GB/T 26065-2010 硅单晶抛光试验片规范

　　ICS 29. 045 H 80

　　中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准

　　GB/T 26065—2010

　　硅单晶抛光试验片规范

　　Specification forpolished testsilicon wafers

　　2011-01-10发布 2011-10-01实施

　　中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会

　　

　　发

　　

　　布

　　GB/T 26065—2010

　　前 言

　　本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)归 口 。本标准起草单位 : 宁波立立电子股份有限公司 、杭州海纳半导体有限公司 。

　　本标准主要起草人 : 宫龙飞 、何良恩 、许峰 、黄笑容 、刘培东 、王飞尧 。

　　Ⅰ

　　GB/T 26065—2010

　　硅单晶抛光试验片规范

　　1 范围

　　1. 1 本标准规定了半导体器件制备中用作检验和工艺控制的硅单晶试验片的技术要求 。

　　1. 2 本标准涵盖尺寸规格 、结晶取向及表面缺陷等特性要求 。本标准涉及了 50. 8 mm~ 300 mm 所有标准直径的硅抛光试验片技术要求 。

　　1. 3 对于更高要求的硅单晶抛光片规格 ,如 :颗粒测试硅片 、光刻分辨率试验用硅片以及金属离子监控片等 ,参见 SEMI24《硅单晶优质抛光片规范》。

　　2 规范性引用文件

　　下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注 日期的引用文件 ,仅注 日期的版本适用于本文件 。凡是不注日期的引用文件 ,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 。

　　GB/T 1550 非本征半导体材料导电类型测试方法

　　GB/T 1554 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

　　GB/T 1555 半导体单晶晶向测定方法

　　GB/T 1557 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

　　GB/T 2828. 1 计数抽样检验程序 第 1部分 :按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划

　　GB/T 4058

　　硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法

　　GB/T 6616

　　半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法

　　非接触涡流法

　　GB/T 6618

　　硅片厚度和总厚度变化测试方法

　　GB/T 6619

　　硅片弯曲度测试方法

　　GB/T 6620

　　硅片翘曲度非接触式测试方法

　　GB/T 6621

　　硅片表面平整度测试方法

　　GB/T 6624

　　硅抛光片表面质量目测检验方法

　　GB/T 11073 硅片径向电阻率变化的测量方法

　　GB/T 12964 硅单晶抛光片

　　GB/T 13387 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法

　　GB/T 13388 硅片参考面结晶学取向 X射线测试方法

　　GB/T 14140 硅片直径测量方法

　　GB/T 14264 半导体材料术语

　　YS/T 26 硅片边缘轮廓检验方法

　　SEMI24 硅单晶优质抛光片规范

　　ASTM F1526 表面金属含量测量

　　3 术语和定义

　　GB/T 14264中界定的术语和定义适用于本文件 。

　　1

　　GB/T 26065—2010

　　4 要求

　　4. 1 产品分类

　　根据硅片直径大小将硅单晶抛光试验片划分为 : 小直径硅片和大直径硅片 。其中 , 小直径硅片分A、B、C三个级别 ;大直径硅片分机械试验片和工艺试验片 。另外 ,本标准还定义了线宽为 0. 18μm 或0. 13μm 的 200mm 和 300mm 硅试验片规范 ,具体分类如表 1所示 。

　　表 1 硅单晶抛光试验片分类

　　项 目

　　小直径硅片

　　大直径硅片

　　直径范围/mm

　　≤125

　　≥150

　　产品类别

　　A级 、B级 、C级

　　机械试验片

　　工艺试验片

　　0. 18μm 或 0. 13μm 线宽的 200 mm 和300 mm 硅试验片

　　4. 2 小直径硅抛光试验片规格

　　A级 、B级和 C级硅抛光试验片必须包含表 2 中列出的各项规格项 目 ,表 3 为小直径硅单晶抛光试验片详细规范要求 。

　　表 2 小直径硅单晶抛光片分类及必须包含规格项目列表

　　等级

　　生长方法

　　直径

　　晶向

　　厚度

　　取向基准

　　边缘轮廓

　　表面沾污

　　表面缺陷

　　导电类型

　　掺杂剂

　　电阻率

　　A级

　　√

　　√

　　√

　　√

　　√

　　√

　　√

　　√

　　√

　　√

　　√

　　B级

　　√

　　√

　　√

　　√

　　√

　　√

　　√

　　√

　　—

　　—

　　—

　　C级

　　√

　　√

　　√

　　√

　　√

　　√

　　—

　　—

　　—

　　—

　　—

　　注 : “√ ”表示硅单晶抛光试验片中必须包含的规格项 目 ,“— ”表示该试验片可以不包含的规格项 目 。

　　表 3 小直径硅单晶抛光试验片规范

　　项 目

　　技术要求

　　A级

　　B级

　　C级

　　1. 0

　　一般特性

　　1. 1

　　生长方法

　　用户规定

　　用户规定

　　用户规定

　　1. 2

　　晶向

　　用户规定

　　用户规定

　　用户规定

　　1. 3

　　导电类型

　　用户规定

　　不规定

　　不规定

　　1. 4

　　掺杂剂

　　用户规定

　　不规定

　　不规定

　　1. 5

　　FQA、边缘去除距离

　　不规定

　　不规定

　　不规定

　　2. 0

　　电学特性

　　2. 1

　　电阻率

　　用户规定

　　用户规定

　　用户规定

　　2. 2

　　径向电阻率变化(RRG)

