ICS 3 1 . 200 L 55　　中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准　　GB/T 34894—2017　　微机电系统(MEMS)技术　　基于光学干涉的 MEMS微结构　　应变梯度测量方法　　Micro-electromechanicalsystem technology—Measuringmethod　　forstraingradientmeasurementsofMEMSmicrostructures　　usinganopticalinterferometer　　2017-1 1-01 发布 2018-05-01 实施　　中华...

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