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资料介绍
本文件规定了六氟化硫(SF合绝缘气体的净化处方法，工作场所和环境，仪器、装置与材料，工作流程，安全与防护的要求。
本文件适用于六氟化硫/四化碳 (SF/CF)六化/ (SFN2)体的化处理
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