JJF 1613-2017 掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范

英文名称：Calibration Specification for Thin Film Thickness Measurement Instruments by Grazing Incidence X-Ray Reflectivity
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资料介绍

本规范适用于掠入射X射线反射膜厚测量仪器（以下简称仪器）的校准。