ICS 3 1 . 200 L 55　　中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准　　GB/T 34893—2017　　微机电系统(MEMS)技术　　基于光学干涉的 MEMS微结构　　面内长度测量方法　　Micro-electromechanicalsystem technology—　　Measuringmethodforin-planelengthmeasurementsofMEMSmicrostructures　　usinganopticalinterferometer　　2017-1 1-01 发布 2018-05-01 实施　　中华...

上一篇：GB/T 34892-2017 无损检测 机械手超声检测方法
下一篇：GB/T 34894-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法