本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同（或订货单）内容。本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。...

上一篇：YS/T 1142-2016 钒蒸发料
下一篇：YS/T 1140-2016 二氧化铪