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JB/T 8945-2010 真空溅射镀膜设备
- 英文名称：Vacuum sputtering coating plant
- 下载地址：[下载地址1]
- 提 取 码：gsdc
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资料介绍
本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。
本标准适用于压力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。
本标准适用于压力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。
