GB/T 14896.6-2015 特种加工机床 术语 第6部分：其他特种加工机床

　　ICS 01. 040. 25;25. 080.99 J 59

　　中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准

　　GB/T 14896.6—2015代替 GB/T 14896. 6—1994

　　特种加工机床 术语

　　第 6 部分 :其他特种加工机床

　　Non-traditionalmachines—Terminology—

　　Part6:Othernon-traditionalmachines

　　2015-12-10发布 2016-07-01实施

　　中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会

　　发

　　布

　　GB/T 14896.6—2015

　　前 言

　　GB/T 14896《特种加工机床 术语》分为 14个部分 :

　　— 第 1部分 :基本术语 ;

　　— 第 2部分 : 电火花加工机床 ;

　　— 第 3部分 : 电解加工机床 ;

　　— 第 4部分 :超声加工机床 ;

　　— 第 5部分 :复合加工机床 ;

　　— 第 6部分 :其他特种加工机床 ;

　　— 第 7部分 :增材制造机床 ;

　　— 第 8部分 : 电熔爆加工机床 ;

　　— 第 9部分 :激光加工机床 ;

　　— 第 10部分 : 电子束加工机床 ;

　　— 第 11部分 :离子束加工机床 ;

　　— 第 12部分 :等离子弧加工机床 ;

　　— 第 13部分 :射流加工机床 ;

　　— 第 14部分 :磨粒流加工机床 。

　　本部分为 GB/T 14896的第 6部分 。

　　本部分按照 GB/T 1. 1—2009给出的规则起草 。

　　本部分代替 GB/T 14896.6—1994《特种加工机床 术语 其他特种加工机床》,与 GB/T 14896.6—1994相比 ,主要变化如下 :

　　— 标准名称的补充要素 “其他特种加工机床 ”改为 “第 6部分 :其他特种加工机床 ”;

　　— “主题内容与适用范围 ”改为 “范围 ”, 内容表述做了修改(见第 1 章 ,1994年版的第 1 章) ;

　　— “引用标准 ”改为 “规范性引用文件 ”,增加了引导语 , 引用标准只保留 1 个(见第 2 章 , 1994年版的第 2 章) ;

　　— 删除了 “磨料流加工机 ”等 7项机床名称的术语 ,增加了 “光化学加工机床 ”等 3 项机床名称的术语 ,修改了 “光刻机 ”、“砂线切割机 ”、“电铸成形机 ”等 3项机床名称的术语 、定义及英文对应词(见第 3 章 ,1994年版的第 3 章) ;

　　— 删除了 “磨料流工作压力 ”和 “电刷镀工作电流 ”2 项机床参数的术语 ,增加了 “分辨率 ”等机床参数的术语(见第 4章 ,1994年版的第 4章) ;

　　— 删除 “介质缸 ”和 “电液压加工工作室 ”2 项术语 ,修改了部分机床零部件术语的定义和英文对应词 ,增加了 “化学刻蚀槽 ”等 7项机床零部件的术语(见第 5 章 ,1994年版的第 5 章) ;

　　— 删除了 “磨料流加工 ”和 “电液压加工 ”2 项加工方法的术语 ,修改了部分加工方法术语的定义和英文对应词 ,增加了 “光刻 ”等 7项加工方法的术语(见第 6章 ,1994年版的第 6章) ;

　　— 删除了法 、俄 、德 、日等语种 。

　　本部分由中国机械工业联合会提出 。

　　本部分由全国特种加工机床标准化技术委员会(SAC/TC161)归 口 。

　　本部分起草单位 :南京航空航天大学 、苏州电加工机床研究所有限公司 、中国机械工程学会特种加工分会 。

　　本部分主要起草人 : 田宗军 、汪炜 、云乃彰 、于志三 、叶军 、徐均良 、王应 。

　　本部分所代替标准的历次版本发布情况为 :

　　—GB/T 14896. 6—1994。

　　特种加工机床 术语

　　第 6 部分 :其他特种加工机床

　　1 范围

　　GB/T 14896的本部分规定了 GB/T 14896其他部分未涉及的特种加工机床的机床名称 、机床参数 、机床零部件和加工方法的术语及其定义 。

　　本部分适用于各类其他特种加工机床和设备(以下简称 “机床 ”) 。

　　2 规范性引用文件

　　下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注 日期的引用文件 ,仅注 日期的版本适用于本文件 。凡是不注日期的引用文件 ,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 。

