YS/T 983-2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法

英文名称：Test method for measuring composition of polysilicon deposition reactor and TCS to STC converter vent gas
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资料介绍

本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法。
本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分（氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅）的测定。检测范围为体积分数0.1%