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YS/T 1164-2016 硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
- 英文名称：Test method for the content of impurities in high purity quartz used for silicon material. Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry method
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资料介绍
本标准规定了多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定方法。
本标准适用于多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定。
本标准适用于多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定。