　　GB/T 14896. 1—2009 特种加工机床 术语 第 1部分 :基本术语

　　3 机床名称

　　3. 1

　　光化学加工机床 photochemicalmachines

　　利用光刻和化学腐蚀相结合的技术加工工件的机床 。

　　3. 1. 1

　　光刻机床 lithographicmachines

　　应用于光刻工艺的光化学加工机床 。

　　3. 1.2

　　刻蚀机 etching machines

　　应用于刻蚀工艺的光化学加工机床 。

　　3.2

　　砂线切割机床 fixed abrasivewirecutting machines

　　通过砂线高速运动切割工件的特种加工机床 。

　　3.3

　　磨料线切割机床 freeabrasivewiresawing machines

　　通过高速运动的细金属线带动含有磨料的悬浮液产生作用 ,进行磨削加工的特种加工机床 。 3.4

　　电铸成形机床 electroforming machines

　　利用电铸方法制造工件的特种加工机床 。

　　4 机床参数

　　机床通用的参数术语见 GB/T 14896. 1—2009。

　　GB/T 14896.6—2015

　　4. 1

　　分辨率 resolution

　　光刻加工图形可以达到的最细线条宽度 。

　　4.2

　　对准精度 alignmentprecision

　　套刻精度 overlayprecision

　　多层曝光时 ,层间图案的定位精度 。

　　4.3

　　光强均匀性 lightintensity uniformity

　　光刻时 ,投影在工件表面光强的均匀程度 。

　　4.4

　　光源波长 lightsourcewavelength

　　光刻曝光光源光波的波长 。

　　5 机床零部件

　　机床通用的零部件术语见 GB/T 14896. 1—2009。

　　5. 1

　　化学刻蚀槽 chemicaletchingtank

　　盛放化学溶液 、溶解工件材料的容器 。

　　5.2

　　高精度定位工作台 high accuracypositioning worktable

　　光刻中 ,在大行程范围内 ,具有快速移动 、精确定位性能的工作台 。

　　5.3

　　光刻光源系统 lightsourcesystem

　　为光刻提供使光致抗蚀剂(光刻胶)产生反应的光源系统 。

　　5.4

　　光刻曝光系统 exposuresystem

　　将光刻光源传来的光 ,通过照明系统 、投影物镜 ,实现光束变换及曝光量控制的系统 。 5.5

　　砂线 fixed abrasivewire

　　表面固着高硬度磨粒的线状工具 。

　　5.6

　　张紧装置 tension unit

　　控制线状工具在运动中维持一定张力的装置 。

　　5.7

　　导轮 guidewheel

　　对线状工具运动进行导向的轮状部件 。

　　5. 8

　　张紧轮 tension wheel

　　张紧装置中 ,提供线状工具合适稳定张紧力的轮状零件 。

　　5.9

　　排线装置 linearrangementmechanism

　　按一定间隔排列线状工具的装置 。

　　5. 10

　　电铸槽 electroformingtank

　　内置原模 、阳极材料 、电解液 , 以实现电铸沉积的容器 。

　　5. 11

　　原模 originalmould

　　电铸时 ,在其上以电化学沉积制造金属制品的原始模型 。

　　5. 12

　　电铸电源 electroformingpowersupply

　　为实现电铸电化学反应提供电能的装置 。

　　5. 13

　　电铸工作液系统 electroforming work fluid system

　　提供电铸沉积所需电解液的装置 ,具备循环 、过滤 、温控等功能 。

　　5. 14

　　镀笔 electroplatingbrush

　　电刷镀的工具 , 由手柄和阳极等组成 。

　　5. 15

　　电刷镀电源 brush electroplatingpowersupply

　　为实现电刷镀电化学反应提供电能的装置 。

　　6 加工方法

　　6. 1

　　化学刻蚀 chemicaletching

　　化学腐蚀 chemical contouring

　　化学铣削 chemical milling

　　按工件形状和尺寸要求 ,用酸 、碱等腐蚀性溶液将材料蚀除的加工方法 。工件不需加工的部位需用耐蚀材料覆盖保护 。

　　6.2

　　光刻 lithography;photoetching

　　通过曝光 ,将掩模上的图形转印到涂覆有光致抗蚀剂(光刻胶) 的工件表面 ,再经显影 、刻蚀等光化学工艺 ,使图形转移到工件上的加工方法 。

　　6.3

　　砂线切割 fixed abrasivewirecutting

　　以表面固着有高硬度磨粒的金属丝作为切割工具 ,通过其往复运动进行工件切割的加工方法 。 6.4

　　磨料线切割 freeabrasivewirecutting

　　通过多根钢丝线的高速往复运动 ,将磨料带入加工区域进行磨削的加工方法 。

　　6.5

　　电铸 electroformingprocess

　　利用金属电沉积原理 ,在原模上精确复制复杂或特殊形状工件的加工方法 。

　　6.5. 1

　　电铸连接 electroforminglinking

　　电铸装配

　　将金属或非金属部件以电铸工艺连接或组合为一体的工艺方法 。

　　6.5.2

　　喷液电铸 jetelectroforming;spray electroforming

　　工件与喷嘴间施加电压 , 电解液以 “喷射 ”形式传至工件 ,实现定域(选择性)电铸的加工方法 。 6.6

　　电刷镀 brush electroplating

　　在供给电解液及加工电源以形成电化学反应的条件下 ,用与电源正极相连的镀笔在工件表面移动 ,实现电沉积的加工方法 。

　　6.7

　　磁场作用磁粒研磨加工 magneticabrasivemachining

　　在磁场作用下 ,磨粒抛磨工件表面材料的加工方法 。

　　6.7. 1

　　磁性磨粒研磨加工 magneticabrasivemachining

　　在磁场作用下 ,使带磁性磨粒对工件表面产生压力抛磨表面材料的加工方法 。

　　6.7.2

　　磁流变磨粒研磨加工 magnetic-reologicalabrasivemachining

　　采用磁流变流体 ,在磁场作用下 ,使非磁性磨粒对工件表面产生压力抛磨表面材料的加工方法 。

　　索 引

　　汉语拼音索引

　　C

　　H

　　英文对应词索引

　　A

　　alignmentprecision … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 4.2

　　B