本标准规定了硅片或其他半导体晶片上一串连续的包括字母和数字的标记。该编号标记及关联信息被储存入数据库,对每个硅片起到了在硅片和器件制造期间追溯和控制的目的。本标准定义了晶片标记的基本编码规定。无需处理晶片,利用简单的自动光学字符识别设备就可 以对该标记进行独立和快速人工识别,确保了硅片制造商对晶片标记的一致性,有利于监控晶片工艺的变化。本标准适用于广泛的晶片产品,如外延片、SOI片、抛光片等。 上一篇: YS/T 987-2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法 甲基二氯氢硅的测定 下一篇: YS/T 984-2014 硅粉化学分析方法 硼、磷含量的测定