GB/T 29845-2013 半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则

　　ICS 31. 550 L 95

　　中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准

　　GB/T 29845—2013

　　半导体制造设备的最终装配、包装、运输、

　　拆包及安放导则

　　Guide for finalassembly, packaging, transportation, unpacking, and

　　relocation ofsemiconductormanufacturing equipment

　　2013-11-12发布 2014-04-15实施

　　中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会

　　

　　发

　　

　　布

　　GB/T 29845—2013

　　目 次

　　前言 Ⅰ

　　1 范围 1

　　2 规范性引用文件 1

　　3 缩略语 1

　　4 清洁和包装材料 1

　　5 装配和预包装程序 2

　　6 三层包装 2

　　7 包装程序 3

　　8 装箱程序 3

　　9 包装和固定程序 4

　　10 监控设备安装程序 5

　　11 标记和标签 5

　　12 装箱单 6

　　13 运输 6

　　14 卸载 、拆箱和搬运 6

　　15 检查 7

　　GB/T 29845—2013

　　前 言

　　本标准按照 GB/T 1. 1—2009给出的规则起草 。

　　本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归 口 。

　　本标准起草单位 :工业和信息化部电子工业标准化研究院 、北京七星华创电子股份有限公司 。

　　本标准主要起草人 :黄英华 、刘军 、吴良军 、钟华 、周历群 、冯亚彬 。

　　Ⅰ

　　GB/T 29845—2013

　　半导体制造设备的最终装配、包装、运输、

　　拆包及安放导则

　　1 范围

　　本标准给出了半导体制造设备(SME) 在供应商工厂的最终装配(总装) 、包装 、运输以及在客户洁净室生产区的拆包和安放等特定活动指南 。

　　本标准适用于半导体制造设备 、独立的组件和部件在供应商工厂的最终装配(总装) 、包装和运输以及从客户装货码头/接收区到高纯和超高纯应用的洁净室生产区的转移过程 。

　　本标准不包含与环境 、健康和安全(EHS)相关的特殊要求 ,也不适用于与晶片粒子或晶片质量(如离子污染度)相关的加工过程规范 。

　　2 规范性引用文件

　　下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注 日期的引用文件 ,仅注 日期的版本适用于本文件 。凡是不注日期的引用文件 ,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 。

　　GB/T 25915. 1 洁净室及相关受控环境 第 1部分 :空气洁净度等级

　　SEMIC41 2-丙醇的规范和指南 (Specification and Guidelines for2-propanol)

　　SEMIF63 半导体加工用超纯水指 南 (Guidelines for Ultrapure Water Used in Semiconductor processing)

　　3 缩略语

　　下列缩略语适用于本文件 。

　　APA:美国工程木材协会 (the engineered wood association)

　　EPS:发泡聚苯乙烯 (expanded polystyrene)

　　IPA:异丙醇(isopropylalcohol)

　　SME:半导体制造设备 (semiconductor manufacturing equipment)

　　UPW :超纯水 (ultrapure water)

　　4 清洁和包装材料

　　对于清洁和三层包装 ,建议使用下列材料 :

　　— UPW(参见 SEMIF63) ;

　　— IPA(参见 SEMIC41) ;

　　— 具有超低的颗粒产生 ,超低的离子析出水平 , 聚酯材料的 , GB/T 25915. 1 中 ISO 5 级洁净室允许的棉签和带封边的擦拭巾 ;

　　— 具有超低的颗粒 产 生 , 超 低 的 离 子 析 出 水 平 , 无 碳 氢 化 合 物 的 , 约 150μm 厚 的 天 然 聚 乙 烯薄膜 ;

　　— 具有超低的颗粒产生的胶带 。

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　　5 装配和预包装程序

　　5. 1 预装配

　　5. 1. 1 洁净室里不适宜进行的机械加工 、锯切 、焊接 、钎焊 、研磨 、砂磨和其他加工过程 ,应在组件转移到洁净装配区前完成以上工作 。

　　5. 1. 2 所有 SME组件在转移到洁净装配区前 ,应进行真空吸尘 ,用经过过滤的空气吹扫 ,用无尘的擦拭巾和棉签蘸取用 UPW 稀释的10% ~ 70%IPA溶液进行清洗 ,然后立即进入到洁净装配区 。

