本标准规定了钒蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体行业用的钒蒸发料。... 上一篇:YS/T 1144-2016 甲酸铯下一篇:YS/T 1141-2016 钛蒸发料