本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法。本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分(氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅)的测定。检测范围为体积分数0.1% 上一篇: YS/T 984-2014 硅粉化学分析方法 硼、磷含量的测定 下一篇: YS/T 982-2014 氢化炉碳/碳复合材料U形发热体