米每秒(Pa · m3/s) ;

　　In2 — 最小可检信号值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　Is2 — 开标准漏孔阀后 ,检漏仪的输出指示值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　I03 — 本底值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　Qs2 — 标准漏孔漏率标定值 ,单位为帕立方米每秒(Pa · m3/s) 。

　　注 : 测得的 Qe1值应不大于被检件允许漏率的 1/10。

　　7.2.2.4 漏率测试

　　漏率测试步骤如下 :

　　a) 用氦罩将被检件包覆并密封 ;

　　b) 关标准漏孔阀 ,待检漏仪输出稳定后 ,记录检漏仪输出指示的本底值 I04 ;

　　c) 向氦罩内充入氦气 ,使氦气浓度为 γ1 (当氦罩允许抽空时 ,可充入一个大气压的纯氦气) , 当施氦时间大于 5τ1 时 ,记录检漏仪输出稳定值 I1 ;

　　d) 当检漏仪输 出 指 示 的 变 化 值(I1 -I04 ) 大 于 最 小 可 检 信 号 值 In2 时 , 被 检 件 的 漏 率 按 式 (4)计算 ;

　　Q …………………………( 4 )

　　式中 :

　　Q1— 被检件漏率值 ,单位为帕立方米每秒(Pa · m3/s) ;

　　I1 — 被检件漏孔在检漏仪上产生的输出指示值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　I04— 本底值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　γ1 — 氦罩内氦气浓度 ;

　　e) 当检漏仪输出指示的变化值(I1 -I04 ) 等于或小于最小可检信号值 In2 时 ,被检件的漏率等于或小于 Qe1 。

　　7.2.2.5 有效最小可检漏率复测

　　真空系统漏率测试结束后 ,应对漏率测试装置有效最小可检漏率进行复测 ,复测步骤如下 :

　　a) 按 7. 2. 2. 3 复测有效最小可检漏率 ;

　　b) 当复测的有效最小可检漏率值与原测试值相对偏差大于 20%时 ,应调试漏率测试装置 ,重新按 7. 2. 2进行测试 。

　　7.2.3 喷吹法真空系统漏率测试

　　7.2.3. 1 测试装置

　　测试装置由检漏仪 、检漏阀 、不带氦室的通道型真空标准漏孔 、标准漏孔阀 、喷枪 、氦气源 、被检件 、真空规 、高真空泵 、前级阀 、前级泵和连接管道等组成 ,见图 3。检漏仪通过检漏阀连接在高真空泵和前级阀之间 ,标准漏孔通过标准漏孔阀安装在被检件合适位置上 。

　　说明 :

　　1 — 检漏仪 ;

　　2 — 检漏阀 ;

　　3 — 被检件 ;

　　4 — 真空规 ;

　　5 — 不带氦室的通道型真空标准漏孔 ;

　　6 — 标准漏孔阀 ;

　　7 — 喷枪 ;

　　8 — 氦气源 ;

　　9 — 高真空泵 ;

　　10— 前级阀 ;

　　11— 前级泵 。

　　图 3 喷吹法真空系统漏率测试装置示意图

　　7.2.3.2 反应时间测试

　　反应时间测试步骤如下 :

　　a) 对测试装置抽真空 ;

　　b) 启动检漏仪 ,使检漏仪处于检漏工作状态 ;

　　c) 开检漏阀 ,在保证检漏仪正常工作的前提下 ,尽量关小前级阀 。待检漏仪输出指示稳定后 ,记录检漏仪的本底值 I05 ;

　　d) 开标准漏孔阀 ,用喷枪向真空标准漏孔进气端喷吹氦气 ,检漏仪输出指示稳定后 ,记录输出指示值 Im2 ;

　　e) 标准漏孔引起检漏仪输出指示变化 63%的值按式(5)计算 :

　　IR2 = 0. 63× (Im2 - I05) …………………………( 5 )

　　式中 :

　　IR2 — 标准漏孔引起检漏仪输出指示变化 63%的值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　Im2— 开标准漏孔阀后检漏仪输出指示值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　I05 — 本底值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　f) 吹除标准漏孔进气端的氦气 ,关标准漏孔阀使检漏仪输出指示恢复至本底值 I05 ;

　　g) 开标准漏孔阀 , 向标准漏孔进气端喷吹氦气 ,并同时记录时间 ,检漏仪输出指示上升至(IR2 + I05)值时所需的时间为反应时间 τ2 ;

　　h) 关标准漏孔阀 。

　　7.2.3.3 有效最小可检漏率测试

　　有效最小可检漏率测试步骤如下 :

　　a) 保证测试装置工作状态不变 ,测试检漏仪本底值 I06 ;

　　b) 测最小可检信号值 In3 ,按 GB/T 18193中的方法进行 ;

　　c) 开标准漏孔阀 , 向通道型真空标准漏孔进气端喷吹氦气 , 当时间大于 5τ2 后 ,记录检漏仪的输出指示值 Is3 ;

　　d) 有效最小可检漏率按式(6)计算 :

