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YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法
- 英文名称：Testing method on pass through flux of magnetic sputtering target
- 下载地址：[下载地址2]
- 提 取 码：bq45
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资料简介
本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。
本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。
本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。
