ICS 77 . 040 H 25　　中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准　　GB/T 14142—2017　　代替 GB/T 14142—1993　　硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法　　Testmethodforcrystallographicperfectionofepitaxiallayersinsilicon—　　Etchingtechnique　　2017-09-29 发布 2018-04-01 实施　　中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 ...

上一篇：GB/T 14139-2019 硅外延片
下一篇：GB/T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法