　　QeQs3 …………………………( 6 )

　　式中 :

　　Qe2 — 有效最小可检漏率 ,单位为帕立方米每秒(Pa · m3/s) ;

　　In3 — 最小可检信号值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　Is3 — 开标准漏孔阀后 ,检漏仪的输出指示值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　I06 — 本底值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　Qs3 — 标准漏孔漏率标定值 ,单位为帕立方米每秒(Pa · m3/s) 。

　　注 1: 测得的 Qe2值应小于被检件允许漏率的 1/10。

　　注 2: 向通道型真空标准漏孔进气端喷吹氦气时 ,喷枪离漏孔进气端的距离应小于 6 mm。

　　7.2.3.4 漏率测试

　　漏率测试步骤如下 :

　　a) 关标准漏孔阀 ,待检漏仪输出指示稳定后 ,记录检漏仪输出指示的本底值 I07 ;

　　b) 从上到下用喷枪对被检件进行扫描喷氦检漏 ,喷枪与被检件的距离小于 6 mm , 喷枪与被检面的夹角一般为 90°,喷枪移动的速度由反应时间 τ2 确定 ;

　　c) 当检漏仪输出指示有明显变化时 ,应用喷枪喷氦反复验证 ,确定出漏气部位后 ,在漏气部位喷氦(喷氦时间大于 5τ2 ) ,记录检漏仪输出指示的稳定值 I2 ,并在漏气部位做出标记 ;

　　d) 当检漏仪输出指示的变化值(I2 -I07) 大于最小可检信号值 In3 时 ,漏 气 部 位 的 漏 率 按 式(7)计算 :

　　QQs3 …………………………( 7 )

　　式中 :

　　Q2— 漏气部位漏率值 ,单位为帕立方米每秒(Pa · m3/s) ;

　　I2 — 漏气部位漏孔引起的检漏仪输出指示值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　I07— 本底值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　e) 当检漏仪输出指示的变化值(I2 -I07) 等于或小于最小可检信号值 In3 时 ,漏气部位的漏率等于或小于 Qe2 。

　　7.2.3.5 有效最小可检漏率复测

　　漏率测试结束后 ,应对漏率测试装置的有效最小可检漏率进行复测 ,复测步骤如下 :

　　a) 按 7. 2. 3. 3 复测有效最小可检漏率 ;

　　b) 当复测的有效最小可检漏率值与原测试值相对偏差大于 20%时 ,应调试漏率测试装置 ,重新按 7. 2. 3进行漏率测试 。

　　7.2.4 真空累积法真空系统漏率测试

　　7.2.4. 1 测试装置

　　漏率测试装置 ,见图 2。

　　7.2.4.2 有效最小可检漏率测试

　　7.2.4.2. 1 最小可检气体量测试

　　最小可检气体量测试步骤如下 :

　　a) 对测试装置抽真空 ;

　　b) 启动检漏仪 ,使检漏仪处于检漏工作状态 ;

　　c) 开检漏阀 ,在保证检漏仪正常工作的前提下 ,尽量关小前级阀 ;

　　d) 开累积阀 ,关标准漏孔阀 ,记录检漏仪输出指示的本底值 I08 ;

　　e) 测最小可检信号值 In4 ,按 GB/T 18193中的方法进行 ;

　　f) 关累积阀 , 同时记录时间 , 累积 t0 时间后 ,开累积阀 ,记录检漏仪输出指示的最大值 I3 ;

　　g) 开标准漏孔阀 ,待检漏仪输出指示稳定后 ,记录检漏仪输出指示值 I4 ;

　　h) 关累积阀 , 同时记录时间 , 累积 t0 时间后 ,开累积阀 ,记录检漏仪输出指示的最大值 I5 ;注 1: 标准漏孔标定值 Qs4或 t0 值必须足够大 ,使(I5 -I4 ) -(I3 -I08)值大于 10In4 。

　　注 2: 标准漏孔漏率 Qs4确定后 ,按照测试步骤 7. 2. 4. 2. 1f) ~ h)反复测试 , 当(I5 -I4 ) -(I3 -I08)值大于 10In4时便可确定出 t0 值 。

　　i) 最小可检气体量按式(8)计算 :

　　qmin Qs4t0 … … … … … … … … … …

　　式中 :

　　qmin— 最小可检气体量 ,单位为帕立方米(Pa · m3 ) ;