　　5. 1. 3 切削液 、润滑剂和焊剂应在组件转移到洁净装配区前清除 ,适合于洁净室的润滑剂可保留 。

　　5. 2 洁净装配区

　　5. 2. 1 SME所有组件应在至少满足 GB/T 25915. 1 中 ISO 6级及以上要求的洁净室里装配 。

　　5. 2. 2 应在洁净装配区内保存一套洁净的装配工具 。如不可行 ,工具每次在进入洁净装配区前应进行真空吸尘 ,用经过过滤的空气吹扫 ,用无尘的擦拭巾和棉签蘸取用 UPW 稀释的 10% ~ 70%IPA溶液进行清洗 ,然后立即进入到洁净装配区 。

　　5. 2. 3 洁净装配区里的装配工具应定期进行清洗 ;如装配工具在使用期间被污染 ,则需进行清洗 。

　　5. 3 预包装

　　5. 3. 1 所有带水(包括 UPW) 或其他液体的 SME应完全清空 ,并采用无碳氢化合物的干燥空气或氮气彻底干燥 。与生产单元(如晶片)直接接触的所有带 UPW 的 SME应具有冲洗管线 、工艺槽或工艺储槽等 ,在完全清空前应使用抑菌剂(如 H2 O2/UPW 溶液)清洗 。

　　5. 3. 2 在装运前和装运过程中 ,所有公用电缆应有防护 。

　　5. 3. 3 带真空室的 SME应将真空室和真空管线在真空状态下密封和装运 。

　　5. 3. 4 SME应清楚标记从船运集装箱取出时的正确起吊位置 。

　　5. 3. 5 SME 完 成 总 装 和 测 试 后 , 所 有 暴 露 在 外 的 表 面 应 通 过 擦 拭 巾 和 棉 签 蘸 取 用 UPW 稀 释 的10% ~ 70%IPA溶液进行彻底清洁 。

　　5. 3. 6 应彻底检查 SME 的清洁度 。

　　5. 3. 7 供应商应随 SME提供其检查结果(如标记清单) 。

　　6 三层包装

　　6. 1 下列程序支持全部密封 SME、独立组件或支撑部件的包装规范 ,使用三层包装(见第 7 章)以使每一层均能形成防止水分和颗粒的保护密封层 。

　　6. 2 根据以下指南在特定的交货和搬运阶段(见第 14章)去除各层包装 :

　　— 内层包装 :在进入最终洁净室或相同洁净度的预备区域前 , 内层包装应与 SME、独立部件和组件一直保持在一起 。 内层包装在移入洁净室前应进行清洁 ;

　　— 中间包装 :在到达至少满足 GB/T 25915. 1 中 ISO 7级要求的中间预备区域前 , 中间包装应与SME、独立部件和组件保持在一起 。 中间包装在移离客户装货码头/接收区前应进行清洁 ,并且移入预备区域前应再次进行清洁 ;

　　— 外层包装 :在运送至装货码头途中 ,外层包装用来保护 SME、独立部件和组件 。 当 SME、独立部件和组件到达客户装货码头/接收区时 ,应去除外部装运材料 。外层包装也应进行 清 洁 并去除 。

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　　7 包装程序

　　7. 1 洁净装配区里的包装

　　7. 1. 1 根据要求 ,用胶带将 SME、独立部件和组件完全封包在洁净聚乙烯内部包装内 。

　　7. 1. 2 湿度指示器应包裹在初始(即内部)包装内 。

　　7. 1. 3 如使用两套包装箱底座 , 内部包装箱底座也应符合 8. 2 的要求 ,并与 SME、独立部件和组件包装在一起 。

　　7. 1. 4 内部包装箱底座应清楚标记从船运集装箱取出时的正确起吊位置 。

　　7. 2 专用洁净包装区里的包装

　　7. 2. 1 内层(即第一层)包装完成后 ,应将 SME、独立部件和组件搬运到专用洁净(GB/T 25915. 1 中ISO 7级或更高等级)包装区 。

　　7. 2. 2 根据要求 ,用胶带将 SME、独立部件和组件封包在干净的两层以上独立包装(即中间和外部包装)的聚乙烯薄膜内 。

　　7. 2. 3 SME、独立部件和组件完成三层包装后 ,应将其放在包装箱底座上(见第 8 章和第 9 章) , 以免包装被损坏或破坏 。要求如下 :

