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YS/T 791-2012 铂靶
- 英文名称：Platinum target
- 下载地址：[下载地址1]
- 提 取 码：4c3t
- 浏览次数：3
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资料介绍
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。
本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材，其他用途的铂靶材也可参照使用。
本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材，其他用途的铂靶材也可参照使用。