　　In4 — 最小可检信号值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　I5 — 开标准 漏 孔 阀 , 累 积 t0 时 间 后 检 漏 仪 输 出 指 示 的 最 大 值 , 单 位 同 检 漏 仪 输 出 指 示单位 ;

　　I4 — 开标准漏孔阀 ,开累积阀 ,检漏仪输出指示值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　I3 — 关标准漏孔阀 ,关累积阀 , 累积 t0 时间后 ,检漏仪输出指示的最大值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　I08 — 关标准漏孔阀 ,开累积阀情况下 , 检漏仪输出指示的本底值 ,单位 同 检 漏 仪 输 出 指 示单位 ;

　　Qs4 — 标准漏孔漏率标定值 ,单位为帕立方米每秒(Pa · m3/s) ;

　　t0 — 初始累积时间 ,单位为秒(s) 。

　　7.2.4.2.2 最小累积时间确定

　　能检测出被检件最大允许漏率 QA 时的最小累积时间按式(9)计算 :

　　tmin

　　式中 :

　　tmin— 最小累积时间 ,单位为秒(s) ;

　　QA — 被检件最大允许漏率 ,单位为帕立方米每秒(Pa · m3/s) 。

　　7.2.4.2.3 有效最小可检漏率确定

　　有效最小可检漏率 Qe3确定方法如下 :

　　a) 当累积时间为 tmin时 ,有效最小可检漏率 Qe3等于 QA ;

　　b) 当累积时间为 t (t>tmin)时 ,有效最小可检漏率按式(10)计算 :

　　Qe

　　式中 :

　　Qe3 — 有效最小可检漏率 ,单位为帕立方米每秒(Pa · m3/s) ;

　　t — 检测累积时间 ,单位为秒(s) 。

　　7.2.4.3 漏率测试

　　漏率测试步骤如下 :

　　a) 用氦罩将被检件包覆并密封 ;

　　b) 检漏仪及测试装置工作状态保持不变 ,关标准漏孔阀 ,开累积阀 ,记录检漏仪输出指示的本底值 I09 ;

　　c) 关累积阀 , 累积 t(t>tmin)时间后开累积阀 ,记录检漏仪输出指示的最大值 I6 ;

　　d) 开标准漏孔阀 ,记录检漏仪输出指示稳定值 I7 ;

　　e) 关累积阀 , 累积 t时间后开累积阀 ,记录检漏仪输出指示的最大值 I8 ;

　　f) 关标准漏孔阀 , 向氦罩内充氦使氦气浓度为 γ2,稳定后 ,记录检漏仪输出指示值 I9 ;

　　g) 关累积阀 , 累积 t时间后开累积阀 ,记录检漏仪输出指示的最大值 I10 ;

　　h) 当检漏仪输出指示的变化值(I10 -I9 ) -(I6 -I09 ) 大于最小可检信号值 In4 时 ,被检件的漏率值按式(11)计算 :

　　Q

　　式中 :

　　Q3— 被检件漏率值 ,单位为帕立方米每秒(Pa · m3/s) ;

　　I10— 氦罩内充氦气后 ,关标准漏孔阀 , 累积 t时间后检漏仪输出指示的最大值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　I9 — 氦罩内充氦气后 ,开累积阀 ,关标准漏孔阀 , 检漏仪输出指示的稳定值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　I6 — 氦罩未充氦气时 ,关标准漏孔阀 , 累积 t时间后检漏仪输出指示的最大值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　I09— 关标准漏孔阀 ,开累 积 阀 , 氦 罩 未 充 氦 时 检 漏 仪 输 出 指 示 值 , 单 位 同 检 漏 仪 输 出 指 示单位 ;

　　I8 — 氦罩未充氦时 ,开标准漏孔阀 , 累积 t时间后检漏仪输出指示的最大值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　I7 — 氦罩未充氦气时 ,开累积阀 ,开标准漏孔阀 , 检漏仪输出指示稳定值 ,单位同检漏仪输出指示单位 ;

　　γ2 — 氦罩内氦气浓度 ;

　　i) 当检漏仪输出指示的变化值(I10 -I9 ) -(I6 -I09 ) 等于或小于最小可检信号值 In4 时 ,被检件的漏率等于或小于 Qe3 。

　　7.2.4.4 有效最小可检漏率复测

　　漏率测试结束后 ,应对测试装置有效最小可检漏率进行复测 ,复测步骤如下 :

　　a) 按 7. 2. 4. 2 复测有效最小可检漏率 ;

　　b) 当复测的有效最 小 可 检 漏 率 值 与 原 测 试 值 相 对 偏 差 大 于 20%时 , 应 调 试 测 试 装 置 , 重 新 按

　　7. 2. 4进行漏率测试 。

　　7.3 静态升压法真空系统漏率测试

　　7.3. 1 测试装置

　　测试装置由测试阀 、真空规 、被检件 、高真空泵 、前级泵 、前级阀及连接管道等组成 ,见图 4。

　　说明 :