　　— 包装箱底座(连同 SME、独立部件和组件一起)应可以用常规的底座搬运车或叉车移动 ;

　　—SME、独立部件和组件应可由常规的底座搬运车或叉车放入和移出包装箱底座 ,并且不能使三层包装产生变形或撕裂 ;

　　—SME、独立部件和组件放入包装箱底座后 ,应放置在一个单独的装箱区域 。

　　8 装箱程序

　　8. 1 设计

　　8. 1. 1 板条箱的最大外部尺寸不得超过运输方式(如空运和空运挂车)允许的最大尺寸要求的 。

　　8. 1. 2 如可能 ,板条箱的形状和尺寸应最优化 , 以节省运输成本 。

　　8. 1. 3 为确保运输过程中板条箱的稳定 ,高度超过 1. 2 m 的板条箱 ,其最窄边尺寸应不少于板条箱高度的一半 。

　　8. 2 装箱/包装材料

　　8. 2. 1 进入洁净室的所有装箱/包装材料应由满足洁净度要求的材料构成 。如非常有必要使用木制板条箱或包装 ,则在进入洁净室前 ,所有木制板条箱或包装应符合洁净度的要求 。

　　8. 2. 2 使用的所有木质产品应符合交货国和运输 SME经过的所有中间国家的管理要求(如热处理木材条例) 。

　　8. 2. 3 应采用云杉 、冷杉 、松树或具有相当强度可以用于包装箱(板条箱)的软木材 。

　　8. 2. 4 当厚度为 1. 0 cm~ 1. 3 cm 时 ,胶合板应不少于 3层 ; 当厚度大于或等于 1. 3 cm 时 ,胶合板应不少于 5层 。

　　8. 2. 5 对于重量小于等于 2 500 kg的 SME、独立部件和组件 ,应采用下列材料 :

　　— 侧面和盖子使用标称厚度大于或等于 1 cm 的胶合板 ;

　　— 楔块使用标称厚度为 2. 5 cm×10 cm 的木材 ;

　　— 盖板使用标称厚度为 1. 3 cm 的胶合板 ;

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　　— 板条箱底使用标称厚度为 5 cm 的木板 。

　　8. 2. 6 对于重量大于 2 500 kg的 SME、独立部件和组件 ,应采用下列材料 :

　　— 侧面和盖子使用标称厚度大于或等于 1. 3 cm 的胶合板 ;

　　— 楔子使用标称厚度为 5 cm×10 cm 的木材 ;

　　— 盖板使用标称厚度为 2. 5 cm 的胶合板 ;

　　— 板条箱底使用标称厚度为 5 cm 的木板 。

　　8. 2. 7 软垫泡沫或填料用来保护设备 ,例如 :

　　— 19kg/m3 ~ 35 kg/m3 的聚氨酯泡沫 ;

　　— 16kg/m3 ~ 32kg/m3 的聚乙烯泡沫 ;

　　— 32kg/m3 ~ 64kg/m3 的聚乙烯泡沫 ;

　　— 64kg/m3 ~ 96kg/m3 的聚乙烯泡沫 。

　　— 浮动甲板用聚乙烯软垫泡沫的接合(即连接)面应进行研磨(即去除外皮)以确保适当的粘合 。

　　8. 2. 8 干燥剂应为无尘型黏土或硅胶 。

　　8. 2. 9 使用缓冲包装材料来保护设备 ,例如 :

　　— 标称厚度为 3 mm~ 6 mm 的聚乙烯缓冲泡沫薄板 ;

　　— 聚乙烯气泡袋缓冲材料 ;

　　— 不应使用松散的发泡聚苯乙烯(EPS)或纸制品 。

　　8. 2. 10 当运输方式(如海运)需要时 ,唛头应使用密度最小为(4. 9/8. 1/4. 9)kg/100 m2 的防水纸层压板或等同物 。

　　8. 2. 11 采用的捆扎材料应符合 SME重量和类型的要求 。

　　8. 2. 12 采用的倾斜指示器应为一次性使用的不可复位型指示器 。

　　8. 2. 13 采用的振动指示器应为一次性使用的不可复位型指示器 ,应具有合适的灵敏度 ,该灵敏度基于供应商根据板条箱类型和 SME敏感度进行的估算和推荐等级 。对于在搬运过程中对振动敏感容易损坏的 SME,可使用非一次性(即可重复使用)的电池供电的振动测量记录设备 。

