YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

英文名称：Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers
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资料介绍

本标准规定了异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法。
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。