T/NLIA 002-2021 汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范

本文件规定了汽车MEMS 压力传感器灌封工艺的仿真信息，包含了汽车MEMS 压力传感器灌封工艺仿真的基本流程：仿真模型构建、仿真运行分析、结果评价与工艺优化等。
本文件用于指导汽车MEMS 压力传感器产品的生产、供应和使用，以促进传感器工艺仿真模型的使用和灌封工艺的改良。
本文件适用的汽车MEMS 压力传感器产品包括：
汽车胎压传感器；
机油压力传感器；
燃油压力传感器；
燃油蒸汽压力传感器；
制动真空度传感器；
汽车尾排气压力传感器等。
注：上述传感器大多基于但不限于硅压阻式工作原理。