　　8. 3 高温和低温指示器

　　8. 3. 1 采用的高温和/或低温指示器应为一次性使用的不可复位型指示器 。

　　8. 3. 2 采用的特定温度指示器应当有一个合适的触发点 ,该触发点基于 SME对在运输或储存过程中可能出现的温度的灵敏度 。

　　8. 3. 3 对于对温度更 加 敏 感 的 SME, 可 使 用 非 一 次 性(即 可 再 次 使 用) 的 电 池 操 作 的 温 度 测 量 记 录设备 。

　　8. 4 工艺

　　8. 4. 1 板条箱应无破裂 、损坏或破损的紧固件 。

　　8. 4. 2 钉子不得弯曲或导致木材开裂 。

　　8. 4. 3 板条箱应无暴露在外的钉子 。

　　8. 4. 4 板条箱应无破碎的或者破裂的滑行装置或滑动垫木 。

　　8. 4. 5 胶合板应切成方形并大小合适 ,保证胶合板边缘超过或低于仪表板尺寸的量不大于 1. 6 mm。

　　8. 4. 6 相邻板厚度的最大公差应为 1. 6 mm。

　　9 包装和固定程序

　　9. 1 如在装卸和运输过程中有必要防止偏移或移动 ,SME 的所有构件应由软垫泡沫/填料或木料充分

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　　填充和支撑 。SME主框架和一些其他组件需要特殊支架来固定 。

　　9. 2 所有较重物品应放在板条箱底部 ,而较轻和更易脆物品应靠近板条箱顶部放置 。

　　9. 3 板条箱不得过度包装 。

　　9. 4 所有重要的设备主件应该有浮动底座 ,这个底座的材料应该是软垫泡沫/塑料且具有足够的密度来支撑设备的重量 ,包括设备支撑在甲板里或者滑动垫木里 。对于被认为灵敏性较低的 SME设备 ,可以使用非浮动底部 。但是 ,所有其他材料的要求应保持不变 。

　　9. 5 如可能 ,SME 的底座或底部应靠着板条箱底部或内部底座固定 。

　　9. 6 对于陆运和/或空运 ,SME应符合以下要求 :

　　— 包覆有软垫包装材料 ;

　　— 包覆有聚乙烯薄膜裹包 ;

　　— 放置在防潮袋里 。

　　9. 7 对于海运 ,SME应符合以下要求 :

　　— 包覆有软垫包装材料 ;

　　— 包覆有聚乙烯薄膜裹包 ;

　　— 放置在防潮袋里 ,且活性干燥剂应以 1 g/L的比率尽可能均匀分散在防潮袋和薄膜裹包之间 ,当计算干燥剂的用量时 ,从空气体积中减去 SME体积 ,干燥剂最大用量为 9. 1 kg;

　　— 防潮袋真空密封时间应小于等于 5min, 以使干燥剂暴露在外的程度最小化 。

　　9. 8 不应从任何骨架或 SME组件上拆掉支脚或地脚 。

　　9. 9 应垫高 SME 的脚轮(即旋转滚筒) , 因此保持脚轮不接触板条箱以防止损坏脚轮并避免脚轮磨过板条箱底部 。

　　9. 10 所有支撑硬件或独立部件(如电缆和备件)应与主要单元分开单独包装 。

　　10 监控设备安装程序

　　10. 1 振动指示器应安装在板条箱外部的一端和一侧的顶角处 。振动指示器应粘附至板条箱上 ,并涂上保护漆 ,使其不易脱掉或碰掉 。

　　10. 2 对于对搬运更加敏感的 SME,一次性振动指示器除安装在板条箱外部的一端和一侧的顶角处外 ,浮动底部 、防潮袋 、包装材料或 SME本身也应当安装振动指示器 。

　　10. 3 如果振动指示器安装在板条箱的内部 ,则应将其位置标记在板条箱外部 。

　　10. 4 可用非一次性振动测量记录设备进行替换 。

　　10. 5 倾斜指示器应安装在板条箱的内部或外部 。外部倾斜指示器应粘附至板条箱上 ,并涂上保护漆 ,使其不易脱掉或碰掉 。

　　10. 6 对于对在运输和储存过程中可能遇到的温度敏感的 SME部件 ,应将一次性高温和/或低温指示器放置在板条箱内部 。也可以用非一次性温度测量记录设备替换 。