　　1— 高真空泵 ;

　　2— 测试阀 ;

　　3— 真空规 ;

　　4— 被检件 ;

　　5— 前级阀 ;

　　6— 前级泵 。

　　图 4 静态升压法真空系统漏率测试装置示意图

　　7.3.2 测试步骤

　　测试步骤如下 :

　　a) 对被检件抽真空 ,必要时对被检件进行烘烤 , 以加快出气速率 ,迅速降低被检件的出气量 ,缩短抽气时间 ;

　　b) 当被检件中的压力稳定后 ,记录该压力值 p0 ;

　　c) 关测试阀 ,每隔一定时间间隔记录一次被检件中的压力 p 值和环境温度 T 值 ,并绘制压力随时间的变化曲线 ,见图 5;

　　图 5 压力随时间的变化曲线

　　d) 找出压力随时间变 化 曲 线 的 线 性 段 , 并 在 线 性 段 上 取 两 点 A(t1 , p1 ,T1 ) 和 B(t2 , p2 ,T2 ) , t2 -t1 ≥300 s,被检件漏率值按式(12)计算 :

　　Q

　　式中 :

　　Q4— 被检件漏率值 ,单位为帕立方米每秒(Pa · m3/s) ;

　　V — 被检件的容积 ,单位为立方米(m3 ) ;

　　t2 —B点时间值 ,单位为秒(s) ;

　　t1 —A点时间值 ,单位为秒(s) ;

　　T1—A点温度 ,单位为开(K) ;

　　T2—B点温度 ,单位为开(K) ;

　　p2 —B点压力值 ,单位为帕(Pa) ;

　　p1 —A点压力值 ,单位为帕(Pa) 。

　　8 漏率测试中断处理

　　8. 1 氦质谱漏率测试的中断处理

　　漏率测试中断后应重新按 7. 2进行测试 。

　　8.2 静态升压法漏率测试的中断处理

　　漏率测试中断后应重新按 7. 3进行测试 。

　　9 测试记录与报告

　　9. 1 测试记录

　　测试记录一般应包括如下内容 :

　　a) 测试日期和测试时间 ;

　　b) 被检件的名称 、图号 、序号 ;

　　c) 测试方法及有效最小可检漏率 、复测的有效最小可检漏率 ;

　　d) 氦质谱检漏仪 :产品名称 、型号规格 、产品编号等信息 ;

　　e) 标准漏孔 :名称 、型号 、编号 、标定值及有效期等信息 ;

　　f) 其他重要测试设备与仪器的信息 ;

　　g) 测试环境条件(大气压力 、环境温度和湿度) ;

　　h) 测试用示漏气体的纯度及浓度 ;

　　i) 测试过程中各测试参数的测量值 ;

　　j) 测试人员 。

　　9.2 测试报告

　　测试报告一般应包括如下内容 :

　　a) 测试日期 ;

　　b) 被检件的名称 、图号 、序号 ;

　　c) 所用仪器设备的名称 、编号 、标定值及有效期等信息 ;

　　d) 测试结果和结论 ;

　　e) 测试人员 ;

　　f) 审核 、签发或批准信息 。

　　参 考 文 献

　　[1] GB/T 9445—2008 无损检测 人员技术资格鉴定与认证

　　[2] GB/T 12604. 7—1995 无损检测技术术语 泄漏检测

　　[3] GB/T 13979—2008 质谱检漏仪

　　[4] GB/T 15823—1995 氦泄漏检验

　　[5] GB/T 18193 真空技术 质谱检漏仪校准

　　[6] GB/T 18443. 3—2001 低温绝热压力容器试验方法 漏率测量

　　[7] QJ 3123—2000 氦质谱真空检漏方法

　　[8] JISZ 2331—2006 氦检漏方法

　　[9] ASTM D 4991-07 Standard test method for leakage testing of empty rigid containers by vacuum method

　　[10] ASTM E 498—2006 Standard test methods for leaks using the mass spectrometer leak detector or residualgas analyzer in the tracer probe mode

　　[11] ASTM E 1603—2006 Standard test methods for leakage measurement using the mass spectrometer leak detector or residualgas analyzer in the hood mode