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YS/T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法
- 英文名称：Test methods for spike of epitaxial layers
- 下载地址：[下载地址2]
- 提 取 码：7aqb
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资料介绍
本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。
本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷比较少且彼此不相连，本标准可用于钉缺陷的计数。
本标准不能测量钉缺陷的高度。
本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷比较少且彼此不相连，本标准可用于钉缺陷的计数。
本标准不能测量钉缺陷的高度。
