ICS 77 . 040 CCS H 2 1　　中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准　　GB/T 14146—2021代替 GB/T 14146—2009　　硅外延层载流子浓度的测试　　电容-电压法　　Testmethodforcarrierconcentrationofsiliconepitaxiallayers—　　Capacitance-voltagemethod　　2021-05-21 发布 2021-12-01 实施　　国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会　　发　　布　　GB/T...

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