　　可选

　　可选

　　可选

　　2

　　GB/T 26065—2010

　　表 3 (续)

　　项 目

　　技术要求

　　A级

　　B级

　　C级

　　2. 3

　　电阻率条纹

　　不规定

　　不规定

　　不规定

　　2. 4

　　少子寿命

　　不规定

　　不规定

　　不规定

　　3. 0

　　化学特性

　　3. 1

　　氧含量

　　不规定

　　不规定

　　不规定

　　3. 2

　　径向氧含量变化

　　不规定

　　不规定

　　不规定

　　3. 3

　　碳浓度

　　不规定

　　不规定

　　不规定

　　4. 0

　　结构特性

　　4. 1

　　位错蚀坑密度

　　无位错蚀坑

　　可选

　　不规定

　　4. 2

　　滑移线

　　无滑移线

　　可选

　　不规定

　　4. 3

　　系属结构

　　无系属结构

　　可选

　　不规定

　　4. 4

　　孪晶

　　无孪晶

　　可选

　　不规定

　　4. 5

　　漩涡

　　无漩涡

　　可选

　　不规定

　　4. 6

　　浅蚀坑

　　无浅蚀坑

　　可选

　　不规定

　　4. 7

　　OISF

　　可选

　　可选

　　不规定

　　4. 8

　　氧沉淀

　　不规定

　　不规定

　　不规定

　　5. 0

　　硅片制备特性

　　5. 1

　　硅片 ID标志

　　可选

　　可选

　　不规定

　　5. 2

　　正面薄膜

　　可选

　　可选

　　不规定

　　5. 3

　　洁净区

　　可选

　　可选

　　不规定

　　5. 4

　　非本征吸除

　　可选

　　可选

　　不规定

　　5. 5

　　背封

　　可选

　　可选

　　不规定

　　5. 6

　　退火

　　可选

　　可选

　　不规定

　　6. 0

　　机械特性

　　6. 1

　　直径偏差/mm

　　50. 8 mm

　　±0. 38

　　±0. 51

　　±0. 76

　　76. 2 mm

　　±0. 51

　　±0. 64

　　±1. 27

　　100 mm

　　±0. 20

　　±0. 50

　　±1. 00

　　125 mm

　　±0. 20

　　±0. 50

　　±1. 00

　　6. 2

　　主参考面尺寸/mm

　　50. 8 mm (平边长度)

　　12. 70~ 19. 05

　　12. 70~ 19. 05

　　12. 70~ 19. 05

　　76. 2 mm(平边长度)

　　19. 05~ 25. 40

　　19. 05~ 25. 40

　　19. 05~ 25. 40

　　100 mm(平边长度)

　　30~ 35

　　28~ 37

　　28~ 37

　　125 mm(平边长度)

　　40~ 45

　　38~ 47

　　38~ 47

　　3

　　GB/T 26065—2010

　　表 3 (续)

　　项 目

　　技术要求

　　A级

　　B级

　　C级

　　6. 3

　　主参考面方向

　　{110}±2°

　　{110}±2°

　　{110}±2°

　　6. 4

　　副参考面长度

　　不规定

　　不规定

　　不规定

　　6. 5

　　副参考面位置

　　不规定

　　不规定

　　不规定

　　6. 6

　　边缘轮廓

　　GB/T 12964

　　GB/T 12964

　　可选

　　6. 7

　　厚度/μm

　　50. 8 mm

　　241. 3~ 317. 5

　　228. 6~ 330. 2

　　203. 2~ 330. 2

　　76. 2 mm

　　342. 9~ 419. 1

　　330. 2~ 431. 8

　　304. 8~ 457. 2

　　100 mm(SEMIM1. 5)

　　505~ 545

　　500~ 550

　　475~ 575

　　100 mm(SEMIM1. 6)

　　605~ 645

　　600~ 650

　　575~ 675

　　125 mm

　　605~ 645

　　600~ 650

　　575~ 675

　　6. 8

　　厚度变化(TTV)

　　不规定

　　不规定

　　不规定

　　6. 9

　　晶向

　　用户规定

　　可选

　　不规定

　　6. 10

　　弯曲度(Bow)

　　不规定

　　不规定

　　不规定

　　6. 11

　　翘曲度(Warp)

　　不规定

　　不规定

　　不规定

　　6. 12