　　11 标记和标签

　　11. 1 下列标记应使用乙烯基标签或蜡纸标记到板条箱上 :

　　— 精密仪器 ;

　　— 切勿坠落 ;

　　— 倾斜指示器信息 ;

　　— 振动指示器信息 ;

　　— 温度指示器信息 ;

　　— 易碎 ;

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　　— 保持干燥 ;

　　— 任何其他适用的标记(如 :重心 、勿叠放 、勿倒置 、勿冷冻 、朝上 、防水等) 。

　　11. 2 以下内容应采用字母高度不小于 1. 3 cm 的漏字板 :

　　— 发至/来自信息 ;

　　— 邮局号 ;

　　— 客户 SME识别号(可选) ;

　　— 箱号 ;

　　— 皮重 ;

　　— 尺寸 。

　　11. 3 除当前装货相关的信息外 ,其他标记不应出现在板条箱上 。

　　12 装箱单

　　12. 1 装箱单应贴在板条箱外部的防风雨支架里 。

　　12. 2 装箱单应详细说明每个板条箱和集装箱里保存的是 SME 的哪部分 。

　　13 运输

　　13. 1 对于陆运 ,SME应采用所有支撑轴为空气悬挂的交通工具(如空气悬挂拖车)来运输 。

　　13. 2 拖车的车底 、车壁或车顶的外部无破洞 。

　　13. 3 船运集装箱应使用连接到拖车的钢筋和/或皮带来固定 。

　　13. 4 如果船运集装箱既非木制板条箱 ,又非纸箱(如气泡包装) ,那么运输服务商应提供并用干净保护装置和/或衬垫包装船运集装箱 。运输服务商 、供应商和客户在装载 、运输和卸载过程中应保持保护盖和/或衬垫在船运集装箱上 。

　　13. 5 船运集装箱不得进行堆叠(即顶部负载) 。

　　14 卸载、拆箱和搬运

　　14. 1 供应商应向客户提供从运输工具里将 SME正确卸载 、拆箱和从装货码头/接收区搬运到洁净室内最终安放位置的必要条件 。

　　14. 2 供应商应与客户 、搬运工人一起审查和协商 SME 的搬运方案 。

　　14. 3 应检查板条箱和监控器有无损坏或错误操作指示 ,并将情况记录下来 。

　　14. 4 外部装运材料(如板条箱和气泡袋)应小心地移至装货码头/接收区 , 以防止损坏三层包装 。

　　14. 5 外部包装应在装货码头/接收区进行清洁并去除 。

　　14. 6 在 SME、独立部件或组件移离装货码头/接收区前 ,应清洗中间包装 。

　　14. 7 SME、独立部件或支撑组件应搬运到至少满足 GB/T 25915. 1 中 ISO 7级要求的中间预备区域 。

　　14. 8 中间包装在中间预备区域拆除前应再次进行清洗 。

　　14. 9 中间包装应在中间预备区域小心地拆除 。

　　14. 10 在将 SME、独立部件或支撑组件移离中间预备区域前 ,应清洗内部包装 。

　　14. 11 SME、独立部件或支撑组件应搬运到最终洁净室或与洁净室相同洁净度的最终预备区域 。

　　14. 12 在最终洁净室或与洁净室相同洁净度的最终预备区域拆除内部包装前 ,应再次清洗内部包装 。

　　14. 13 内部包装应在最终洁净室或与洁净室相同洁净度的最终预备区域内小心地拆除 。

　　14. 14 应检查湿度指示器并记录读数 。

　　14. 15 如果在最终预备区域拆除内部包装 ,则 SME、独立部件或支撑组件应搬运到最终洁净室位置进

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　　行安装 。

　　15 检查

　　15. 1 移除内部包装后 ,客户应检查 SME、独立组件和/或支撑部件外表面的洁净度 。如果 SME、独立部件或支撑部件在洁净度检查中不合格 ,则在开始安装前 ,供应商应再次清洗不合格区域并使其通过洁净度重新检查 。

　　15. 2 客户应向供应商提供完整的洁净度检查结果的副本 。

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　　2014年 1 月第一版

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　　书号 : 155066 · 1-48022

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