YS/T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

英文名称：Standard practice for ultrasonic C-sacn bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies
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资料介绍

本标准规定了溅射用靶材-背板结合质量超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术的一般方法。内容包括一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等。
本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合